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热词
    • 1. 发明公开
    • 구리의 화학 기계적 평탄화용 조성물 및 방법
    • 铜化学机械平面化的组成和方法
    • KR1020050085311A
    • 2005-08-29
    • KR1020057010019
    • 2003-11-19
    • 알케마 인코포레이티드
    • 노소위츠마틴마티악니콜러스엠.캐롤글렌재니패트릭케이.
    • C11D1/00C25C1/18H01L21/44C11D11/00
    • H01L21/3212C09G1/02C11D1/00C11D11/0047C11D11/007C25C1/18H01L21/44
    • A family of slurries are disclosed which are useful in modifying exposed surfaces of wafers for semiconductor fabrication are provided along with methods of modifying exposed surfaces of wafers for semiconductor fabrication utilizing such a family of working slurries, and semiconductor wafers. The slurries of the invention are comprised of a liquid carrier; a sulfurbearing compounds capable of converting copper to copper sulfide; optionally, abrasive particles (polishing agent; optionally a chelating agent; optionally a buffering agent; optionally, a stopping compound; optionally, other additives; and optionally, a co- solvent. The method of the invention comprises the steps of: a) providing a wafer comprising a first material having a surface etched to form a pattern and a second material deposited over the surface of the first material; b) contacting the second material of the wafer with abrasive in the presence of the working slurry; and c) relatively moving the wafer or polishing pad or both while the second material is in contact with the slurry and abrasive particles until an exposed surface of the wafer is planar and comprises at least one area of exposed first material and one area of exposed second material.
    • 公开了可用于修改用于半导体制造的晶片的暴露表面的一系列浆料,以及利用这样一组工作浆料和半导体晶片来修改用于半导体制造的晶片的暴露表面的方法。 本发明的浆液由液体载体组成; 能够将铜转化成硫化铜的磺化化合物; 任选地,研磨颗粒(抛光剂;任选的螯合剂;任选的缓冲剂;任选地,停止化合物;任选的其它添加剂;以及任选的共溶剂)。本发明的方法包括以下步骤:a) 晶片,其包括具有被蚀刻以形成图案的表面的第一材料和沉积在所述第一材料的表面上的第二材料; b)在工作浆料存在下使晶片的第二材料与研磨剂接触; 以及c)当所述第二材料与所述浆料和所述磨料颗粒接触时,相对移动所述晶片或抛光垫或两者,直到所述晶片的暴露表面是平面的并且包括暴露的第一材料的至少一个区域和暴露的第二材料的一个区域 材料。
    • 4. 发明授权
    • 납 전해 정련의 양극 슬라임에 포함된 유가금속 분리회수방법
    • 铅电解精炼阳极泥中有价金属的回收方法
    • KR101805704B1
    • 2017-12-08
    • KR1020160104820
    • 2016-08-18
    • 주식회사 이맥스아이엔시
    • 반봉찬오경규
    • C22B9/16C25C1/18C22B9/18C22B9/22C22B30/02C22B11/02C22B30/06H05B6/36
    • C22B9/16C22B9/18C22B9/226C22B11/02C22B30/02C22B30/06C25C1/18H05B6/367
    • 본발명은유가금속을포함하는납 전해정련의양극슬라임을유도로에서산화시켜블랙메탈, 분진, 슬래그로각각분리하는제1단계; 상기제1단계에서얻어진블랙메탈을재산화하여 Bi-리사지, 은양극, 분진, 안티몬슬래그로분리하는제2단계; 상기제1단계와제2단계에서얻어진분진을전기로에서산화시켜 Sb-Pb합금, Sb-Pb슬래그로분리하여회수하는제3단계;를포함하는납 전해정련의양극슬라임에포함된유가금속분리회수방법을제공하기위한것으로, 본발명은납축전지납 재생공정에서전기화학적으로용해되지않고남은유가금속을분리회수하여자원을재활용할수 있음은물론환경오염을최소화할수 있는효과를갖는다. 특히본 발명은유가금속을선택적으로분리하여높은회수율로고가의금속을수득할수 있는효과를갖는다. 또한, 본발명은반응속도를향상시켜처리시간및 비용을절감할수 있는효과를갖는다.
    • 本发明包括:将每个由黑色金属分离的第一步骤中,灰尘,炉渣在阳极氧化诱导的引线的电解精炼中含有有价值金属的煤泥; 第二步,将第一步得到的黑色金属再氧化,并将黑色金属分离成双溶剂,银阳极,粉尘和锑渣; 其中,在步骤1和步骤2在电炉中的Sb-Pb合金,通过分离以Sb-铅炉渣中回收的第三步骤中获得的颗粒的氧化;包含在所述阳极泥的有价值的金属的分离用于精炼电解铅包括多个 本发明具有通过分离和回收剩余的有价金属而不会在铅酸蓄电池引线回收过程中电化学溶解而使环境污染最小化和再循环资源的效果。 特别是,本发明具有选择性地分离有价值的金属以获得具有高回收率的金属的效果。 此外,本发明具有提高反应速度和减少处理时间和成本的效果。