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1. 发明授权

KR102476246B1 재료의 수정을 위한 가간섭적 촬영 및 피드백 제어를 위한 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR102476246B1
公开(公告)日：2022-12-08
申请号：KR1020197023716
申请日：2018-01-18
IPC分类号： B23K26/03 , B23K15/00 , B23K26/00 , B23K26/082 , B23K26/21 , B23K26/342 , G01B9/02
摘要： 수술레이저, 소결, 및용접적용예와같은재료수정프로세스의맥락에서광학적간섭측정을이용하기위한방법및 시스템이제공된다. 촬영광 공급원은촬영광을생산한다. 피드백제어기가, 화상광을이용하여생성된간섭측정출력을기초로재료수정프로세스의적어도하나의프로세싱매개변수를제어한다. 간섭도를프로세스하는방법이호모다인필터링을기초로제공된다. 간섭측정출력을이용하여재료수정프로세스의기록을생성하는방법이제공된다.

2. 发明授权

KR102447598B1 광거리 측정 장치, 및 가공 장치 有权
公开(公告)号：KR102447598B1
公开(公告)日：2022-09-26
申请号：KR1020227011373
申请日：2019-10-18
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02 , G01C3/06

3. 发明授权

KR102440953B1 신호 크기의 작은 변화를 민감하게 감지하기 위한 간섭계 회로를 갖는 신호 검출 회로 및 센서 有权
公开(公告)号：KR102440953B1
公开(公告)日：2022-09-05
申请号：KR1020210042710
申请日：2021-04-01
IPC分类号： G01H13/00 , G01B9/02 , G01N29/12
摘要： 본실시예들은모델링경로인감쇠기와위상천이기를이용하여공진기의초기상태를모델링함으로써공진기의품질계수를향상시키고측정대상의작은변화량에도공진기의투과계수를크게변화시킬수 있는신호검출회로및 센서를제공한다.

4. 发明授权

KR102433837B1 3차원 정보 생성 장치 有权
公开(公告)号：KR102433837B1
公开(公告)日：2022-08-18
申请号：KR1020170156689
申请日：2017-11-22
IPC分类号： G01B11/25 , H04N5/225 , G01B9/02
摘要： 3차원정보생성장치및 방법이개시된다. 본개시의일 실시예에따른 3차원정보생성장치는 3차원정보를복원하는대상이되는객체에광을제공하는광원부와, 상기광원부와상기객체사이에마련되며, 상기광을반사하는복수의돌기를구비하는좌표기준기구부와, 상기좌표기준기구부와상기객체를동시에촬영한이미지를출력하는카메라부와, 상기복수의돌기에의해상기광이각각반사되는복수의돌기반사점과, 상기이미지에표시되는복수의돌기반사점사이의관계를고려하여, 상기광에의해형성되는투사평면을확인하고, 상기투사평면을사용하여상기객체의 3차원정보를생성하는 3차원정보처리부를포함할수 있다.

5. 发明授权

KR102414277B1 광학 위상 측정 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR102414277B1
公开(公告)日：2022-06-29
申请号：KR1020217042377
申请日：2015-04-12
IPC分类号： G01N21/956 , G01B9/02
摘要： 패턴화된샘플의파라미터를측정하는데사용하기위한측정시스템이제시된다. 상기시스템은, 광역광 소스, 간섭시스템으로서구성된광학시스템, 검출유닛및 제어유닛을포함하되, 상기간섭시스템은기준반사기를포함하는기준암 및샘플암을가진조명및 검출채널을형성하고, 샘플암과기준암 사이의광학경로차이를유도하도록구성되며, 상기검출유닛은상기반사기로부터반사된광선및 샘플의지지부로부터전파되는광선에의해형성된결합된광선을검출하고, 적어도두 개의스펙트럴간섭특징에의해형성된스펙트럴간섭패턴을나타내는측정된데이터를생성하도록구성되고작동되며, 상기제어유닛은샘플내의패턴의하나이상의파라미터를결정하기위해, 측정된데이터를수신하고, 모델-기반의프로세싱을스펙트럴간섭패턴에적용하도록구성되고작동된다.

6. 发明授权

KR102394823B1 하이브리드 분광 이미저 有权
公开(公告)号：KR102394823B1
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：KR1020217006083
申请日：2019-07-31
IPC分类号： G01N21/31 , G01N21/27 , G01J3/02 , G01J3/28 , G01J3/32 , G01J3/36 , G01J3/51 , G01B9/02 , H04N9/097 , G01J3/12
摘要： 본발명은응시-스펙트럼스캐닝및 비디오스냅샷스펙트럼이미징모드들둘 모두에서동작하는하이브리드및 스캐닝/스냅샷스펙트럼이미저를개시한다. 선택가능한임계스펙트럼대역들의세트에서의스냅샷스펙트럼이미징동작은공간해상도를손상시키지않으면서머신러닝-기반추정및 전체초분광큐브의비디오-레이트디스플레이에대한기반을포함한다. 응시형스캐닝모드에서동작할시에, 개시된하이브리드스펙트럼이미저는, 초분광큐브샘플링을완료할때까지, 주어진튜닝단계에서그리고복수의튜닝단계들에대해협대역이미지들의세트들을획득한다. 스캐닝동작은, 수집된스펙트럼들에존재하는중복정보가폐기되도록스냅샷동작을최적으로구성하기위해사용될수 있다. 개시된하이브리드스펙트럼이미저는소형화및 저전력동작에민감한실시예들을포함하여, 모바일폰 및컴퓨터플랫폼들로의통합을허용한다. 본발명은비파괴테스팅, 실시간스펙트럼및 화학적맵핑, 비침습적진단및 스펙트럼사진을적어도부분적으로포함하는애플리케이션들을다루도록의도된다.

