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1. 发明授权

KR102352024B1 SIL 팁을 플로팅하는 것을 자체 정정 有权
公开(公告)号：KR102352024B1
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：KR1020167028154
申请日：2015-03-11
IPC分类号： G02B21/33 , G02B7/02 , G02B21/02
摘要： 고체침지렌즈 (SIL) 에대한광학장치가개시된다. 그장치는 SIL 이자유롭게틸팅할수 있게한다. 그장치는 SIL 의맞물리는면 및후면으로부터연장하는광축을갖는 SIL; SIL 을내부에수용하도록구성된공동을가지면서 SIL 이공동내에서자유롭게틸팅하게하는 SIL 하우징으로서, 상기공동은광축이관통하도록위치된홀을포함하여이에따라 SIL 에의해수집된광이대물렌즈로전파하게하는, 상기 SIL 하우징; 및 SIL 하우징에부착되고 SIL 이공동을나가는것을방지하도록구성된 SIL 리테이너를포함한다.

2. 发明公开

KR1020080059235A 액침 현미경장치 无效
标题翻译：液体渗透显微镜
公开(公告)号：KR1020080059235A
公开(公告)日：2008-06-26
申请号：KR1020087009348
申请日：2006-10-18
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 시바타히로마사 , 고마쓰마나부 , 우치카와도시오
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/33
CPC分类号： G02B21/33
摘要： It is possible to provide a liquid immersion microscope capable of performing liquid immersion observation of a substrate in a nondestructive way without deteriorating the substrate quality. For this, the liquid immersion microscope includes: support means (11-13) for supporting a substrate (10A) as an observation object; an objective lens (14) of the liquid immersion system; first supply means (15, 16) for supplying ultra pure water as an observation liquid between the tip end of the objective lens and the substrate; first removal means (20-22) for removing the observation liquid after observation of the substrate; second supply means (17-19) for supplying a cleaning liquid different from the observation liquid removed by the first removal means (20-22) to an area of the substrate which has been in contact with the observation liquid; and second removal means (20-22) for removing the cleaning liquid after cleaning the substrate.
摘要翻译：可以提供能够以非破坏性的方式进行基板的液浸观察而不劣化基板质量的液浸式显微镜。为此，液浸显微镜包括：用于支撑作为观察对象的基板（10A）的支撑装置（11-13）液浸系统的物镜（14）; 第一供给装置（15,16），用于在物镜的前端和基板之间提供作为观察液体的超纯水; 用于在观察基板之后去除观察液的第一去除装置（20-22）第二供给装置（17-19），用于将与由第一去除装置（20-22）除去的观察液体不同的清洗液供给到与观察液体接触的基板的区域; 以及用于在清洁衬底之后去除清洁液体的第二去除装置（20-22）。

3. 发明公开

KR1020170062750A 내부 전반사 형광 현미경 有权
公开(公告)号：KR1020170062750A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：KR1020150168314
申请日：2015-11-30
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 박노철 , 문형배 , 이원섭 , 임건 , 최국종
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/04 , G02B21/33
CPC分类号： G02B21/16 , G01N21/6458 , G01N21/648 , G02B21/082 , G02B21/086 , G02B21/33 , G02B21/361
摘要： 본발명은형광현미경을개시한다. 본발명의일 실시예에의한형광현미경은, 형광체를포함하는시료를촬영하는형광현미경에있어서, 상기형광체가형광을방출하도록여기하는여기광을방출하는여기광원; 상기여기광원에서방출되는여기광에의하여여기된형광체를탈여기시키는여기감소광을방출하는여기감소광원; 상기여기광원에서방출된빛과상기여기감소광원에서방출되는빛을서로중첩시키고, 중첩된빛을시료를향하게하는광학바디부; 및상기광학바디부에서배출된빛이입사되고, 상기광학바디부에서배출된빛을시료를향하도록굴절시키는고체침지렌즈; 를포함하고, 상기고체침지렌즈에입사된빛은상기고체침지렌즈의저면에서전반사할수 있다.

