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1. 发明授权

KR102480644B1 표면 처리 조성물, 그의 제조 방법, 및 이를 사용한 표면 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102480644B1
公开(公告)日：2022-12-26
申请号：KR1020197026469
申请日：2018-01-23
IPC分类号： C11D7/22 , C11D7/10 , C11D7/20 , C11D7/26 , C11D7/34 , C11D7/50 , C11D11/00 , H01L21/304
摘要： 본발명은세리아를포함하는연마용조성물로연마한후에얻어지는연마완료연마대상물에있어서, 세리아잔사를양호하게저감하면서, 유기물잔사를충분히억제할수 있는수단을제공한다. 본발명은세리아를포함하는연마용조성물로연마한후에얻어지는연마완료연마대상물을표면처리하기위한표면처리조성물이며, 카르복시기또는그의염의기를갖는단량체유래의구조단위를갖는카르복시기함유 (공)중합체와, SOx 또는 NOy(단, x 및 y는, 각각독립적으로, 1 내지 5의실수이다)로표시되는부분구조를갖는 SOx 또는 NOy 부분구조함유화합물과, 분산매를포함하여, pH가 1 이상 8 이하인, 표면처리조성물에관한것이다.

2. 发明授权

KR102461835B1 친환경 산업용 세정제조성물 有权
公开(公告)号：KR102461835B1
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：KR1020220092751
申请日：2022-07-26
IPC分类号： C11D7/50 , C11D7/32 , C11D7/26
摘要： 본발명의산업용세정제조성물은제1용제, 및제2용제를포함하고, 제1용제는카보네이트에스테르기를갖는카보네이트계용제이고, 제2용제는글리콜에테르계용제이며, 제1용제및 상기제2용제로이루어진혼합용제의총 용해도매개변수가 18.7 MPa1/2 는초과하고 20.4 MPa1/2미만인범위에있거나, 분산효과용해도매개변수가 15.5 MPa1/2 는초과하고 16.1 MPa1/2미만인범위, 극성효과용해도매개변수가 3.9 MPa1/2 는초과하고 4.7 MPa1/2미만인범위, 및수소결합효과용해도매개변수가 9.7 MPa1/2 는초과하고 11.6 MPa1/2미만인범위에있다. 본발명에의하면, 할로겐화합물같이환경상의이유로사용에제한이되는물질의적용을피할수 있어환경친화적일뿐만아니라, 다양한피세정물에대하여세정력이우수한효과를나타낸다. 또한, 건조성과같은특성역시우수하다.

4. 发明公开

KR1020220139259A 리소그래피용 세정액, 및 기판의 세정 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220139259A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：KR1020220123980
申请日：2022-09-29
IPC分类号： G03F7/42 , C11D3/30 , C11D3/20 , C11D3/04 , C11D3/43 , C11D7/32 , C11D7/50 , H01L21/311

7. 发明授权

KR102375342B1 TIN 풀-백 및 클리닝 조성물 有权
公开(公告)号：KR102375342B1
公开(公告)日：2022-03-16
申请号：KR1020167034757
申请日：2015-05-12
IPC分类号： C11D11/00 , C11D17/04 , C11D3/39 , C11D3/37 , C11D7/32 , C11D7/26 , C11D7/34 , C11D7/50 , H01L21/3213 , H01L21/02
摘要： 본발명은 W 에대하여 TIN 의에칭율의조절에사용될수 있고, 표면으로부터의임의의잔여물, 예를들어불소 (F) 를함유할수 있는유기또는무기잔여물을제거할수 있는신규조성물로서, 상기조성물이 a) 지방족또는방향족술폰산; b) 하나이상의저해제(들); c) 반양성자성용매; d) 글리콜에테르; 및 e) 물을포함하는것에관한것이다. 본발명은또한산화제및 임의로는산화제의안정화제와의조합으로상기조성물을포함하는키트, 및그 용도에관한것이다.

8. 发明授权

KR102369310B1 친환경 용제 및 이를 이용하는 세탁 장치 有权
公开(公告)号：KR102369310B1
公开(公告)日：2022-03-03
申请号：KR1020200084365
申请日：2020-07-08
IPC分类号： D06F43/08 , C11D7/50
摘要： 본발명에따른세탁장치는용제를공급받아수용된섬유를세탁하는세탁부; 상기세탁부에서배출되는기상을응축시켜용제회수부로공급하는증기회수부; 및상기세탁부에서배출되는액상을회수하여용제공급부로공급하는용제회수부를포함하며, 상기용제회수부는, 상기증기회수부및 상기세탁부중 적어도하나로부터공급되는용제로부터이물질을제거하는필터부; 및상기필터부로부터공급되는용제를저장하는용제저장부를포함하는것을특징으로한다.

9. 发明授权

KR102347596B1 잔류물 제거를 위한 수성 세정제 조성물 有权
公开(公告)号：KR102347596B1
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：KR1020150091250
申请日：2015-06-26
IPC分类号： C11D7/32 , C11D7/50 , H01L21/306
摘要： 본발명은수성세정제조성물에관한것으로, 더욱상세하게는무기계불소화합물, 아미노실란계화합물, 극성유기용매및 물을포함하는수성세정제조성물에관한것이다. 상기수성세정제조성물은이온주입, 에칭및/또는애싱공정이후기판에생성된잔류물을효과적으로제거할뿐만아니라기판상의절연막, 금속막에대한부식성도매우낮아반도체제조공정의생산성및 신뢰성을크게향상시킬수 있다.

10. 发明授权

KR102317153B1 레지스트 박리액 조성물 有权
公开(公告)号：KR102317153B1
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：KR1020170029076
申请日：2017-03-07
IPC分类号： G03F7/42 , C11D11/00 , C11D7/32 , C11D7/50 , G03F7/038 , H01L21/027 , H01L21/311
摘要： 본발명에따른레지스트박리액조성물에관한것으로, 보다상세하게는극성유기용제, 하기화학식 1로표시되는글리콜아민화합물및 하기화학식 2 또는화학식 3으로표시되는알킬렌글리콜디알킬에테르화합물을포함하는것을특징으로하는레지스트박리액조성물에관한것이다: [화학식 1] TIFF112017022860774-pat00014.tif2465 [화학식 2] TIFF112017022860774-pat00015.tif2871 [화학식 3] TIFF112017022860774-pat00016.tif2568 (상기화학식 1 내지 3 내치환기는명세서내 정의한바와같다).

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