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1. 发明授权

KR102482181B1 기판의 연마 장치 및 연마 방법 有权
公开(公告)号：KR102482181B1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：KR1020197028236
申请日：2018-01-10
IPC分类号： B24B37/005 , B24B53/017 , B24B53/12 , B24B55/06 , H01L21/304
摘要： 연마중에연마부재의상태를양호하게유지할수 있는연마장치를제공한다. 기판을국소적으로연마하기위한연마장치가제공되고, 이러한연마장치는, 기판에접촉하는가공면이기판보다도작은연마부재와, 상기연마부재를컨디셔닝하기위한컨디셔닝부재와, 기판의연마중에상기연마부재에상기컨디셔닝부재를가압하기위한제1 가압기구와, 연마장치의동작을제어하기위한제어장치를갖고, 상기제어장치는, 상기연마부재에서기판을국소적으로연마하고있을때, 상기제1 가압기구를제어하도록구성된다.

2. 发明授权

KR102480581B1 고성능 도막방수재 조성물 및 이를 이용한 콘크리트 구조물의 방수공법 有权
公开(公告)号：KR102480581B1
公开(公告)日：2022-12-26
申请号：KR1020220047763
申请日：2022-04-18
IPC分类号： C09D175/14 , C09D7/61 , C09D7/63 , C09D7/65 , C09D7/40 , C09D5/00 , C08L33/20 , C08K5/17 , C08K5/5415 , C08K3/04 , C08K3/26 , C08K7/22 , C01F17/247 , C22C1/04 , B22F1/06 , B24C1/10 , B05D7/00 , E04D11/02 , C08K3/22 , C08K3/28 , C08K3/08
摘要： 본발명은아크릴우레탄 100 중량부에대하여, 메틸아크릴레이트-아크릴로니트릴공중합체 30 내지 50 중량부, 이소시아네이트기함유실란커플링제 10 내지 20 중량부, N,N'-디메틸에틸렌디아민 1 내지 10 중량부, 반응성유화제 0.1 내지 5 중량부, 산화티탄 5 내지 15 중량부, 그래핀분산액 1 내지 10 중량부, 질화알루미늄 1 내지 10 중량부, 철분말 0.1 내지 5 중량부, 탄산세륨 0.1 내지 5 중량부및 소포제 0.1 내지 5 중량부를포함하여; 휘발성유기화합물을함유하는유기용제를첨가하지않고, 무독성및 무취의조성물을제공함으로써친환경적이고, 인장강도, 신장율및 인열강도등의기계적물성이탁월하고, 크랙이나미세균열에대한저항성이향상되어, 방수층의갈라짐이나들뜸현상을효과적으로방지할수 있을뿐만아니라, 방수성, 내수성, 내후성, 내화학성, 내마모성, 경도및 내구성이우수한고성능도막방수재조성물및 이를이용한콘크리트구조물의방수공법에관한것이다.

3. 发明授权

KR102480184B1 반도체 웨이퍼의 연마 방법 有权
公开(公告)号：KR102480184B1
公开(公告)日：2022-12-21
申请号：KR1020207025534
申请日：2019-02-05
IPC分类号： B24B37/08 , B24B37/005 , H01L21/67
摘要： 각각연마패드(21, 22)로덮인상부연마플레이트(11)와하부연마플레이트(12) 사이에서전면과후면의양면에서동시에연마되는반도체웨이퍼를연마하는방법으로서, 상기연마패드(21, 22)의내부엣지(B) 및외부엣지(A)에서상기반도체웨이퍼와접촉하는상기상부연마패드(21)의표면과상기하부연마패드(22)의표면사이의거리차이에대응하는연마간극(x1+x2)은연마방법중에단계적으로또는연속적으로가변적으로크기가변화되는것을특징으로하는방법.

