专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020220042640A X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치 및 이의 분석방법 有权
公开(公告)号：KR1020220042640A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：KR1020200125688
申请日：2020-09-28
IPC分类号： G01N23/20 , G01N23/04 , G01N23/10 , G01N23/2204
摘要： 본발명은 X-선에너지를이용한 3차원물질분석장치및 분석방법에관한것으로, 보다상세하게는이동하는 3차원물질의성분및 공간상의위치를도출하기위한 X-선에너지를이용한 3차원물질분석장치및 분석방법에관한것이다. 상기와같은목적을달성하기위한본 발명의구성은대상물의일측에복수개로마련되며, 각각상기대상물을향해서로다른에너지준위를갖는 X-선을조사하도록마련된조사부; 상기대상물의타측에마련되며, 상기조사부로부터조사되어상기대상물내 타겟물체를투과하거나상기타겟물체로부터반사된 X-선을수신하도록마련된수신부; 및상기수신부가수신한 X-선신호를분석하여상기타겟물체의위치및 성분을도출하도록마련된분석부를포함하는것을특징으로하는것을특징으로하는 X-선에너지를이용한 3차원물질분석장치를제공한다.

2. 发明授权

KR102330733B1 적응형 뉴슨스 필터 有权
公开(公告)号：KR102330733B1
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：KR1020177027771
申请日：2016-03-03
IPC分类号： G01N21/95 , G01N21/88 , G01N23/20 , G01N21/01
摘要： 적응형뉴슨스필터를사용하여표본에대한검사결과들을생성하는방법및 시스템이제공된다. 하나의방법은이벤트들의다른부분의적어도하나의특징에대한값들보다뉴슨스필터의적어도하나의파라미터의적어도하나의값에더 가까운, 이벤트들의적어도하나의특징에대한값들을갖는표본의검사동안에검출된이벤트들의부분을선택하는단계를포함한다. 본방법은또한이벤트들의샘플에대한출력획득서브시스템의출력을획득하는단계, 획득된출력에기초하여샘플내의이벤트들을분류하는단계, 및분류의결과들에기초하여뉴슨스필터의하나이상의파라미터들이수정되어야하는지를결정하는단계를포함한다. 그런후, 뉴슨스필터또는수정된뉴슨스필터는표본의검사의결과들에적용되어표본의최종적인검사결과들이생성될수 있다.

3. 发明授权

KR102214643B1 샘플 내 응력변형 분포 결정 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR102214643B1
公开(公告)日：2021-02-10
申请号：KR1020167003561
申请日：2014-07-08
申请人： 노바 메주어링 인스트루먼츠 엘티디.
发明人： 바락,길랏 , 볼플링,셰이 , 보즈독,코넬 , 센델바크,매튜
IPC分类号： G01N21/84 , G01N23/20
摘要： 샘플의하나이상의파라미터측정에사용하기위한제어시스템이제공된다. 상기제어시스템은입력유틸리티및 프로세서유틸리티를포함한다. 입력유틸리티는, 샘플내 물질분포를나타내는샘플의 X-선회절또는고해상도 X-선회절(XRD) 응답데이터를포함하는제 1 데이터와, 적어도상기샘플의기하구조를나타내는, 입사광에대한샘플의광학적응답데이터를포함하는제 2 데이터를포함하는입력데이터를수신하도록구성된다. 상기프로세서유틸리티는, 상기제 1 및제 2 데이터중 하나를최적화시키기위해상기제 1 및제 2 데이터중 다른하나를처리및 분석하도록구성및 작동가능하고, 그리고, 상기최적화된데이터를이용하여샘플내 응력변형분포를포함한상기샘플의하나이상의파라미터를결정하도록, 구성및 작동가동하다.

4. 发明授权

KR102179120B1 방사선 촬상 시스템 有权
公开(公告)号：KR102179120B1
公开(公告)日：2020-11-16
申请号：KR20160011081
申请日：2016-01-29
IPC分类号： G01T1/29 , A61B6/00 , G01N23/20 , G01V5/00
摘要： 방사선촬상시스템은, 2차원매트릭스의화소를가지며조사된방사선을화상신호로변환하도록배치되는방사선검출패널을각각포함하는복수의방사선촬상장치를수납하는하우징, 각각의상기방사선촬상장치의일부가방사선조사측으로부터볼 때공간적으로중첩하도록상기복수의방사선촬상장치를위치결정및 유지하도록구성되는복수의유지부, 및상기각각의방사선촬상장치로부터의화상신호에기초하여방사선화상을취득하도록구성되는유닛을포함한다. 상기복수의유지부는상기각각의방사선촬상장치의유효화소영역이외의영역에서상기복수의방사선촬상장치를유지하도록구성된다.

