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    • 7. 发明公开
    • 진공 체임버 내부의 압력 변화에 따라 연엑스선 또는 진공자외선 중의 어느 하나의 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기 제거 장치
    • 根据真空室内的压力变化照射软X射线或真空紫外线中的任何一种来中和物体的静电荷的静电消除器
    • KR1020170096491A
    • 2017-08-24
    • KR1020160017929
    • 2016-02-16
    • (주)선재하이테크
    • 이동훈김상효이상덕김은민정동길신상도
    • H01L27/02H01L21/02H01J35/30H01J29/45
    • 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.
    • 本发明照射真空在真空整个充电对象红外线除去充电物体整个协议电荷它位于根据真空室的内部是否真空室,其用于制造半导体或显示压力的条件内,即常压,如果真空状态 本发明涉及能够在大气压下对整个物体照射X射线的静电除去装置。 为了实现“其照射光的静电去除按照压力的真空腔室单元内部的变化中和整个充电物体的静电在软X射线或真空紫外线的”本发明所提出的技术概念被设置在真空室中 在第一光照射和第二发光部分和,并设置在真空腔室传感器的侧边内,用于感测度的真空腔室的真空,由传感器检测到的真空度,以检查光的不同波长带的整个充电物体的上部 以及设置在真空室外部的控制单元,用于根据真空度选择性地操作第一光照单元和第二光照单元中的任何一个。 这一点是,如果使用的是一个静电根据本发明的去除装置是根据真空的真空室内部的程度,以中和全部的静电或充电对象与真空紫外线照射sikilsu中和整个充电物体的静电照射软X射线。