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    • 1. 实用新型
    • 정압기 SSV의 지지 장치
    • KR200496223Y1
    • 2022-11-30
    • KR2020200004852
    • 2020-12-24
    • B25B11/02F17D3/01F17D5/02F16K51/00B25B27/02
    • 본문서에개시된일 실시예에따른정압기 SSV(slam shut off valve)의지지장치는하부플레이트, 하부플레이트의하면에설치된하나이상의휠, 하부플레이트의상면중앙에부착되고, 일측이개방된파이프형태로이루어진실린더수용부, 실린더수용부내에삽입되고원통형으로이루어진유압실린더, 유압실린더와연통되는유압펌프, 유압실린더의상단에유압실린더와수직으로결합되는연결부, 연결부의일단으로부터 SSV를향해상방으로연장되고, 상단부가수평방향으로절곡된제1 지지부, 연결부의타단으로부터 SSV를향해상방으로연장되고, 상단부가수평방향으로절곡된제2 지지부, SSV의제1 개구를향하도록제1 지지부의상단부를상방으로관통하는제1 결합부재, SSV의제2 개구를향하도록제1 지지부의상단부를상방으로관통하는제2 결합부재, SSV의제3 개구를향하도록제2 지지부의상단부를상방으로관통하는제3 결합부재, 및 SSV의제4 개구를향하도록제2 지지부의상단부를상방으로관통하는제4 결합부재를포함할수 있다.
    • 3. 发明授权
    • 밸브 조립체 및 기판 처리 장치
    • KR102386545B1
    • 2022-04-15
    • KR1020180104380
    • 2018-09-03
    • F16K1/36F16K1/46F16K27/02F16K51/00H01L21/67
    • 본발명은세정가스의공급을조절하는밸브조립체를포함하고기판을처리할수 있는기판처리장치에관한것으로서, 제 1 가스가유입되는유입부와배출되는배출부가형성되고, 내부로상기제 1 가스가유동할수 있도록상기유입부와상기배출부를연결하는중공관부가형성되는밸브하우징과, 상기배출부를개폐하는블레이드와, 상기블레이드의상면으로부터원기둥형상으로돌출되게형성되어상기밸브하우징의상부를관통하게형성되는블레이드스템과, 상기블레이드를개방위치또는폐쇄위치로이동시킬수 있도록, 상기밸브하우징내부에서상기블레이드스템을둘러싸도록형성되어상기블레이드스템을승하강시키는구동부및 상기블레이드가상기개방위치로구동시 상기블레이드의하면이상기중공관부로유동하는상기제 1 가스에노출되는것을방지하고, 상기블레이드가상기폐쇄위치로구동시 상기블레이드의상기하면이상기배출부로부터유입되는제 2 가스에노출되는것을방지할수 있도록, 상기블레이드및 상기블레이드스템을상하로관통하게형성되어상기블레이드의상기하면으로커튼가스를분사하는커튼가스분사부를포함할수 있다.
    • 4. 发明授权
    • 밸브 조립체 및 기판 처리 장치
    • KR102386544B1
    • 2022-04-15
    • KR1020180089015
    • 2018-07-31
    • F16K1/34F16K27/02F16K51/00H01L21/67
    • 본발명은세정가스의공급을조절하는밸브조립체를포함하고기판을처리할수 있는기판처리장치에관한것으로서, 제 1 가스가유입되는유입부와배출되는배출부가형성되고, 내부로상기제 1 가스가유동할수 있도록상기유입부와상기배출부를연결하는중공관부가형성되는밸브하우징과, 상기배출부를개폐하는블레이드와, 상기블레이드를개방위치또는폐쇄위치로이동시키는구동부와, 상기블레이드가상기폐쇄위치로구동시 상기배출부를밀폐할수 있도록, 상기블레이드하부에구비되는실링부재및 상기블레이드가상기개방위치로구동시 상기실링부재가상기제 1 가스에노출되는것을방지할수 있도록, 상기밸브하우징에형성되어상기블레이드측으로커튼가스를공급하는제 1 커튼가스공급부를포함할수 있다.
    • 5. 发明授权
    • 다이어프램 밸브
    • KR102368773B1
    • 2022-03-02
    • KR1020180046162
    • 2018-04-20
    • F16K1/34F16K27/02F16K31/06F16K51/00
    • 다이어프램밸브는코일과폴 피스를구비하는솔레노이드보디를포함한다. 아마츄어는전압위치와무전압위치사이에서길이방향축을따라솔레노이드보디내에서슬라이딩하도록구성된다. 밸브보디카트리지는솔레노이드보디에연결된다. 아마츄어에연결된밸브부재는, 아마츄어가이동할때 밸브보디카트리지내에서슬라이딩하도록구성된다. 바이어싱부재는무전압위치를향하여아마츄어를정상적으로편향시키도록작동한다. 밸브보디카트리지로부터밸브보디를향하여내측으로연장하는다이어프램은아마츄어와밸브부재사이에수용된다. 다이어프램지지슬리브는, 아마츄어를수용하는슬리브공동을형성하는지지슬리브벽과다이어프램의적어도일부분을인접하여지지하도록지지슬리브벽으로부터내측으로연장하는지지슬리브플랜지를포함한다.