4. 发明公开

KR1020160033235A 투영 광학계, 노광 장치 및 노광 방법 有权
标题翻译：投影光学系统，曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：KR1020160033235A
公开(公告)日：2016-03-25
申请号：KR1020167006129
申请日：2006-05-08
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 오무라야스히로 , 오카다다카야 , 나가사카히로유키
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , G02B1/06 , G02B17/08 , G02B21/33
CPC分类号： G03F7/70725 , G02B1/06 , G02B17/08 , G02B17/0892 , G02B21/33 , G03F7/702 , G03F7/70225 , G03F7/70341
摘要： 예컨대반사굴절형이고또한축외시야형의액침투영광학계에있어서, 상공간에있어서액체(침액)가개재하는범위를작게억제한다. 제1면의축소상을액체를통해제2면에투영하는투영광학계는, 가장제2면측에배치된굴절광학소자(Lp)를구비하고있다. 굴절광학소자의출사면(Lpb)은제2면상에서직교하는 2개의축선방향(X 방향및 Y 방향)에관하여거의대칭인형상을가지고, 출사면의중심축선(Lpba)과굴절광학소자의입사면(Lpa)의외주에대응하는원(40)의중심축선(40a)과거의일치하며, 출사면의중심축선은 2개의축선방향중 한쪽의축선방향(Y 방향)을따라광축(AX)으로부터편심하고있다.

5. 发明公开

KR1020170089028A 투영 광학계, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 审中-实审
标题翻译：投影光学系统，曝光装置及装置制造方法
公开(公告)号：KR1020170089028A
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：KR1020177020344
申请日：2006-05-08
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 오무라야스히로 , 오카다다카야 , 나가사카히로유키
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , G02B1/06 , G02B17/08 , G02B21/33
CPC分类号： G03F7/70725 , G02B1/06 , G02B17/08 , G02B17/0892 , G02B21/33 , G03F7/702 , G03F7/70225 , G03F7/70341
摘要： 예컨대반사굴절형이고또한축외시야형의액침투영광학계에있어서, 상공간에있어서액체(침액)가개재하는범위를작게억제한다. 제1면의축소상을액체를통해제2면에투영하는투영광학계는, 가장제2면측에배치된굴절광학소자(Lp)를구비하고있다. 굴절광학소자의출사면(Lpb)은제2면상에서직교하는 2개의축선방향(X 방향및 Y 방향)에관하여거의대칭인형상을가지고, 출사면의중심축선(Lpba)과굴절광학소자의입사면(Lpa)의외주에대응하는원(40)의중심축선(40a)과거의일치하며, 출사면의중심축선은 2개의축선방향중 한쪽의축선방향(Y 방향)을따라광축(AX)으로부터편심하고있다.
摘要翻译：例如反射折射型并且还考虑型的离轴场的液体渗透光荣学术界和抑制的程度的材料液（浸渍）在gagae室之间。用于通过液体将第一表面的缩小图像投影到第二表面上的投影光学系统具有布置在第二表面侧上的折射光学元件Lp。折射光学元件输出表面的轴向中心轴的（LPB）2（Lpba）和折射光学元件的入射面，所述出射表面具有基本对称的形状相对于所述方向（X方向和Y方向），这是在所述的银第二侧正交出射面的中心轴与对应于光轴AX的意外轴Lpa的圆40的中心轴40a重合，和。

