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1. 发明授权

KR102483181B1 차량용 선루프 레일의 면취가공장치 有权
公开(公告)号：KR102483181B1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：KR1020220129574
申请日：2022-10-11
IPC分类号： B23C3/12 , B23Q11/00 , B24B19/00
摘要： 차량용선루프레일등을면취가공하기위해사용될수 있는가공장치가개시된다. 본발명에따르면, 선루프레일이안착되는베이스; 베이스의후방영역에배치되어선루프레일의절단면을면취가공하는면취유닛; 및선루프레일을전후로이동시켜가공위치로배치시키는이송유닛;을포함하는차량용선루프레일의면취가공장치가제공된다. 본발명은좁고복잡한형상을가진선루프레일의단면형상에도불구하고, 절단면부위로적절히접근되어필요한면취가공을수행할수 있다.

2. 发明授权

KR102482687B1 스윙 암과 통합된 패드 프로파일 측정 시스템 有权
公开(公告)号：KR102482687B1
公开(公告)日：2022-12-28
申请号：KR1020200182961
申请日：2020-12-24
IPC分类号： B24B49/16 , B24B49/18 , B24B53/017 , B24B53/12
摘要： 본발명에의한스윙암과통합된패드프로파일측정시스템은상면에연마패드(171)가배치된정반(170)의일측에회전가능하게설치된본체(110), 일측이상기본체(110)의상부에회전가능하게설치된스윙암(120), 상기스윙암(120)의타측하부에회전및 직진운동이가능하게설치되어, 상기연마패드(171)를컨디셔닝하는컨디셔너(130), 상기스윙암(120)의전면하부에설치되고, 전면에는가이드부(141)가함몰형성된이송부(140), 상기가이드부(141)의일단에서타단까지이동가능하게설치되어, 상기연마패드(171)의두께프로파일을측정하는센서부(150), 상기컨디셔너(130)의상부에구비되어, 상기컨디셔너(130)를중력방향으로가압하는가압부(155), 상기가압부(155)의일측에설치되어, 상기가압부(155)에의해상기컨디셔너(130)에가해지는실제압력값을측정하는압력센서(156), 상기연마패드(171)의상면에설치되어, 상기스윙암(120)의실제처짐값을측정하는처짐측정센서(157) 및상기처짐측정센서(157)에의해측정된상기스윙암(120)의실제처짐데이터를이용하여상기가압부(155)의실제압력값을조절하는컨트롤모듈(160)을포함하는것을특징으로한다.

3. 发明授权

KR102481107B1 복수의 연마헤드를 이용한 유리기판 연마방법 有权
公开(公告)号：KR102481107B1
公开(公告)日：2022-12-26
申请号：KR1020190009983
申请日：2019-01-25
IPC分类号： B24B7/24 , B24D7/06
摘要： 본발명의일 실시예에따른복수의연마헤드를이용한유리기판연마방법은, 독립적으로회전할수 있는복수의연마헤드로구성된헤드조립체를포함하는연마장치를이용한유리기판의연마방법에있어서, 상기유리기판은장변및 단변으로이루어지고, 상기연마헤드는적어도상기유리기판단변길이의 1/2 이상을직경으로하며, 상기헤드조립체의중심은상기유리기판의장변및 단변방향으로형성된사각형의경로를따라이동하면서상기유리기판을연마하되, 상기사각형의경로는, 상기유리기판의장변방향을따라 1회이동한경로와상기유리기판의단변방향을따라 1회이동한경로의거리가각각상기연마헤드직경의 80% 미만일수 있다.

4. 发明授权

KR102480912B1 SiC 포커스 링의 외경 가공용 연마 지그 조립체 有权
公开(公告)号：KR102480912B1
公开(公告)日：2022-12-22
申请号：KR1020220071533
申请日：2022-06-13
IPC分类号： B24B41/06 , B24B7/22 , H01L21/687 , H01J37/32
摘要： SiC 포커스링의외경가공용연마지그조립체가개시된다. 본발명의일 실시예에따른 SiC 포커스링의외경가공용연마지그조립체는 SiC 포커스링 원소재의전면에밀착되는상면지그; SiC 포커스링 원소재의후면에밀착되는하면지그; 및원통연삭기의선반척에고정되는고정판을포함하고, 상면지그와하면지그는 SiC 포커스링 원소재에탈부착가능하도록상호볼트결합되고, 상면지그와하면지그의결합체는고정판의전면에탈부착가능하도록상호볼트결합될수 있다.