5. 发明授权

KR102050788B1 EBSD 맵의 선별적 보정 방법 및 이를 실행하기 위한 프로그램이 저장된 기록매체 有权
公开(公告)号：KR102050788B1
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：KR1020170158268
申请日：2017-11-24
申请人： 한국기계연구원
发明人： 강전연
IPC分类号： G01N23/203 , G01N23/20

6. 发明授权

KR102020398B1 인산염 부착량 측정 시스템 및 이를 이용한 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR102020398B1
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：KR1020170179712
申请日：2017-12-26
申请人： 주식회사 포스코
发明人： 박현철 , 이상진
IPC分类号： G01N23/207 , G01N23/20

7. 发明授权

KR102018953B1 일라이트 점토의 세슘 흡착성능 예측방법 有权
公开(公告)号：KR102018953B1
公开(公告)日：2019-09-05
申请号：KR1020170134881
申请日：2017-10-17
申请人： 한국기초과학지원연구원 , 한국건설기술연구원 , 한국원자력연구원 , 금오공과대학교 산학협력단
发明人： 김영석 , 강성원 , 정윤선 , 오대민 , 김복성 , 정성희 , 문진호 , 박장근 , 정성욱 , 한정희 , 박찬수 , 황정환 , 이원태
IPC分类号： G01N5/02 , G01N23/20

8. 发明授权

KR101864904B1 전극 밀도 및 전극 공극률의 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR101864904B1
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：KR20130052345
申请日：2013-05-09
IPC分类号： G01N23/20 , H01M4/00
CPC分类号： G01N23/20 , G01N2223/633 , G01N2223/649 , H01M4/13 , H01M2004/021
摘要： 본발명은 X-선회절(X-ray diffraction)을이용한전극밀도및 전극공극률의측정방법에관한것이다본 발명의전극밀도및 전극공극률의측정방법에따르면, X-선회절(X-ray diffraction)을이용함으로써비파괴적인방식으로효율적으로전극밀도및 공극률을측정할수 있다.

9. 发明公开

KR20180020143A 멀티 모달 검출 시스템 및 방법 审中-公开
标题翻译：多模式检测系统和方法
公开(公告)号：KR20180020143A
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：KR20177034778
申请日：2016-08-10
申请人： UNIV TSINGHUA , NUCTECH CO LTD
发明人： CHEN ZHIQIANG , ZHANG LI , YANG DAI TIANYI , HUANG QINGPING , SUN YUNDA , JIN XIN
IPC分类号： G01N23/046 , G01N23/083 , G01N23/20 , G01N23/207 , G01V5/00 , G21K1/02
CPC分类号： G01N23/046 , G01N23/083 , G01N23/20083 , G01N23/207 , G01N2223/056 , G01N2223/316 , G01N2223/419 , G01N2223/643 , G01V5/005 , G21K1/02
摘要： 본발명은멀티모달검출시스템(100) 및방법에관한것이다. 피검체(111)를조사하는분포식방사선원(101)과, 분포식방사선원(101)의방사선을 XRD 검출용방사선과 CT 검출용방사선두 부분으로분할하는전방콜리메이터(102)와, CT 검출을수행하여피검체(111)의 CT 이미지를획득하는 CT 검출설비(103)와, XRD 검출을수행하여피검체(111)의 XRD 이미지를획득하는 XRD 검출설비(104)를포함하고, CT 검출과 XRD 검출이동시에수행되는멀티모달검출시스템(100)이개시된다. 당해멀티모달검출시스템(100) 및방법에따르면, CT 검출설비(103)와 XRD 검출설비(104)는 1 셋트의분포식방사선원(101)을공유할수 있고, CT 검출과 XRD 검출을동시에수행할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及多模式检测系统（100）和方法。用于将分布式辐射源101的辐射分为用于X射线检测和用于CT检测的辐射的两部分辐射的前部准直器102以及用于执行CT检测的前部准直器102 用于获得对象111的CT图像的CT检测设施103和用于执行XRD检测以获得对象111的XRD图像的XRD检测设施104，在移动时执行的多模式检测系统100被打开。根据本多模式检测系统100和方法，CT检测设施103和XRD检测设施104可以共享一组分布式源101并且可以同时执行CT检测和XRD检测有。

10. 发明公开

KR1020170139669A 계산 효율적인 X 선 기반의 오버레이 측정 审中-实审
标题翻译：高效计算效率的基于X射线的叠加测量
公开(公告)号：KR1020170139669A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020177034222
申请日：2016-04-28
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 헨치존 , 쉬체그로브안드레이 , 베이크만마이클
IPC分类号： G01N23/207 , G01N23/20 , G01N23/201
CPC分类号： G01N23/207 , G01N2223/611 , G01N23/20008 , G01N23/201
摘要： x 선회절측정데이터에기초하여디바이스구조체의오버레이및 에지배치오차를수행하기위한방법및 시스템이제시된다. 계측타겟의상이한층 사이의오버레이오차는다수의상이한입사각및 방위각에서측정되는각각의 x 선회절차수내의강도변동에기초하여추정된다. 오버레이의추정은, 저주파형상변조가기저함수의세트에의해설명되고고주파오버레이변조가, 오버레이를나타내는파라미터를포함하는아핀원형함수에의해설명되도록, 공통차수의상기강도변조의파라미터화를수반한다. 오버레이에추가하여, 계측타겟의형상파라미터가, 측정된회절차수의강도에대한측정모델의피팅분석에기초하여추정된다. 몇몇예에서, 오버레이의추정및 하나이상의형상파라미터값의추정은동시에수행된다.
摘要翻译：提出了用于基于x射线衍射测量数据执行装置结构的重叠和边缘放置误差的方法和系统。计量目标的层之间的重叠误差基于在多个不同的入射角和方位角处测量的每个x-转弯过程编号内的强度变化来估计。估计覆盖，并通过低频状调制顶端低水设定为高频率叠加调制所描述的，它涉及到强度调制屏幕的参数，对由仿射轮函数包括指示所述覆盖层的参数来描述的公共订单。除了覆盖图之外，度量目标的形状参数是基于测量模型对测量衍射级的强度的拟合分析来估计的。在一些情况下，估计值的估计和覆盖层的一个或多个形状参数在相同的时间内进行。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式