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    • 6. 发明公开
    • 칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀
    • 具有用于芯片级原子钟的电光能的蒸汽电池
    • KR1020170014602A
    • 2017-02-08
    • KR1020150108253
    • 2015-07-30
    • 한국과학기술원
    • 박종철김희연양충모김태현
    • G04F5/14
    • 본발명에따른칩 스케일원자시계를위한전기광학기능이구비된증기셀은, 반응성물질이수용되는공간인관통부를구비하는실리콘몸체; 상기실리콘몸체의일면에배치되어상기관통부의일측을폐색하는제 1 유리기판; 및상기실리콘몸체의타면에배치되어상기관통부의타측을폐색하는제 2 유리기판을포함하여형성되되, 상기관통부내부의온도를조절하기위하여상기실리콘몸체에전압이인가되는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 제 1 및제 2 유리기판을지지하는실리콘몸체자체가전열장치로서의역할도수행하기때문에관통부내부의온도를일정하게유지시킬수 있다. 게다가, 관통부내부의온도를조절하기위하여히터와같은전열장치를별도로구비하거나, 추가적인가열패턴을형성할필요가없기때문에증기셀의제작공정을간소화시킬수 있다.
    • 根据本发明的配备有用于芯片级原子钟的电光功能的蒸汽电池包括:具有用于接收反应材料的穿透部分的硅主体; 第一玻璃基板,所述第一玻璃基板设置在所述硅本体的一侧上以封闭所述穿透部分的一侧; 以及第二玻璃基板,设置在硅本体的另一表面上以封闭穿透部分的另一侧。电压施加到硅本体以控制穿透部分内部的温度。 根据本发明,由于支撑第一和第二玻璃基板的硅本体本身也用作传热装置,所以可以使穿透部分内部的温度保持恒定。 另外,由于诸如加热器的传热装置被单独提供或者不需要额外的加热模式来调节贯穿部分内的温度,所以可以简化气室的制造过程。
    • 10. 发明授权
    • 칩 스케일 원자시계
    • KR101867054B1
    • 2018-07-23
    • KR1020160098182
    • 2016-08-01
    • 한국과학기술원
    • 김희연양충모김태현박종철
    • G04F5/14H05K9/00
    • 기판및 상기기판의단부를지지하여소정의높이로현수할수 있는지지부로이루어진현수프레임을복수개로포함하며, 상기복수개의현수프레임이적층배열되는구조를가지는원자시계물리부가제공된다. 상기물리부는상기지지부각각에형성된관통영역이서로상하로연결되어형성된연결관통부내부에는자기차폐막이배치되며, 상기자기차폐막으로둘러싸인내부영역에는광 발생부가장착된제 1 현수프레임, 상기제 1 현수프레임의상부에배치되고상기광 발생부로부터발생된레이저광이입사되고출사되는증기셀이장착된제 2 현수프레임및 상기제 2 현수프레임상부에배치되고상기증기셀로부터출사되는광을수신하는광 검출부가장착된제 3 현수프레임이포함되며, 상기현수프레임중 적어도어느하나의기판은일면에금속배선이형성된유연기판이며, 상기금속배선은상기현수프레임의지지부의최외곽면까지연장되어외부전원공급배선과연결되는구성을가진다.