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1. 发明授权

KR102450928B1 진공 펌프와 이에 이용되는 스테이터 칼럼과 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102450928B1
公开(公告)日：2022-10-05
申请号：KR1020197012723
申请日：2017-12-08
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/32 , F04D29/02 , B22D21/04 , B22D25/02

2. 发明授权

KR102237805B1 진공 펌프 有权
公开(公告)号：KR102237805B1
公开(公告)日：2021-04-07
申请号：KR1020157011125
申请日：2013-10-14
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 파테이알렉산더제임스 , 루체타에밀리아노 , 키치이안 , 바라미모하마드에흐테사디 , 홀러리차드글린
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/00 , F04D29/056
摘要： 본발명은터보분자펌핑기구(14)를포함하는진공펌프(10)에관한것으로서, 터보분자펌핑기구의작동특성은진공펌프의방향설정에의존하며, 진공펌프는방향설정을탐지하기위한방향설정센서(28)를포함한다.

3. 发明公开

KR20210016517A 진공 펌프와 그 냉각 부품 审中-公开
公开(公告)号：KR20210016517A
公开(公告)日：2021-02-16
申请号：KR20207031754
申请日：2018-05-30
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/58
摘要： 진공펌프를설치하는현장의냉각배관레이아웃에따라, 냉각부품에대한냉각배관의접속작업을행할수 있고, 사용하기편리한진공펌프및 냉각부품을제공하기위하여, 냉각부품(8)은, 제1 및제2 포트(81A, 81B)로이루어지는복수의포트쌍(81)과, 복수의포트쌍의각 포트에연통하는냉매의유로(82)와, 복수의포트쌍의사용형태를설정하는설정수단(83)을구비하며, 복수의포트쌍은, 외장케이스의둘레방향을따라설치되고, 설정수단은, 복수의포트쌍중, 선택된하나의포트쌍에대하여, 그제1 포트를사용한외부로부터상기유로내로의냉매의공급과, 그제2 포트를사용한상기유로내로부터외부로의냉매의배출이가능해지도록설정함과더불어, 그이외의포트쌍에대하여, 그제1 포트를사용한외부로부터상기유로내로의냉매의공급과, 그제2 포트를사용한상기유로내로부터외부로의냉매의배출이불가능해지도록설정한다.

4. 发明公开

KR20200133329A 진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼 审中-公开
公开(公告)号：KR20200133329A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：KR20207023284
申请日：2019-03-13
申请人： EDWARDS JAPAN LTD
发明人： KAWASHIMA TOSHIAKI
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/66
摘要： 간단한구조이고, 또한, 비틀림방향의제진성을높일수 있음과더불어, 마주향하는플랜지끼리의어긋남을규제하여 O링이나탄성체의파단, 손상을방지하는것이가능한진공펌프및 진공펌프용댐퍼를제공한다. 서로대향해서배치되며, 환상인제1 플랜지(13) 및제2 플랜지(14)와, 제1 플랜지(13)와제2 플랜지(14) 사이에배치되어있는 O링(16) 및중간링(15)과, 제1 플랜지(13)와중간링(15) 사이와중간링(15)과제2 플랜지(14) 사이에각각배치되어있는 O링(16)과, 제1 플랜지(13)와제2 플랜지(14) 사이에있어서, 중앙개구(13a, 14a)의둘레방향으로점재하여배치되어있는복수개의탄성체(17)와, 제1 플랜지(13)와중간링(15)과제2 플랜지(14)에각각형성된위치결정구멍(13e, 15e, 14e) 내를순서대로통과해서배치된위치결정핀(41)을갖는기밀유지수단(51)을구비한다.