4. 发明授权

KR102477843B1 부식 억제제 및 관련 조성물 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102477843B1
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：KR1020177013244
申请日：2015-10-21
IPC分类号： C23F11/10 , C23F3/04 , C23F3/06 , H01L21/321 , B24B37/24 , C09G1/02 , C09D5/08
摘要： 본발명은금속을함유하는기재의부식을억제하는방법을제공한다. 기재는임의의적합한형태일수 있다. 일부구현예에서, 금속은코발트이다. 일부구현예에서방법은반도체웨이퍼와함께사용될수 있다. 본발명은또한화학적기계적연마조성물및 기재를연마하는방법을제공한다. 부식억제제가본 명세서에개시된방법및 조성물에서사용될수 있다. 억제제는양쪽성계면활성제(amphoteric surfactant), 술포네이트, 포스포네이트, 카르복실레이트, 아미노산유도체, 포스페이트에스테르, 이세티오네이트, 술페이트, 술포숙시네이트, 술포신니메이트, 또는그들의임의의조합을포함한다.

5. 发明授权

KR102478439B1 연마액, 연마액 세트 및 연마 방법 有权
公开(公告)号：KR102478439B1
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：KR1020207021195
申请日：2018-01-18
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/304 , B24B37/04
摘要： 지립(砥粒)과, 제4급포스포늄양이온과, 액상(液狀) 매체를함유하고, 상기지립이, 금속수산화물및 세륨산화물로이루어지는군으로부터선택되는적어도 1종을포함하고, 상기제4급포스포늄양이온이, 인원자에결합하는탄소수 2 이상의탄화수소기를가지는, 연마액.

6. 发明授权

KR102477930B1 웨이퍼의 양면연마방법 및 양면연마장치 有权
公开(公告)号：KR102477930B1
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：KR1020197028101
申请日：2018-03-14
IPC分类号： B24B37/28 , H01L21/304 , B24B49/12
摘要： 본발명은, 양면연마장치에있어서, 복수의양면연마용캐리어를배설하고, 웨이퍼를양면연마하는방법으로서, 상하정반의사이에배설하는복수의양면연마용캐리어로이루어지는캐리어세트를준비할때, 형상측정기를이용하여양면연마용캐리어의형상을측정한데이터로부터산출한굴곡량을, 캐리어세트의복수의양면연마용캐리어전체에있어서취득하고, 캐리어세트내에있어서의복수의양면연마용캐리어끼리의굴곡량의최대값과최소값의차가일정값이하인캐리어세트를선정하여준비하고, 양면연마장치에배설하여웨이퍼를양면연마하는웨이퍼의양면연마방법을제공한다. 이에따라, 복수의양면연마용캐리어를이용하여양면연마하여얻어지는웨이퍼끼리의플랫니스의차(불균일)를억제할수 있는웨이퍼의양면연마방법및 양면연마장치가제공된다.

7. 发明授权

KR102477456B1 제어된-점도 CMP 캐스팅 방법 有权
公开(公告)号：KR102477456B1
公开(公告)日：2022-12-14
申请号：KR1020150179931
申请日：2015-12-16
IPC分类号： B24B37/24 , B24D3/32 , B24D11/00 , C08G18/48 , C08G18/76 , C08J9/32 , C08K7/22 , C08G101/00
摘要： 본발명은반도체, 광학및 자성기판중의적어도하나를평탄화하는데적합한연마패드의제조방법을제공한다. 상기방법은이소시아네이트말단분자및 경화제로부터형성된액체폴리우레탄물질을얻는다. 상기액체폴리우레탄물질은이소시아네이트말단분자내에 4.2 내지 7.5 중량%의유체-충진된폴리머마이크로스피어를함유한다. 상기유체-충진된폴리머마이크로스피어는예비팽창및 비팽창유체-충진된폴리머마이크로스피어의혼합물이다. 상기액체폴리우레탄물질은예비팽창및 비팽창유체-충진된폴리머마이크로스피어의혼합물을함유하고 1.1 내지 7의상대점도μ/μ0를갖는다. 그다음상기액체폴리우레탄물질은연마패드를형성하기위한예비팽창및 팽창유체-충진된폴리머마이크로스피어를함유하는폴리우레탄매트릭스로고화한다.