6. 发明公开

KR1020160131104A SIL 팁을 플로팅하는 것을 자체 정정 审中-实审
标题翻译： SIL自我修正浮动丝印
公开(公告)号：KR1020160131104A
公开(公告)日：2016-11-15
申请号：KR1020167028154
申请日：2015-03-11
申请人： 디씨지 시스템스 인코포레이티드
发明人： 프랭크조나단 , 사비네니프라사드
IPC分类号： G02B21/33 , G02B7/02 , G02B21/02
CPC分类号： G02B21/33 , G02B7/023 , G02B21/02
摘要： 고체침지렌즈 (SIL) 에대한광학장치가개시된다. 그장치는 SIL 이자유롭게틸팅할수 있게한다. 그장치는 SIL 의맞물리는면 및후면으로부터연장하는광축을갖는 SIL; SIL 을내부에수용하도록구성된공동을가지면서 SIL 이공동내에서자유롭게틸팅하게하는 SIL 하우징으로서, 상기공동은광축이관통하도록위치된홀을포함하여이에따라 SIL 에의해수집된광이대물렌즈로전파하게하는, 상기 SIL 하우징; 및 SIL 하우징에부착되고 SIL 이공동을나가는것을방지하도록구성된 SIL 리테이너를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于固体浸没透镜（SIL）的光学装置。该布置使得SIL能够自由地倾斜。该装置包括具有从SIL的接合表面和后表面延伸的光轴的SIL; SIL壳体，其具有被配置为在其中接纳SIL的空腔，同时允许SIL在空腔内自由地倾斜，其中所述空腔包括定位成使得光轴穿过其中的孔，从而允许由SIL收集的光传播到物镜; 以及连接到SIL壳体并被构造成防止SIL离开空腔的SIL保持器。

7. 发明授权

KR102400976B1 고침 렌즈 홀더 및 화상 취득 장치 有权
公开(公告)号：KR102400976B1
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：KR1020177004615
申请日：2015-09-24
IPC分类号： G02B7/02 , G02B7/16 , G02B21/00 , G02B21/02 , G02B21/26 , G02B21/33 , G02B21/36
摘要： 고침렌즈홀더(8)는, 구면부(6a)의일부가대물렌즈(21)측으로돌출하도록구면부(6a)를내부에배치하는제1 개구(71)를가지는제1 부재(70)와, 맞닿음면(6f)이대물렌즈(21)측과는반대측으로돌출하도록맞닿음부(6d)를내부에배치하는제2 개구(87)를가지는제2 부재(80)를구비한다. 제1 부재(70)는, 제1 개구(71)의내면(71a)으로부터제1 개구(71)의중심측으로연장되고, 구면부(6a)와접촉가능하게구성된 3개의돌출부(73)를가진다.

8. 发明授权

KR101766064B1 내부 전반사 형광 현미경 有权
标题翻译：内部荧光显微镜
公开(公告)号：KR101766064B1
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：KR1020150168314
申请日：2015-11-30
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 박노철 , 문형배 , 이원섭 , 임건 , 최국종
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/04 , G02B21/33
CPC分类号： G02B21/16 , G01N21/6458 , G01N21/648 , G02B21/082 , G02B21/086 , G02B21/33 , G02B21/361
摘要： 본발명은형광현미경을개시한다. 본발명의일 실시예에의한형광현미경은, 형광체를포함하는시료를촬영하는형광현미경에있어서, 상기형광체가형광을방출하도록여기하는여기광을방출하는여기광원; 상기여기광원에서방출되는여기광에의하여여기된형광체를탈여기시키는여기감소광을방출하는여기감소광원; 상기여기광원에서방출된빛과상기여기감소광원에서방출되는빛을서로중첩시키고, 중첩된빛을시료를향하게하는광학바디부; 및상기광학바디부에서배출된빛이입사되고, 상기광학바디부에서배출된빛을시료를향하도록굴절시키는고체침지렌즈; 를포함하고, 상기고체침지렌즈에입사된빛은상기고체침지렌즈의저면에서전반사할수 있다.
摘要翻译：本发明公开了一种荧光显微镜。根据本发明实施例的荧光显微镜是用于拍摄包含荧光物质的样品的荧光显微镜，所述荧光显微镜包括：激发光源，用于发射激发所述荧光物质以发射荧光的激发光; 1.一种激发减少光源，其发出使从激发光源射出的激发光所激励的荧光体去激励的激发减少光，一个光学体，用于叠加从激发光源发射的光和从激发减弱光源发射的光并将叠加的光导向样品; 以及固体浸没透镜，用于接收从光学身体部分发射的光并且将从光学身体部分发射的光朝向样本折射; 入射到固体浸没透镜上的光可以在固体浸没透镜的底面上全反射。

