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1. 发明授权

KR102460192B1 케이스 격리된 오일 충전식 MEMS 압력 센서 有权
公开(公告)号：KR102460192B1
公开(公告)日：2022-10-27
申请号：KR1020150170689
申请日：2015-12-02
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/06 , G01L9/08 , G01L19/06 , B81B7/02 , B81B3/00 , H01L41/25

2. 发明授权

KR102434353B1 압력 센서 有权
公开(公告)号：KR102434353B1
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：KR1020200136350
申请日：2020-10-20
IPC分类号： G01L19/06 , G01L19/14 , G01L19/00 , G01L7/08
摘要： 압력센서가개시된다. 본발명의일 실시예에따른압력센서는하우징, 상기하우징일단에마련되며, 일단은개방되고, 타단은다이어프램이형성되어유체의압력으로인한상기다이어프램의변형정도에따라상기유체의압력을감지하는압력감지부, 상기하우징내부에마련되며, 상기압력감지부와연결되어상기압력감지부가감지하는상기유체의압력값을보정하는회로부및 상기하우징타단에마련되며, 상기회로부가보정한상기압력값을외부기기에전달하도록상기외부기기에장착되는커넥터를포함한다.

3. 发明授权

KR102396646B1 보호 장치 有权
公开(公告)号：KR102396646B1
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：KR1020207019497
申请日：2018-12-19
IPC分类号： G01L19/06
摘要： 본발명은센서(2)의멤브레인(3)용보호장치(1)에관한것으로; 상기센서(2)는물리적파라미터를검출하며, 상기물리적파라미터는매체에의해전송되고, 상기매체는멤브레인(3)에작용하며; 상기보호장치(1)는센서(2)에부착될수 있고; 상기보호장치(1)는길이방향축(Z)을가지며; 상기보호장치(1)는센서(2)에부착될때 적어도하나의방사선소스(9)로부터의전자기방사선으로부터멤브레인(3)을보호하며; 상기보호장치(1)는적어도하나의통로(7)를포함하고, 보호장치(1)가센서(2)에부착될때 상기통로(7)를통해매체가멤브레인(3)에도달할수 있으며; 보호장치(1)가센서(2)에부착될때 상기통로(7) 내에서전자기방사선이전파될수 있으며; 통로(7) 내에서전파되는전자기방사선은멤브레인(3)에도달하기위해먼저통로의벽 또는간단히통로벽(71)에서적어도 1 회반사되어야한다.

4. 发明授权

KR102391256B1 하우징 밀봉부가 통합된 미소 기계식 센서 장치, 미소 기계식 센서 어셈블리, 및 상응하는 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102391256B1
公开(公告)日：2022-04-28
申请号：KR1020197026110
申请日：2018-01-30
IPC分类号： G01L19/00 , G01L19/06 , G01L19/14
摘要： 본발명은, 하우징밀봉부가통합된미소기계식센서장치, 미소기계식센서어셈블리, 및상응하는제조방법에관한것이다. 하우징밀봉부가통합된미소기계식센서장치에는, 상부면(OS) 및하부면(US)을구비하는미소기계식센서칩(C2; C2')이설치되어있고, 이경우상부면(OS; OS')에는또는상에는환경매체와접촉할수 있는센서영역(SB; SB')이제공되며, 그리고센서영역(SB; SB')의주변에제공되어있고상부면(OS) 쪽으로개방된하나이상의환상트렌치(DT; DT')가설치되어있고, 이경우환상트렌치는그 위에장착될상응하는하우징의영역을밀봉하기위한밀봉매체(DI)로적어도부분적으로채워져있다.

5. 发明授权

KR102360197B1 전압력 측정 프로브 有权
公开(公告)号：KR102360197B1
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：KR1020200099183
申请日：2020-08-07
IPC分类号： G01L19/06 , G01L19/04 , G01L19/00 , G01L23/28 , G01M9/00
摘要： 일실시예에따른전압력측정프로브는, 내부공간을구비하는몸체부; 상기몸체부의전방으로돌출형성되는돌출부; 일단은상기돌출부에연결되고, 타단은외부의압력센서에연결되는계측라인; 외부로부터상기내부공간으로냉각수를유입하는냉각수유입포트; 및상기내부공간에유입된냉각수가외부로토출되도록안내하는냉각수토출포트를포함하고, 상기몸체부는, 상기내부공간및 외부를연통시키도록형성되어, 상기내부공간에유입된냉각수의적어도일부가외부로분출되게하는복수개의분출홀을더 포함할수 있다.