7. 发明授权

KR102393740B1 편광 타겟 및 편광 조명을 사용한 회절 차수의 진폭 및 위상의 제어 有权
公开(公告)号：KR102393740B1
公开(公告)日：2022-05-02
申请号：KR1020187019468
申请日：2016-06-01
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02
摘要： 계측스캐터로메트리타겟, 광학시스템및 대응하는계측툴, 및측정방법이제공된다. 타겟및/또는광학시스템은, 스캐터로메트리타겟의조명시에 0 차회절신호들사이에 180°의위상시프트를생성함으로써, 스캐터로메트리타겟으로부터의 0 차회절신호에대해 1 차회절신호들을향상시키도록설계된다. 예를들어, 타겟은조명시에 0 차회절신호들사이에제1 위상시프트를생성함으로써편광조명에응답하도록설계될수도있고, 광학시스템들은편광조명에의해타겟을조명하고결과적인회절신호를분석하여, 조명시에 0 차회절신호들사이의제2 위상시프트를야기하도록설계될수도있다. 0° 와 180° 사이의위상시프트로, 0 차회절신호를상쇄하기위해위상시프트는 180°까지가산된다.

8. 发明授权

KR102391066B1 다층박막 두께 및 형상 측정을 위한 진동둔감 간섭계 有权
公开(公告)号：KR102391066B1
公开(公告)日：2022-04-28
申请号：KR1020200023107
申请日：2020-02-25
IPC分类号： G01B11/06 , G01B11/24 , G01B9/02 , G02B27/28 , G01N21/45 , G01N21/21
摘要： 본발명은진동둔감간섭법을이용한다층박막두께및 형상측정장치및 측정방법에관한것으로, 보다상세하게는다층박막이코팅된측정대상물의두께및 형상을측정하기위한장치에있어서, 광을출사시키는광원을갖는조명광학모듈; 상기조명광학모듈에서출사된광의제1편광파를반사시키고, 제2편광파를투과시키는편광빔스플리터; 상기편광빔스플리터에의해반사된제1편광파가통과된후, 상기측정대상물에반사된반사광을제2편광반사파로변환시키는제1쿼터파장판; 상기편광빔스플리터에투과된제2편광파가통과된후, 기준반사판에반사된반사광을제1편광반사파로변환시키는제2쿼터파장판; 상기편광빔스플리터를투과한제2편광반사파와, 상기편광빔스플리터에의해반사된제1편광반사파가통과되어상기제2편광반사파와상기제1편광반사파의위상지연을발생시켜간섭신호를생성하는제3쿼터파장판; 상기제3쿼터파장판을통과한후, 간섭신호가입사되는이미징광학계; 상기이미징광학계를통과한간섭신호패턴의선택된라인만을투과시키는슬릿; 상기슬릿을통과한라인간섭신호를분광패턴으로변환하는영상분광기; 서로다른위상천이상태를갖는분광영상을획득, 측정하는편광카메라; 및상기서로다른위상천이상태를갖는분광영상으로부터측정대상물의형상을측정, 분석하는분석수단;을포함하는것을특징으로하는진동둔감간섭법을이용한다층박막두께및 형상측정장치에관한것이다.

9. 发明授权

KR102357925B1 WLSI의 간섭무늬 신호를 이용한 샘플 표면 높이 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR102357925B1
公开(公告)日：2022-02-04
申请号：KR1020190037055
申请日：2019-03-29
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02 , G06F17/10 , G01N21/45
摘要： WLSI의간섭무늬신호를이용한샘플표면높이측정장치에대해개시한다. 본발명의실시예에따른샘플표면높이측정장치는단차측정기에서검출된간섭무늬신호를미리설정된변환식에따른방식으로전처리하는신호전처리부, 간섭무늬신호에대하여전처리부에서산출한진동수별진폭값을이용하여신뢰도를산출하는신뢰도검출부, 간섭무늬신호에대하여산출한신뢰도값으로신뢰도범위를분석하는신뢰도분석부, 및전처리된간섭무늬신호의신뢰도범위에따라전처리된간섭무늬신호를미리설정된변환식에따른방식으로보간처리하고복원하는신호복원처리부를포함하는바, 고신뢰도간섭무늬신호에대해 Band-pass HRIDCT를통해고해상도로신호를복원하여샘플표면의높이를정밀하게측정하고, 저신뢰도간섭무늬에대해서는해당간섭무늬를높이측정에사용하지않고주변의고신뢰도로측정된높이값으로부터보간하여그 위치의높이를결정할수 있다.

10. 发明授权

KR102353250B1 기판의 평면내 왜곡을 결정하기 위한 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR102353250B1
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：KR1020177032141
申请日：2016-04-06
IPC分类号： G01B11/16 , H01L21/66 , G01B9/02 , G01B11/24
摘要： 기판의평면내왜곡의결정은, 척킹되지않은상태에서의기판의하나이상의평면외왜곡을측정하는것, 척킹되지않은상태에서의기판의측정된평면외왜곡에기초하여척킹되지않은상태에서의기판상의막의유효막 응력을결정하는것, 척킹되지않은상태에서의기판상의막의유효막 응력에기초하여척킹된상태에서의기판의평면내왜곡을결정하는것 및측정된평면외왜곡또는결정된평면내왜곡중 적어도하나에기초하여프로세스도구또는오버레이도구중 적어도하나를조정하는것을포함한다.

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