5. 发明授权

KR102480548B1 표면 처리를 위한 장치 有权
公开(公告)号：KR102480548B1
公开(公告)日：2022-12-22
申请号：KR1020177032399
申请日：2016-04-25
IPC分类号： B24B21/12 , B24B21/16 , B24B21/20 , B24B27/00 , B24B41/00 , B24B47/12 , B24B49/08 , B24B49/16
摘要： 본발명은작업편의표면(200a)을가공하기위한장치(100)에관한것이다. 일실시예에따르면, 이장치(100)는프레임(160) 및롤러캐리어(401)를포함하는데, 롤러캐리어(401) 상에서제1롤러(101)가회전가능하게지지되며, 롤러캐리어(401)가제1방향(x)을따라움직일수 있는방식으로상기프레임(160) 상에지지된다. 이장치(100)는상기프레임(160) 상에지지되는적어도하나의제2롤러(103), 및상기적어도두 개의롤러들(101, 103) 주위를따라안내되고, 및그 장력으로인해최종벨트힘(102)이상기롤러캐리어(401)에작용하는벨트(102)를포함한다. 이장치(100)는또한상기제1방향(x)으로상기프레임(160)과상기제1롤러(101) 사이에조정가능한액츄에이터힘(FA)이작용하는방식으로상기프레임(160) 및상기롤러캐리어(401)와기계적으로결합하는액츄에이터(302)를포함한다. 이벨트(102)는상기액츄에이터(302)의목표편향의경우에있어서상기롤러캐리어(401)에작용하는최종벨트힘(FB, FB')이대략상기제1방향(x)에직각인제2방향(y)으로작용하는방식으로, 제2롤러(103)를이용해또는상기제2롤러(103)와추가롤러들(101a, 101b, 121a, 121b, 105)을이용해, 안내된다.

6. 发明授权

KR102478849B1 화학적 기계적 연마 장치 有权
公开(公告)号：KR102478849B1
公开(公告)日：2022-12-19
申请号：KR1020160085648
申请日：2016-07-06
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/461 , B24B37/20 , B24B37/34 , B24B57/02
摘要： 본발명은화학적기계적연마장치에관한것이다. 화학적기계적연마장치는하부베이스; 상기하부베이스의상면에회전가능하게제공되는플레이튼; 상기플레이튼상에배치되는연마패드; 및상기연마패드에인접하게배치되고, 상기연마패드에슬러리를공급하기위한적어도하나의슬러리공급장치를포함하고, 상기슬러리공급장치는: 상기연마패드상에이격배치되고, 그의내에배치되는핀 형태의도전성팁(tip)을포함하는캐필러리노즐; 상기캐필러리노즐내로슬러리를공급하기위한슬러리공급유닛; 및상기팁에전압을인가하는전압공급유닛을포함한다.

7. 发明授权

KR102478275B1 에프알피 중공코어 외경 가공장치 및 가공방법 有权
公开(公告)号：KR102478275B1
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：KR1020220037019
申请日：2022-03-25
IPC分类号： B23B5/12 , B23B5/14 , B24B5/04
摘要： 본발명은본 발명은에프알피중공코어외경가공장치및 가공방법에관한것으로, 더욱상세하게는에프알피중공코어의외경의절삭과면취를동시에진행할수 있는에프알피중공코어외경가공장치및 가공방법에관한것이다. 본발명은축방향으로연장되도록구성된베드와; 상기베드의일측에구비되며회전축을중심으로하여반경방향으로확장되는제1척이형성된주축대와; 상기베드의타측에상기주축대와동심으로형성된회전축을중심으로반경방향으로확장되는제2척이형성된심압대와; 상기베드를따라축방향으로이동하는공구대와; 상기공구대의선단에조립설치되고날이외주면과평행한방향으로형성된외경절삭공구와; 상기공구대의선단에상기외경절삭공구의외측에이격되며날이상기외경절삭공구의날을기준으로외측으로경사지게형성된면취절삭공구;를포함하는에프알피중공코어외경가공장치및 가공방법을제공한다.

