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1. 发明授权

KR102475731B1 석영유리튜브 가공장치 有权
公开(公告)号：KR102475731B1
公开(公告)日：2022-12-07
申请号：KR1020220113506
申请日：2022-09-07
IPC分类号： B24B7/24 , B24B37/11 , C03B21/00 , C03B20/00
摘要： 석영유리튜브가공장치가개시된다. 개시된석영유리튜브가공장치는본체부; 구동모터에의해전동방식으로회전되며, 상기본체부의일측부로수평되게설치되며, 말단부에석영유리튜브의고정장착이이루어지는튜브고정부가구성된튜브회전부; 상기본체부의타측부에구성되는상부에전후방향및 좌우방향으로이동하는이송테이블을구비한이송테이블장치; 상기이송테이블에고정설치되며말단부에커팅휠또는연마휠을각각교체장착하여회전구동시킴으로써상기커팅휠을통해석영유리튜브의길이커팅이이루어지도록하고, 상기연마휠을통해석영유리튜브의내주면및 외주면을그라인딩하여타원형이아닌균일한관두께를갖는완전한원형관형태로가공하는튜브치수가공부; 상기이송테이블에고정설치되되, 상기튜브치수가공부와전후로나란히배치되도록구성되며, 말단부에랩부재나폴리싱패드가교체장착하도록구성되어, 석영유리튜브의내주면및 외주면을상기랩부재나폴리싱패드로가압하고석영유리튜브의길이방향을따라좌우왕복운동하면서상기석영유리튜브에대한래핑가공또는폴리싱가공이이루어지도록하는튜브표면가공부; 상기튜브표면가공부의래핑가공또는폴리싱가공에따라래핑액또는폴리싱액을선택적으로석영유리튜브에주입하는가공액공급수단;을포함하는것을특징으로한다.

2. 发明授权

KR102472858B1 대형 합성 석영 유리 기판, 그리고 그의 평가 방법 및 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102472858B1
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：KR1020220057637
申请日：2022-05-11
IPC分类号： C03C3/06 , C03B20/00 , G01B21/30
摘要： 대각길이가 1000㎜이상인대형합성석영유리기판의표면및 이면의한쪽또는양쪽의유효범위에있어서, 복수의평가영역을, 평가영역끼리가일부중첩되도록설정했을때, 상기복수의평가영역의각각의평가영역내의평탄도가 3㎛이하인대형합성석영유리기판이다. 고평탄이고, 또한기판면내의국소구배가작은대형합성석영유리기판이얻어지고, 이와같은대형합성석영유리기판을사용하여대형포토마스크를제작하고, 이것을패널노광에사용함으로써, CD 정밀도(치수정밀도)의향상이나, 미세패턴의노광이가능해진다.

3. 发明授权

KR102295347B1 석영 유리의 구성요소들 사이의 일체형 접합을 생성하기 위한 방법 및 그에 적합한 가열 버너 有权
公开(公告)号：KR102295347B1
公开(公告)日：2021-09-01
申请号：KR1020180072840
申请日：2018-06-25
IPC分类号： C03B23/20 , C03B20/00
摘要： 석영유리의구성요소들사이의용접접합을생성하기위한공지의가열버너들은, 적어도하나의버너노즐이그 내부에형성되는버너헤드, 버너헤드의온도제어를위한버너헤드냉각시스템, 연료가스를위해버너노즐에연결되는공급라인을포함한다. 이로부터시작하여, 연결될석영유리구성요소들사이의용접선내의불순물들이크게회피되는방식으로가열버너를수정하기위해, 버너헤드가, 은또는은-계열합금의본체를포함할것이제안된다.

4. 发明授权

KR102213151B1 석영 유리 도가니 및 그 제조 방법과 석영 유리 도가니를 이용한 실리콘 단결정의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102213151B1
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：KR1020187034587
申请日：2017-08-24
申请人： 가부시키가이샤 사무코
发明人： 키시히로시 , 하세베코우타 , 아베타카히로 , 후지와라히데키
IPC分类号： C03B20/00 , C03C17/00 , C03C17/22
摘要： [과제] 멀티인상등의매우장시간의단결정인상공정에견딜수 있는석영유리도가니및 그제조방법을제공한다. [해결수단] 석영유리도가니(1)는, 석영유리로이루어지는바닥이있는원통형상의도가니본체(10)와, 초크랄스키법에의한실리콘단결정의인상공정중의가열에의하여도가니본체(10)의내면(10a)의표층부에돔 형상또는기둥형상의결정입자의집합으로이루어지는내측결정층이형성되도록상기내면(10a)에형성된제1 결정화촉진제함유도포막(13A)을구비한다.

6. 发明授权

KR101862428B1 유리 기판을 열처리하기 위한 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101862428B1
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：KR1020137008324
申请日：2011-08-29
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 코폴라,프랭크,티 , 매쉐스케,모니카,제이
IPC分类号： G02F1/13 , C03B20/00
CPC分类号： C03B32/00 , C03B23/0093 , C03B23/02 , C03B25/025 , C03B29/025 , C03B35/205 , C03B2225/02
摘要： 다수의유리기판을열처리하기위한장치및 방법에관한것이다. 상기유리기판은지지플랫폼상에지지되고열처리노 내에수용된다. 상기유리기판은상기노의벽들을통해확장하는구속핀들에의해거의수직방향으로지지되고, 프레임형태의스페이싱부재에의해서로분리된다. 상기스페이싱부재는기판들간대류를감소시켜유리기판의전체표면에걸쳐 100 mm 이하로각 유리기판의후-열처리일그러짐을감소시키거나없앤다.

