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1. 发明授权

KR102482218B1 웨이퍼 생성 장치 有权
公开(公告)号：KR102482218B1
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：KR1020180058206
申请日：2018-05-23
IPC分类号： H01L21/67 , B23K26/38 , H01L21/02 , B28D5/00
摘要： 본발명은단결정 SiC 잉곳으로부터 SiC 웨이퍼를자동적으로생성할수 있는웨이퍼생성장치를제공하는것을목적으로한다. 웨이퍼생성장치(2)는, 단결정 SiC 잉곳(150)을유지하는유지유닛(4)과, 유지유닛(4)에유지된단결정 SiC 잉곳(150)의상면을연삭하여평탄화하는평탄화유닛(6)과, 유지유닛(4)에유지된단결정 SiC 잉곳(150)의상면으로부터생성해야할 SiC 웨이퍼의두께에상당하는깊이에단결정 SiC 잉곳(150)에대해투과성을갖는파장의레이저광선(LB)의집광점(FP)을위치시키고레이저광선(LB)을단결정 SiC 잉곳(150)에조사하여박리층(170)을형성하는레이저조사유닛(8)과, 단결정 SiC 잉곳(150)의상면을유지하고박리층(170)으로부터 SiC 웨이퍼(172)를박리하는웨이퍼박리유닛(10)과, 박리된 SiC 웨이퍼(172)를수용하는웨이퍼수용유닛(12)을포함한다.

2. 发明公开

KR1020220162659A 웨이퍼의 생성 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220162659A
公开(公告)日：2022-12-08
申请号：KR1020220156071
申请日：2022-11-21
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/402 , B23K26/00 , B24B7/22 , H01L21/02 , B28D5/04 , B23K103/00
摘要： 본발명은, 화합물단결정잉곳의단부면을연삭하는평탄화공정에있어서, 연삭지석의소모량을억제할수 있음과더불어연삭시간을단축할수 있는웨이퍼의생성방법을제공하는것을목적으로한다제1 단부면과상기제1 단부면과반대측의제2 단부면을갖는화합물단결정잉곳으로부터웨이퍼를생성하는웨이퍼의생성방법으로서, 화합물단결정잉곳의상기제2 단부면을척 테이블로유지하고, 화합물단결정잉곳에대하여투과성을갖는파장의레이저빔의집광점을상기제1 단부면으로부터생성될웨이퍼의두께에상당하는깊이에위치시킴과더불어, 상기집광점과화합물단결정잉곳을상대적으로이동시켜상기레이저빔을상기제1 단부면으로조사하고, 상기제1 단부면에평행한개질층및 상기개질층으로부터신장되는크랙으로이루어진분리면을형성하는분리면형성단계를포함한다. 상기분리면형성단계에있어서, 화합물단결정잉곳을구성하는원자량이큰 원자와원자량이작은원자중, 원자량이작은원자가배열되는극성면을상기제1 단부면으로하고, 평탄화단계에있어서, 원자량이작은원자가배열되는극성면인제1 단부면을연삭하는것을특징으로한다.

3. 发明授权

KR102474148B1 이동식 절단 장치 有权
公开(公告)号：KR102474148B1
公开(公告)日：2022-12-05
申请号：KR1020220096890
申请日：2022-08-03
IPC分类号： E02F3/96 , E02F3/36 , B28D1/08 , B28D7/02
摘要： 이동식절단장치가제공된다. 본발명의일 실시예에따른이동식절단장치는굴착기에결합되는절단조립체를포함하는이동식절단장치로서, 상기절단조립체는상기굴착기와체결되는체결부가형성되는지지부, 상기지지부상에배치되는베이스프레임, 상기베이스프레임의양측에서나란히연장되는제1 프레임및 제2 프레임, 상기굴착기로부터제공되는구동력에의해구동되는구동롤러, 상기제1 프레임단부에형성되는제1 가이드롤러, 상기제2 프레임단부에형성되는제2 가이드롤러, 상기베이스프레임과상기제2 프레임이만나는지점에형성되는제3 가이드롤러및 절단와이어를포함한다.