8. 发明授权

KR102476617B1 워크의 절단 방법 및 접합 부재 有权
公开(公告)号：KR102476617B1
公开(公告)日：2022-12-12
申请号：KR1020197031386
申请日：2018-03-20
IPC分类号： B24B27/06 , B24B53/00 , B28D5/04 , B28D7/04 , H01L21/304
摘要： 본발명은, 표면에지립이고착된고정지립와이어를, 복수의홈부착롤러에감음으로써와이어열을형성하고, 고정지립와이어를축방향으로왕복주행시키면서, 워크에첩부된접합부재를개재하여워크유지수단으로유지한워크를, 와이어열에대해절입이송함으로써, 워크가축방향으로늘어서는복수의개소에서동시에절단되는와이어소에의한워크의절단방법에있어서, 접합부재로서, 일부가지석인것을이용함으로써, 워크의절단종료후, 또한, 와이어열로부터상기워크를인발하기전에, 고정지립와이어를, 접합부재의지석으로마모시키는워크의절단방법이다. 이에따라, 워크절단후의와이어인발에있어서, 워크에고정지립와이어가걸리는것에기인하는소마크의발생, 및와이어단선의발생을억제할수 있는워크의절단방법이제공된다.

9. 发明授权

KR102476372B1 패드 두께에 대한 기계 학습 및 보상을 사용하는 연마 장치 有权
公开(公告)号：KR102476372B1
公开(公告)日：2022-12-12
申请号：KR1020207031741
申请日：2019-03-28
IPC分类号： B24B37/005 , B24B37/20 , B24B49/10 , H01L21/304 , H01L21/67
摘要： 인-시튜모니터링시스템으로부터수신된데이터는, 센서의각각의스캔에대해, 층상의복수의상이한위치들에대한복수의측정된신호값들을포함한다. 연마패드의두께는인-시튜모니터링시스템으로부터의데이터에기초하여결정된다. 각각의스캔에대해, 측정된신호값들의부분은연마패드의두께에기초하여조정된다. 복수의스캔들중 각각의스캔에대해, 그리고복수의상이한위치들중 각각의위치에대해, 그위치에서의층의두께를나타내는값이생성된다. 이는기계학습에의해구성된하나이상의프로세서를사용하여조정된신호값들을처리하는것을포함한다. 복수의상이한위치들에서의두께들을나타내는값들에기초하여연마파라미터가수정되거나연마종료점이검출된다.

10. 发明授权

KR102475416B1 기판 시트의 에지 프로세싱을 위한 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102475416B1
公开(公告)日：2022-12-07
申请号：KR1020197018851
申请日：2017-11-29
IPC分类号： B24B9/10 , B24B55/02 , B24B55/06
摘要： 기판시트의에지프로세싱장치이다. 상기장치는피니싱부재, 슈라우드, 및튜브형부재를포함한다. 상기피니싱부재는상기슈라우드의챔버내에서회전가능하도록유지된다. 슈라우드는슬롯의일부분을정의하는주 에지에서종료되는월 세그먼트를포함한다. 상기슬롯은상기피니싱부재와상기에지의인터페이스를용이하게하며, 유리시트의에지를슬라이딩가능하게수취하도록구성된다. 상기월 세그먼트는상기주 에지내의개구부에서종료되는노즐통로를더욱정의한다. 상기튜브형부재는상기주 에지로부터돌출하고상기노즐통로와유체연통되는통로를정의한다. 상기노즐통로로이송되는냉각재는진공유도된크로스-흐름의존재하에서도상기튜브형부재를경유하여상기피니싱부재상으로주입된다. 일부실시예들에서, 상기튜브형부재의공간적배열은조절가능하다.

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