9. 发明授权

KR101762083B1 투영 광학계, 노광 장치 및 노광 방법 有权
标题翻译：投影光学系统，曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：KR101762083B1
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：KR1020167006129
申请日：2006-05-08
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 오무라야스히로 , 오카다다카야 , 나가사카히로유키
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , G02B1/06 , G02B17/08 , G02B21/33
CPC分类号： G03F7/70725 , G02B1/06 , G02B17/08 , G02B17/0892 , G02B21/33 , G03F7/702 , G03F7/70225 , G03F7/70341
摘要： 예컨대반사굴절형이고또한축외시야형의액침투영광학계에있어서, 상공간에있어서액체(침액)가개재하는범위를작게억제한다. 제1면의축소상을액체를통해제2면에투영하는투영광학계는, 가장제2면측에배치된굴절광학소자(Lp)를구비하고있다. 굴절광학소자의출사면(Lpb)은제2면상에서직교하는 2개의축선방향(X 방향및 Y 방향)에관하여거의대칭인형상을가지고, 출사면의중심축선(Lpba)과굴절광학소자의입사면(Lpa)의외주에대응하는원(40)의중심축선(40a)과거의일치하며, 출사면의중심축선은 2개의축선방향중 한쪽의축선방향(Y 방향)을따라광축(AX)으로부터편심하고있다.
摘要翻译：例如反射折射型并且还考虑型的离轴场的液体渗透光荣学术界和抑制的程度的材料液（浸渍）在gagae室之间。用于通过液体将第一表面的缩小图像投影到第二表面上的投影光学系统具有布置在第二表面侧上的折射光学元件Lp。折射光学元件输出表面的轴向中心轴的（LPB）2（Lpba）和折射光学元件的入射面，所述出射表面具有基本对称的形状相对于所述方向（X方向和Y方向），这是在所述的银第二侧正交出射面的中心轴与对应于光轴AX的意外轴Lpa的圆40的中心轴40a重合，和。

10. 发明授权

KR101117831B1 고침 렌즈 홀더 有权
标题翻译：固体透镜镜架
公开(公告)号：KR101117831B1
公开(公告)日：2012-03-19
申请号：KR1020067007860
申请日：2004-10-28
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 다나베히로시 , 아라타이쿠오 , 데라다히로토시
IPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
CPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
摘要： 고침 렌즈(3)의 바닥면을 개구(9b)를 통하여 아래쪽으로 돌출시킨 상태에서 그 고침 렌즈(3)를 자중 방향으로 지지하는 홀더(9)를 구비하는 구성으로 한다. 이것에 의해, 고침 렌즈(3)가 관찰 대상물에 실어 놓여지면, 그 관찰 대상물에 의해 고침 렌즈(3)는 들어 올려진 상태로 되고, 홀더(9)에 대하여 자유로운 상태로 된다. 또, 이때, 관찰 대상물에 과도한 압력이 가해지지 않게 되고, 또한 고침 렌즈(3)가 관찰 대상물에 가깝게 밀착함과 동시에, 홀더(9) 측 또는 관찰 대상물 측의 온도 드리프트가 상대 측에 대하여 차단되어 온도 드리프트에 의한 영향이 없어진다. 이것에 의해, 관찰 대상물에 손상을 주는 것을 없앰과 동시에 고정밀도의 관찰을 가능하게 하는 고침 렌즈 홀더를 얻을 수 있다.

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