7. 发明授权

KR101818774B1 향상된 유리 용융 속도 및 두께 분포를 갖는 오버플로우 다운-드로우 有权
标题翻译：通过改善玻璃熔体流动速率和厚度分布来实现溢流下拉
公开(公告)号：KR101818774B1
公开(公告)日：2018-01-15
申请号：KR1020110110633
申请日：2011-10-27
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 밀리로,스티븐마이클 , 로즈,랜디리
IPC分类号： C03B17/06 , C03B20/00
CPC分类号： C03B17/064 , C03B7/02 , Y02P40/57
摘要： 본발명은아이소파이프의개방채널의개방단부에결합되는변이섹션에결합된타원의원통형섹션을갖춘입구어셈블리를포함하는오버플로우퓨전다운-드로우공정을이용하여유리시트를제조하기위한장치및 유리시트를제조하기위한오버플로우퓨전다운-드로우공정을개시한다. 용융유리유동은원하는양의분포를갖는웨지측면및 위어의표면상의유리리본의형성에이바지하는높은표면속도프로파일을갖는다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用溢流融合下拉工艺制造玻璃板的设备，该设备包括具有椭圆柱形部分的入口组件，该椭圆柱形部分连接到与等压槽的开放通道的开口端连接的过渡部分， Lt下拉和/或下拉。熔融玻璃流具有高表面速度分布，这有助于形成具有期望分布量的楔形侧和堰表面上的玻璃带。

8. 发明公开

KR1020170116613A 석영 유리의 접합 방법 审中-实审
标题翻译：结合石英玻璃的方法
公开(公告)号：KR1020170116613A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：KR1020160044004
申请日：2016-04-11
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅 , 손원근 , 우대현 , 이주호
IPC分类号： C03B23/203 , C03B20/00
摘要： 본발명은용접하고자하는석영유리를서로마주보게하고고정한다음용접불꽃으로가열하여용접하는석영유리의용접방법에서, 석영유리를용접장치에장착하고석영유리사이를약간이격시킨상태에서석영유리의용접부분을가열하고, 용접작업이완료되어석영유리를밀착시킨다음석영유리를일정거리만큼뒤로후퇴이동시켜석영유리사이에간격이유지되고, 상기유지된간격사이에석영유리의용융물이존재하도록하는상태에서, 가열된열을식힌다음, 연마공정을거침으로, 석영유리의용접부분을더 견고하고강하게할 수있고, 용접부분에는광학적얼룩이생기지않도록하며, 석영유리를용접하는용접장치의각도를조정할수 있도록함으로서용접장치의효율성을강화할수 있는석영유리의용접방법을제공할수 있게된다.
摘要翻译：在用于焊接的石英玻璃的焊接工艺将本发明看彼此面对，并加热至一固定下列焊接火焰被焊接，附着在石英玻璃到焊接装置和石英玻璃的焊接石英玻璃，当它略微石英玻璃之间隔开并且石英玻璃向后移动一定的距离以保持石英玻璃与石英玻璃的熔体之间存在间隙，石英玻璃存在于保持的间隔在，加热的柱冷却到下一个，粗糙度的研磨过程中，它可以是更强和更耐用的石英玻璃的焊接部分，并且不具有光点焊缝，可以调节焊接装置的角焊接石英玻璃因此可以提供一种能够提高焊接设备效率的石英玻璃的焊接方法。

9. 发明授权

KR101771608B1 실리카 유리 도가니의 검사 방법 有权
标题翻译：石英玻璃坩埚的检验方法
公开(公告)号：KR101771608B1
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：KR1020167001680
申请日：2013-06-30
申请人： 가부시키가이샤 섬코
发明人： 스도토시아키 , 사토타다히로 , 키타하라켄 , 오하라마사미
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/3563 , G01N21/65 , C03B20/00 , C30B15/10 , C30B29/06
CPC分类号： H01J37/32935 , C30B15/00 , C30B15/10 , C30B15/14 , C30B29/06 , C30B35/002 , G01N21/3563 , G01N21/65 , G01N21/68 , G01N21/95 , G01N2021/8477 , G01N2201/105 , G01N2201/12
摘要： 실리카유리도가니의내표면상의측정점에있어서, 적외선흡수스펙트럼또는라만시프트를측정하는측정공정, 및얻어진스펙트럼에근거하여상기측정점에표면결함부위가발생할지아닐지를예측하고, 상기실리카유리도가니의품질을판단하는판단공정을구비하는것을특징으로하는실리카유리도가니의검사방법이다.
摘要翻译：在石英玻璃坩埚的内表面，测量过程的基础上，所获得的测量的红外吸收光谱或拉曼位移和预测是否要在测量点产生的表面缺陷点的光谱上的测量点，石英玻璃坩埚的质量。以及判断石英玻璃坩埚的判断步骤。

10. 发明公开

KR1020170047989A 쿼츠 부재 제조 방법, 장치 제조 방법 및 기판 처리 장치 审中-实审
标题翻译：制造石英部件的方法，设备制造方法和基板处理设备
公开(公告)号：KR1020170047989A
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150148787
申请日：2015-10-26
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 장용수 , 김선래 , 양정윤
IPC分类号： C03C23/00 , H01L21/3065 , C03B20/00
摘要： 본발명은쿼츠부재제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른쿼츠부재제조방법은쿼츠부재의표면을개질시키는표면개질단계를포함하되, 표면개질단계는쿼츠부재의표면을질화시키는표면질화단계를포함한다. 따라서, 본발명의실시예에따른쿼츠부재제조방법은쿼츠부재를장치에조립하기이전에표면을질화시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种制造石英部件的方法。根据本发明的包括表面改性改性石英bujaeui表面的步骤的一个实施例中石英部件的制造方法，表面改性步骤包括氮化的表面氮化的石英bujaeui表面的步骤。因此，根据本发明实施例的制造石英构件的方法可在将石英构件组装到设备中之前氮化该表面。

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