8. 发明授权

KR102475216B1 가스실린더의 내면처리방법 및 이를 이용한 가스실린더의 내면처리장치 有权
公开(公告)号：KR102475216B1
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：KR1020210174931
申请日：2021-12-08
IPC分类号： B05D7/22 , B05D7/14 , B05D3/12 , B24C1/10
摘要： 본발명은가스실린더와같은저장용기의내면을처리하기위한장치및 방법에관한것으로, 본발명에따르면, 예를들면, 바렐(barrel) 연마법과같이, 가스실린더의내면을처리하기위해용기의내면을연마하도록구성됨으로인해전체적인처리공정이상대적으로복잡하고긴 작업시간이요구되는데 더하여, 용기내면의부식방지를위해코팅시간이길고비용이매우높은니켈코팅을적용하거나고가의알루미늄실린더를이용함으로인해전체적인생산비용이증가하고생산성및 효율이떨어지게되는단점이있었던종래기술의가스실린더내면처리장치및 방법들의문제점을해결하기위해, 고압가스실린더와같은용기의내면을연마하는대신에내면에균일한열을인가하여수지계열의코팅액을도포하는것에의해균일한두께로내부전체를코팅하도록구성됨으로써, 기존의방식에비해보다간단한구성및 저렴한비용으로고압가스실린더와같은용기의내면을효율적으로처리할수 있으며, 그것에의해, 전체적인생산비용을절감하고생산성및 효율을향상시킬수 있도록구성되는가스실린더의내면처리방법및 이를이용한가스실린더의내면처리장치가제공된다.

9. 发明授权

KR102475731B1 석영유리튜브 가공장치 有权
公开(公告)号：KR102475731B1
公开(公告)日：2022-12-07
申请号：KR1020220113506
申请日：2022-09-07
IPC分类号： B24B7/24 , B24B37/11 , C03B21/00 , C03B20/00
摘要： 석영유리튜브가공장치가개시된다. 개시된석영유리튜브가공장치는본체부; 구동모터에의해전동방식으로회전되며, 상기본체부의일측부로수평되게설치되며, 말단부에석영유리튜브의고정장착이이루어지는튜브고정부가구성된튜브회전부; 상기본체부의타측부에구성되는상부에전후방향및 좌우방향으로이동하는이송테이블을구비한이송테이블장치; 상기이송테이블에고정설치되며말단부에커팅휠또는연마휠을각각교체장착하여회전구동시킴으로써상기커팅휠을통해석영유리튜브의길이커팅이이루어지도록하고, 상기연마휠을통해석영유리튜브의내주면및 외주면을그라인딩하여타원형이아닌균일한관두께를갖는완전한원형관형태로가공하는튜브치수가공부; 상기이송테이블에고정설치되되, 상기튜브치수가공부와전후로나란히배치되도록구성되며, 말단부에랩부재나폴리싱패드가교체장착하도록구성되어, 석영유리튜브의내주면및 외주면을상기랩부재나폴리싱패드로가압하고석영유리튜브의길이방향을따라좌우왕복운동하면서상기석영유리튜브에대한래핑가공또는폴리싱가공이이루어지도록하는튜브표면가공부; 상기튜브표면가공부의래핑가공또는폴리싱가공에따라래핑액또는폴리싱액을선택적으로석영유리튜브에주입하는가공액공급수단;을포함하는것을특징으로한다.

10. 发明授权

KR102474519B1 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR102474519B1
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：KR1020180050381
申请日：2018-05-02
IPC分类号： H01L21/67 , H10K71/00 , H10K99/00 , B24B37/30 , B24B7/24 , B24B37/32 , B24B37/20 , B24B7/06
摘要： 본발명은기판처리장치에관한것으로, 기판의연마공정이행해지는기판처리장치는, 기판의상면을연마하는연마패드와, 연마패드의상면에접촉되는멤브레인을구비하며기판에대해이동하는연마헤드를포함하는것에의하여, 연마안정성및 연마정확도를높이는유리한효과를얻을수 있다.

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