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    • 1. 发明授权
    • 프린지 메트릭 방법을 이용한 표면 검사 시스템
    • KR102320174B1
    • 2021-11-02
    • KR1020210035281
    • 2021-03-18
    • G01N21/956G01N21/896G01B11/25G06T7/50G06T7/60
    • 본발명은고휘도의조명대신 LED이조명을사용하여, 조명의수명을연장시킬수 있는장점을가진다. 조명에여러개의쌍으로이루어진 LED Array를 1개이상으로구성되어있어, 다양한간격의 Fringe가조합가능한것이특징이다. 또한조명과카메라의위치를자유롭게하며, 라인스캔으로의시스템구성을통해고속측정이가능한프린지메트릭방법을이용한표면검사시스템에관한것이다. 이러한프린지메트릭방법을이용한표면검사시스템은직선방향내지사선방향으로회전하는프레임모듈과, 프레임모듈의내부에길이방향을따라각각제어되는복수개의조명을포함하는조명모듈을포함하여검사체에빛을조사하는프린지조명부; 검사체를촬영하여프린지이미지를획득하는카메라부; 조명모듈에인가하여, 복수개의조명중 일부조명을설정시간온 시킨후 턴-오프시키며제1위상작동을만들고, 오프되어있는복수개의조명중 나머지조명을턴-온시키며제2위상작동을만드는위상신호를출력하고, 조명모듈이제1위상작동될 때마다카메라부에서획득한복수개의제1프린지이미지를시간순서에따라일렬종대로정렬한제1정렬이미지와, 조명모듈이제2위상작동될 때마다카메라부에서획득한복수개의제2프린지이미지를시간순서에따라일렬종대로정렬한제2정렬이미지를합성하여합성이미지를생성하는제어기부를포함한다. 또한, 이미지합성은 3D 이미지와 2.5D의이미지를생성가능하도록되어있으며대상체에따라선택하도록구성되어있다. 그리고 3D 이미지를생성하는프로세싱은 Wrapping의경계면을주위의 Phase정보를이용하여신뢰도를계산하여 Unwrapping을하도록하는것이특징이다.
    • 2. 发明授权
    • 난반사 개선형 글라스 기판 비전 검사 장치
    • KR102298110B1
    • 2021-09-03
    • KR1020200170034
    • 2020-12-08
    • G01N21/896G01N21/89G01N21/958G01N21/88
    • 본발명은베이스; 상기베이스상부에전후로길게배치되는스테이지; 상기베이스에설치되며상기스테이지상부측을따라전후로글라스기판을이송시키기위한이송수단; 상기스테이지상부측에이격배치되며상기이송수단에의해이송되는글라스기판의상면에대한파티클을검사하기위해글라스기판을가로지르는형태로배열되어영상을획득하는제1카메라를갖는제1검사유닛과, 상기스테이지상부측에이격배치되며상기이송수단에의해이송되는글라스기판의상면에대한표면결함을검사하기위해글라스기판을가로지르는형태로배열되어영상을획득하는제2카메라를갖는제2검사유닛과, 상기스테이지상부측에이격배치되며상기이송수단에의해이송되는글라스기판의내부결함을검사하기위해글라스기판을가로지르는형태로배열되어영상을획득하는제3카메라를갖는제3검사유닛과, 상기스테이지하부측에이격배치되며상기이송수단에의해이송되는글라스기판의하면에대한표면결함을검사하기위해글라스기판을가로지르는형태로배열되어영상을획득하는제4카메라를갖는제4검사유닛으로이루어지되, 상기제3 및제4 검사유닛이글라스기판을향해조명하는하나의제4광원부를통해서하나의동축조명을공유하는비전검사파트; 및상기제3검사유닛의제3카메라또는상기제4검사유닛의제4카메라, 또는이들모두를전후로변위(變位)케하여상기제3 및제4 검사유닛의각 카메라간의광축을이격시키기위한난반사방지용시프팅수단;을포함함으로써, 난반사를개선시켜원하는이미지를획득할수 있어비전검사의성능과결과에대한신뢰도를대폭향상시킬수 있는난반사개선형글라스기판비전검사장치에관한것이다.
    • 8. 发明公开
    • 투명판 표면 검사 장치, 투명판 표면 검사 방법, 및 유리판의 제조 방법
    • 透明板表面检查装置,透明板表面检查方法和玻璃板制造方法
    • KR1020170117313A
    • 2017-10-23
    • KR1020170028868
    • 2017-03-07
    • 아사히 가라스 가부시키가이샤
    • 기무라도모노리아리타유스케이케노타미노루히가시야마아키히로기타야먀다이스케
    • G01N21/896G01N21/898G01N21/956
    • 본발명은, 검사정밀도를향상시킨투명판표면검사장치를제공하기위한것이다. 투명판의주표면을검사하는투명판표면검사장치이며, 스트라이프패턴을포함하는광원과, 상기광원으로부터의광이상기주표면에서반사된앞쪽에설치되는라인센서카메라와, 촬상된상기스트라이프패턴의화상을화상처리하는화상처리장치를구비하고, 상기라인센서카메라는, 소정방향으로배열되는복수의화소를포함하는촬상소자와, 상기스트라이프패턴을상기촬상소자에결상하는렌즈를갖고, 상기광원및 상기촬상소자는, 양쪽모두상기주표면의편측에배치되고, 또한, 각각상기주표면에비스듬히대향하고, 상기소정방향의일단부에배치되는상기화소의상기주표면에있어서의촬상스폿의면적(S1)과, 상기소정방향의타단부에배치되는상기화소의상기주표면에있어서의촬상스폿의면적(S2(S2>S1))의비(S1/S2)가 0.20 이상인, 투명판표면검사장치가제공된다.
    • 本发明的目的是提供一种具有提高的检测精度的透明板表面检查设备。 1。一种透明板表面检查装置,用于检查透明板的主表面,包括:包括条纹图案的光源;设置在所述光源的前侧上的线传感器照相机, 其中,线传感器照相机具有包括沿预定方向排列的多个像素的图像拾取元件和用于将图像拾取元件上的条纹图案成像的透镜, 其中,成像元件设置在图像拾取装置的主表面的一侧上,并且每个图像拾取装置在与主表面相反的倾斜方向上设置在主表面的一侧上, 在设置在预定方向上的另一端的像素的主表面上的成像点的区域(S2(S2> S1))的距离(S1 / S2)为0.20或更大。 是的。