6. 发明公开

KR20210014737A 고온 압력 센서들의 열 절연을 위한 장치 및 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20210014737A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR20217000949
申请日：2019-06-20
IPC分类号： G01L19/06 , G01L19/00 , G01L19/14
摘要： 고온압력센서는압력센서디바이스및 압력센서디바이스에열을제공하기위해압력센서디바이스의외부에있는히터쉘 바디(heater shell body)를포함한다. 파티클-생성(particle-generating) 절연재료(insulation material)는캡슐화재료(encapsulation material) 내에파티클-생성절연재료를포함하는캡슐화된절연구조를형성하기위해캡슐화재료내에캡슐화되고, 이에따라, 캡슐화재료는캡슐화된절연구조내에파티클-생성절연재료에의해생성된파티클들을실질적으로포함한다. 캡슐화된절연구조는히터쉘 바디의외부에인접하게배치된다.

7. 发明授权

KR102208154B1 보호층을 구비한 센서 有权
公开(公告)号：KR102208154B1
公开(公告)日：2021-01-27
申请号：KR1020157035211
申请日：2014-06-04
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 쿡리차드에이 , 고넬라조지 , 문성인 , 엑스트랜드찰스더블유 , 필리온존이
IPC分类号： G01L19/06 , B81B7/00 , B81C1/00 , H01L27/04 , H01L21/768
摘要： 센서는세라믹재료를포함하는센서층; 크롬을포함하는접착층으로서센서층의액체대향면의하나이상의부분에부착된접착층; 및중합체를포함하는절연체필름으로서접착층의액체대향면을덮는절연체필름을포함한다. 절연체필름은부식성유체및 고온의유체로부터센서를보호하기위해, 예컨대, 85℃내지 100℃의온수에의장기간노출로부터센서를보호하기위해사용될수 있다.

8. 发明授权

KR102160498B1 압력 센서 칩 有权
公开(公告)号：KR102160498B1
公开(公告)日：2020-09-28
申请号：KR1020190083287
申请日：2019-07-10
申请人： 아즈빌주식회사
发明人： 도쿠다도모히사 , 도조히로후미 , 기다노조미
IPC分类号： G01L19/06 , G01L13/02 , G01L19/14 , G01L7/08

9. 发明授权

KR102128518B1 액압 측정 유닛 및 액면계 有权
公开(公告)号：KR102128518B1
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：KR1020160092839
申请日：2016-07-21
申请人： 무사시노 컴퍼니 리미티드
发明人： 야마다이와오
IPC分类号： G01L19/06 , G01F23/16 , G01L17/00 , G01L7/08

10. 发明授权

KR101868889B1 무선전력전송을 이용한 샤프트 모니터링 및 보호 장치 有权
公开(公告)号：KR101868889B1
公开(公告)日：2018-06-27
申请号：KR1020180019826
申请日：2018-02-20
申请人： 주식회사 파워리퍼블릭
发明人： 최창욱 , 황상훈
IPC分类号： G01L19/06 , H02J50/12 , B60K17/24 , B63H23/34 , G01L5/24
CPC分类号： G01L19/06 , B60K17/24 , B63H23/34 , G01L5/24 , H02J50/12
摘要： 본발명은무선전력전송을이용한샤프트모니터링및 보호장치에관한것이다. 본발명에따른무선전력전송을이용한샤프트모니터링및 보호장치는, 샤프트의표면을원주방향으로둘러싸며배치되는수신공진코일을적어도하나포함하고, 수신공진코일을전선으로연결한수신공진부; 수신공진부와일정거리를유지하며수신공진코일과마주보도록설치된송신공진코일을포함하고, 외부로부터전원을공급받아송신공진코일을통하여수신공진코일로전력을무선으로전송하는송신공진부; 수신공진부와전기적으로연결되어수신공진부에서수신한전력을직류로정류하는정류부; 정류부로부터전력을공급받으며, 샤프트의뒤틀림, 스러스트또는토크를측정하는응력측정센서및 응력측정센서에서측정한데이터를분석, 저장및 전송하는데이터분석모듈을포함하는측정송신부; 샤프트와떨어져있는구조체에고정되어측정송신부에의해분석및 저장된데이터를수신하는측정수신부; 및샤프트의표면에형성된절연층과절연층상에마련된분극전원및 양극을구비하고, 분극전원은정류부와연결되어전력을공급받으며, 양극및 샤프트와연결되어샤프트의표면을분극시켜전위를음극화하는샤프트부식방지부를포함한다.

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