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    • 3. 发明授权
    • 고내식 아연-마그네슘-알루미늄 합금 용융도금강판 도금층 상함량 측정방법
    • KR101818350B1
    • 2018-01-15
    • KR1020160071149
    • 2016-06-08
    • 포항공과대학교 산학협력단주식회사 포스코
    • 김재남진영술
    • G01N23/201C23C2/06C23C2/14
    • 본발명은고내식아연-마그네슘-알루미늄합금용융도금강판도금층상함량측정방법에관한것으로, 도금에사용된아연--마그네슘-알루미늄-(기타원소)의조성에따른열역학적평형상태또는비평형상태에서의표준상분율을계산하는표준상분율계산단계(S1단계)와; X선회절기에의해도금강판도금층의회절피크를수집하는도금층의회절피크수집단계(S2단계)와; 수집된회절피크의 (002)Zn과 (00 4)Zn의강도에따라아연상, 마그네슘상, 알루미늄상의특정회절피크들의조합으로부터아연상, 마그네슘상, 알루미늄상의분율을계산하는분율계산단계(S3단계) 및; 상기측정된평형, 비평형조성별표준상분율과계산된아연상, 마그네슘상, 알루미늄상의분율을비교검증하여도금층의상함량을측정하는도금층상함량측정단계(S4단계)로이루어져고내식아연-알루미늄-마그네슘-(기타원소) 용융도금강판도금층상함량을측정하는데종래의전자선미소부탐침기(EPMA) 또는전자선후방산란회절(EBSD)에의한측정법의 2차원마이크로미터영역분석의한계를극복하여 3차원밀리미터영역분석데이터를제공할 수있으며, 더욱중요한효과로서는열역학적계산에의한표준상분율검증단계를포함하므로보다신뢰성있는정량분석결과를제공할수 있는각별한장점이있는유용한발명이다.
    • 5. 发明公开
    • 중성자 초퍼
    • NEUTRON CHOPPER
    • KR1020090023179A
    • 2009-03-04
    • KR1020080083631
    • 2008-08-27
    • 가부시키가이샤 고베 세이코쇼
    • 요시다가쯔히꼬
    • G01N23/00G01N23/201G01N23/203
    • G21K1/04G21K1/043
    • A neutron chopper is provided to reduce its size by compactly organizing the housing and the drive machinery as a motor is located between a fixed axis and a rotor and the drive machinery is concentrated on around the rotary center of the rotor. A neutron chopper(1) comprises housing(10) including a sealed internal space and a window in which neutron passes; a fixed axis(20) fixed to the inner structure of housing; rotors(30,42) pivotally supported by the fixed axis; a hammer(33) located in the rotor to block the neutron which passes through the housing; a motor(40) located between the fixed axis and rotor in the inner structure of housing to rotate the rotor; and a stator(41) of the motor fixed to the fixed axis.
    • 提供中子切碎器以通过紧凑地组织壳体和驱动机械来减小其尺寸,因为电动机位于固定轴线和转子之间,并且驱动机械集中在转子的旋转中心周围。 中子切碎器(1)包括壳体(10),其包括密封的内部空间和中子通过的窗口; 固定在壳体的内部结构上的固定轴20; 由固定轴枢转地支撑的转子(30,42) 位于所述转子中以阻挡通过所述壳体的中子的锤(33); 电机(40),其位于壳体的内部结构中的固定轴与转子之间,以使转子旋转; 和固定在固定轴上的马达的定子(41)。
    • 8. 发明公开
    • 계산 효율적인 X 선 기반의 오버레이 측정
    • 高效计算效率的基于X射线的叠加测量
    • KR1020170139669A
    • 2017-12-19
    • KR1020177034222
    • 2016-04-28
    • 케이엘에이-텐코 코포레이션
    • 헨치존쉬체그로브안드레이베이크만마이클
    • G01N23/207G01N23/20G01N23/201
    • G01N23/207G01N2223/611G01N23/20008G01N23/201
    • x 선회절측정데이터에기초하여디바이스구조체의오버레이및 에지배치오차를수행하기위한방법및 시스템이제시된다. 계측타겟의상이한층 사이의오버레이오차는다수의상이한입사각및 방위각에서측정되는각각의 x 선회절차수내의강도변동에기초하여추정된다. 오버레이의추정은, 저주파형상변조가기저함수의세트에의해설명되고고주파오버레이변조가, 오버레이를나타내는파라미터를포함하는아핀원형함수에의해설명되도록, 공통차수의상기강도변조의파라미터화를수반한다. 오버레이에추가하여, 계측타겟의형상파라미터가, 측정된회절차수의강도에대한측정모델의피팅분석에기초하여추정된다. 몇몇예에서, 오버레이의추정및 하나이상의형상파라미터값의추정은동시에수행된다.
    • 提出了用于基于x射线衍射测量数据执行装置结构的重叠和边缘放置误差的方法和系统。 计量目标的层之间的重叠误差基于在多个不同的入射角和方位角处测量的每个x-转弯过程编号内的强度变化来估计。 估计覆盖,并通过低频状调制顶端低水设定为高频率叠加调制所描述的,它涉及到强度调制屏幕的参数,对由仿射轮函数包括指示所述覆盖层的参数来描述的公共订单。 除了覆盖图之外,度量目标的形状参数是基于测量模型对测量衍射级的强度的拟合分析来估计的。 在一些情况下,估计值的估计和覆盖层的一个或多个形状参数在相同的时间内进行。