5. 发明授权

KR102086198B1 벤추리 효과를 이용해 진공을 생성하는 아스피레이터용 흐름 제어 有权
公开(公告)号：KR102086198B1
公开(公告)日：2020-05-27
申请号：KR1020167015506
申请日：2014-12-10
申请人： 데이코 아이피 홀딩스 엘엘시
发明人： 햄튼,키스 , 플레처,데이비드 , 그라이첸,브라이언엠. , 브라보,렉스 , 밀러,제임스에이치. , 길머,매트 , 니더,앤드류
IPC分类号： F04F5/20 , F16K3/32 , F04D19/04

6. 发明授权

KR102106659B1 전자 회전 장치 및 그 전자 회전 장치를 구비한 진공 펌프 有权
公开(公告)号：KR102106659B1
公开(公告)日：2020-05-04
申请号：KR1020157006203
申请日：2013-10-09
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 오모리히데키
IPC分类号： F04D19/04 , F04D25/06 , F04D27/02 , F16C32/04

7. 发明授权

KR101848528B1 진공 펌프 有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：KR101848528B1
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：KR1020137006323
申请日：2011-07-28
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤 , 소시에테 드 메카니끄 마그네티끄
发明人： 슈로더,울리히 , 카라스코,에뒤아르도 , 헨리,브노와
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F01D25/00 , F04D19/042 , F04D25/068 , F04D25/0693 , F04D29/5813
摘要： 기판배선이간단하고, 기판의냉각이용이한진공펌프를제공한다. 펌프본체(100)측의케이싱의개구를막도록플레이트(201)를배치하고, 이플레이트(201)가제어유닛(200)측의케이싱도겸하는기판유닛으로했다. 플레이트(201)에관통고정된단자(210)의핀(207)에대해 AMB 제어기판(209)과대기측접속기판(211)을직접납땜해일체화시켰다. 따라서, 케이싱부분및 시일구조를간소하게구성할수 있다. 이로인해, 고가인방적커넥터(1,3)를필요로하지않아, 염가인단자(210)로방적구조를구성할수 있다. 그리고, 이플레이트(201)의냉각을통해진공측의 AMB 제어기판(209)과대기측의대기측접속기판(211) 상에각각탑재된전자부품을한번에냉각할수 있다.
摘要翻译：基板布线简单，并且基板被冷却。板201布置成关闭泵体100侧上的壳体的开口，并且板201还用作控制单元200侧上的壳体。 AMB控制板209和底座连接板211直接焊接到通过板201固定的端子210的引脚207上以将它们集成。因此，壳体部分和密封结构可以被简单地构造。这使得可以用廉价的终端210构造纺纱结构，其不需要昂贵的纺纱连接器1,3。然后，通过冷却发射器201，可以一次冷却安装在真空侧的大气侧连接基板211和真空侧的AMB控制基板209上的电子部件。

8. 发明授权

KR101848521B1 진공 펌프 제어 장치 및 진공 펌프 有权
标题翻译：真空泵控制装置和真空泵
公开(公告)号：KR101848521B1
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：KR1020127027706
申请日：2011-07-28
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 오모리히데키 , 가바사와다카시
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/00
CPC分类号： F04D29/5813 , F04B37/08 , F04B37/085 , F04B37/14 , F04D19/042 , F04D25/068 , F04D27/0292
摘要： 진공펌프에접속되는진공펌프제어장치(컨트롤러)에설치되는회생저항의방열성을간단한구성으로향상시키는것을목적으로한다. 진공펌프제어장치에설치되는회생저항을, 알루미늄다이캐스트케이싱내에수용한다. 더욱상세하게는, 진공펌프제어장치의하우징을, 알루미늄의다이캐스팅(금형주조)으로제작하고, 당해알루미늄다이캐스트의천판에, 회생저항전체가들어가는치수로설계된공동부가설치된회생저항수용부(알루미늄다이캐스트케이싱)를설치한다. 회생저항을당해공동부에끼워넣고, 공동부의개구부분을, 볼트와, 케이싱과동일한소재인알루미늄판에의해봉지함으로써, 회생저항은알루미늄다이캐스트케이싱에취출가능하게수용된다.
摘要翻译：目的在于提高设置在连接到真空泵的真空泵控制装置（控制器）中的再生电阻器的散热性能，以简单的配置。安装在真空泵控制装置中的再生电阻器容纳在铝压铸壳体中。更具体地，真空泵控制系统的壳体，通过压铸制造的（压铸）的铝，这样的铝模铸件的顶板，容纳恢复电阻接合部被安装，设计为一个完整的倾卸电阻器进入尺寸单元（铝压铸铸造外壳）。放入空腔中的技术中的再生电阻，通过螺栓和铝板相同的材料外壳的装置在所述开口部的空腔中，通过封装，再生电阻被接收，以使取出铝压铸壳体。