4. 发明授权

KR102469831B1 멀티 포인트 다이아몬드 툴 有权
公开(公告)号：KR102469831B1
公开(公告)日：2022-11-23
申请号：KR1020160001879
申请日：2016-01-07
IPC分类号： C03B33/10 , B28D5/00
摘要： 본발명은, 스크라이브함으로써포인트가마모되어도툴의교환횟수를줄이는것을과제로한다. 다이아몬드툴(10)의베이스(11)의모서리에대해서베이스의양측면으로부터경사면을형성하여능선의양측을포인트(P1~P16)로한다. 다이아몬드툴(10)을기울여서 1개의포인트를기판에접촉시켜, 전동시키지않고스크라이브한다. 포인트가스크라이브에의해마모된경우에는, 다이아몬드툴(10)을회전시킴으로써다른포인트를접촉시켜스크라이브한다. 이에따라 1개의다이아몬드툴로복수의포인트를사용할수 있어, 교환빈도를줄일수 있다.

5. 发明授权

KR102446487B1 세라믹 그린 시트 절단기용 블레이드 클리닝 장치 有权
公开(公告)号：KR102446487B1
公开(公告)日：2022-09-26
申请号：KR1020200140135
申请日：2020-10-27
IPC分类号： B28D7/02 , B28D1/22 , B08B5/02

6. 发明授权

KR102443753B1 취성재료 기판의 분단방법 및 가공장치 有权
公开(公告)号：KR102443753B1
公开(公告)日：2022-09-19
申请号：KR1020150147808
申请日：2015-10-23
IPC分类号： C03B33/027 , C03B33/033 , C03B33/10 , B28D5/00

7. 发明授权

KR102425626B1 석영 튜브 절단장치 有权
公开(公告)号：KR102425626B1
公开(公告)日：2022-07-28
申请号：KR1020220054026
申请日：2022-05-02
IPC分类号： C03B33/06 , B28D7/02 , B28D1/22

8. 发明授权

KR102420793B1 복잡한 형상의 유리 시트의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102420793B1
公开(公告)日：2022-07-14
申请号：KR1020177001630
申请日：2015-07-23
IPC分类号： C03B33/033 , C03B33/04 , C03B33/023 , C03B33/037 , C03B33/03 , B24B7/24 , B28D1/22
摘要： 방법은대형직사각형플로트유리시트(8)로부터복수개의복잡한형상의글레이징요소(26)를제조하는방법에관한것이다. 방법은 - 상기유리시트(8)를위한제1 절단스테이션(2)에서의, 바로성형될수 있는글레이징요소(26)의적어도하나의에지에상응하는적어도하나의절단라인(4)을표시하는단계, - 제1 파단단계(14A, 14B, 14C), - 제2 절단스테이션(22)에서의, 바로성형될수 있는글레이징요소(26)의적어도하나의다른에지에상응하는적어도하나의절단라인을표시하는단계, - 제2 파단단계를포함한다.

9. 发明授权

KR102420378B1 감쇠형 연마 커터 有权
公开(公告)号：KR102420378B1
公开(公告)日：2022-07-13
申请号：KR1020177007684
申请日：2015-08-21
IPC分类号： B28D1/14 , B24B27/06 , B24B41/00 , B24D7/18
摘要： 본발명은기계부착단부; 결합제내에배치되는연마입자들을포함하는연마표면; 기계부착단부를연마표면에연결하는중앙감쇠체를갖는감쇠형연마커터에관한것이다. 중앙감쇠체는 1000 MPa 내지 2500 MPa의저장모듈러스및 0.025 내지 0.10의손실계수를갖는합성중합체로형성된다.

10. 发明授权

KR102412751B1 석판 절단장치 및 그 제어방법 有权
公开(公告)号：KR102412751B1
公开(公告)日：2022-06-23
申请号：KR1020200157569
申请日：2020-11-23
IPC分类号： B28D1/24 , B28D7/00 , B25J11/00 , B25J15/04 , B25J15/00
摘要： 본발명은석판절단장치및 그제어방법에관한것으로, 다축회전이가능하도록구성되는로봇암과, 상기로봇암의자유단에마련되는하우징과, 상기하우징의내부에설치되어회전력을제공하는회전력제공부와, 상기하우징의일측에설치되고상기회전력제공부로부터회전력을전달받아회전하는회전축과, 상기회전축의일측에설치되는커팅휠 및상기회전축의타측에설치되어홀 가공, 면취가공, 연마가공, 광택가공에사용되는툴이장착되는공구장착부를포함하는것을특징으로하는석판절단장치가개시된다.

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