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    • 7. 发明授权
    • 반도체 기판을 세정하기 위한 장치
    • KR102408105B1
    • 2022-06-14
    • KR1020197029007
    • 2017-03-06
    • H01L21/67B08B3/12
    • 반도체기판을세정하기위한장치는챔버(101), 척(102), 액체수집기(104), 봉입벽(105), 적어도하나의구동메커니즘(106), 적어도하나의내부디스펜서(111), 및적어도하나의외부디스펜서(118)를구비한다. 상기챔버(101)는상부벽(1011), 측벽(1012) 및하부벽(1013)을갖는다. 상기척(102)은반도체기판(103)을보유하기위해상기챔버(101) 내에배치된다. 상기액체수집기(104)는상기척(102)을둘러싼다. 상기봉입벽(105)은상기액체수집기(104)를둘러싼다. 상기적어도하나의구동기구(106)는상기봉입벽(105)을상하이동시키도록구동하며, 상기적어도하나의구동기구(106)가상기봉입벽(105)을위로이동시킬때, 상기액체수집기(104), 상기봉입벽(105), 상기챔버(101)의상부벽(1011) 및상기챔버(101)의하부벽(1013)에의해밀봉실(110)이형성된다. 상기적어도하나의내부디스펜서(111)는상기밀봉실(110) 내에배치된다. 상기적어도하나의외부디스펜서(118)는상기밀봉실(110) 외부에배치된다. 상기적어도하나의외부디스펜서(118)는, 상기봉입벽(105)이아래로이동하도록구동된후에, 상기밀봉실(110) 내외로출입한다.
    • 10. 发明授权
    • 굴껍질 자동분리시스템
    • KR102390637B1
    • 2022-04-25
    • KR1020210154136
    • 2021-11-10
    • A22C29/04B08B3/04B08B3/06B08B3/10B08B3/12
    • 본발명은굴껍질자동분리시스템에관한것으로, 더욱상세하게는까지않은생굴을정량공급기에투입하여일정량의생굴이다수개의굴수납케이지에수납되게하고, 그생굴이담긴굴수납케이지를예열기를거쳐굴분리장치로투입하여수압에의해굴껍질에서굴알맹이의관자가떨어져이탈되게하며, 깐굴(굴껍질에서굴알맹이가이탈된생굴)이담겨진굴수납게이지를냉각기를거쳐진동선별기로이동시켜서진동선별기에서굴껍질과굴알맹이를선별하여분리배출하는전과정이자동으로이루어지도록하는굴껍질자동분리시스템에관한것이다.본발명은수압을이용하여굴껍질에서굴알맹이를분리시키는굴껍질자동분리시스템을구성함에있어서; 상기굴껍질자동분리시스템은, 1차호퍼(110)에담겨진굴을외주연전둘레에다수개의통공을형성한통형굴수납케이지(10)에정량을투입하는정량공급기(100)와; 수개의빈 굴수납케이지(10)를안착시킨상태에서정량공급기(100)에서공급하는굴을 1개씩의굴수납케이지(10)에담아서대기하는케이지적재대(200)와; 굴이담겨진굴수납케이지(10)를온수에담가서굴을이완시키는예열기(300)와; 예열기(300)로부터공급되는다수의굴수납케이지(10)를챔버(420)에투입한뒤에챔버(420)의입구와출구를폐쇄하고챔버(420) 내측으로수압을공급하여굴껍질의내면에서굴알맹이가이탈되게하는굴분리장치(400)와; 챔버(420)에서나온굴수납케이지(10)를냉수에담가서이완되었던굴을활성화하는냉각기(500)와; 냉각기(500)로부터공급되는굴수납케이지(10)를 180°로뒤집어서굴수납케이지(10)에담긴깐 굴을하측으로쏟아내는반전기(800)와; 반전기(800)에서쏟아져내린깐 굴을굴껍질과굴알맹이로선별하여분리배출하는진동선별기(700)와; 로봇이동레일(610)을따라이동하는케이지이동로봇(620)을이용하여케이지적재대(200)에대기하는굴수납케이지(10)를예열기(300)로투입하고, 냉각기(500)에담겨진굴수납케이지(10)를반전기(800)로이동공급하며, 반전기(800)에서비워진굴수납케이지(10)를케이지적재대(200)에적재시키는케이지이동장치(600)를포함하여구성되는것을특징으로한다.