9. 发明公开

KR1020170110075A 진공 펌프 审中-实审
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：KR1020170110075A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：KR1020177018187
申请日：2016-01-19
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 오타치요시노부 , 마에지마야스시 , 다카아다쓰토무
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/083 , F04D17/168 , F04D19/042 , F04D19/046 , F04D29/403 , F04D29/4206
摘要： [과제] 분할구조를갖는고정원판을갖는진공펌프에있어서, 상기분할구조가접합되는접합면에생기는간극이나편차를적게한다. [해결수단] 본실시형태에따른터보분자펌프에서는, 고정원판과심 내기(중심내기)하는고정부재와의인롱관계를, 종래와반대로한다. 즉, 베이스와고정원판의감합구조에있어서, 베이스의내주면에의해고정원판의외주면을눌러접합하는(외측으로부터구속하는) 구조에의해중심내기(위치결정/센터링)를행한다. 또, 고정원판의인롱구조를일체부품으로구성한다. 또한, 고정익과시그반구조를갖는고정원판의인롱위치를별도로설치한다.
摘要翻译： [问题]在具有具有分割结构的固定盘的真空泵，越少的间隙或偏差发生在其上的分区结构接合的接合面。 [解决问题的手段]在本实施方式的涡轮分子泵，长与用于固定的关系赌注原板和垫片（定心），相对于现有技术的固定构件。即，在基底结构和固定盘的啮合，并通过所述基部的内周面按压所述固定盘的外周面的接合结构由（从外侧结合）进行定心（定位/定心）。另外，固定盘的磷结构由整体部件组成。另外，在安装具有固定机翼结构和签名半分开的固定盘的长位置。

10. 发明授权

KR101750572B1 진공 펌프 有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：KR101750572B1
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：KR1020117027950
申请日：2010-06-14
申请人： 에드워즈 가부시키가이샤
发明人： 미와타도오루 , 이시이게이이치 , 마치다가츠히데 , 오타치요시노부 , 마에지마야스시 , 다카아다츠토무
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/00 , F04D29/58
CPC分类号： F04D19/042 , F04D27/001 , F04D29/584 , F05D2270/303
摘要： 펌프에배치된온도센서의수보다적은수의가열장치혹은냉각장치를이용하여온도제어를가능하게한 진공펌프를제공한다. 본펌프내의각 타겟에대해온도센서는각각 1개씩배치되어있는한편, 히터(147) 및전자밸브(163)는 1조만배치되어있다. 이러한복수의온도센서출력신호에기초하여 1조의히터와전자밸브를온도센서에우선순위를정한형태로제어한다. 이와같이, 온도센서에우선순위를정함으로써, 우선먼저우선순위가높은온도센서가배치된타겟에대해신속한온 오프제어를걸어온도를제어범위내로수속시키고, 그후, 우선순위가낮은온도센서가배치된타겟에대한온도를제어범위내로수속시킨다.
摘要翻译：本发明提供一种真空泵，其能够通过使用数量比设置在泵中的温度传感器的数量更少的加热装置或冷却装置来控制温度。一个温度传感器设置在本泵中的每个目标上，而仅设置一个加热器147和一个电磁阀163。基于多个温度传感器输出信号，以温度传感器的优先顺序控制一组加热器和电磁阀。在以这种方式，由所述优先级设置为温度传感器，首先，将第一优先级和程序进入快速通断控制的也走了控制范围被设置在温度传感器目标，然后，优先级被放置在低的温度传感器目标的温度收敛在控制范围内。

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