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热词
    • 3. 发明公开
    • 정전척
    • 静电卡
    • KR1020140029213A
    • 2014-03-10
    • KR1020130099593
    • 2013-08-22
    • 토토 가부시키가이샤
    • 아나다카즈키와다타쿠마
    • H01L21/683C04B35/053H02N13/00B23Q3/15
    • H01L21/6833H01L21/68757
    • (Assignment) The present invention is aimed to provide an electrostatic chuck capable of improving the adhesion between an inner electrode layer and a ceramic dielectric substrate, and to improving the conductivity of the inner electrode layer. (Solution) An electrostatic chuck having: a first surface for loading the subject of disposal, and a second surface located on the opposite side of the first surface; a ceramic dielectric substrate, which is a multi-crystalline sintered body; an electrode layer which is sintered, as a single body, onto the ceramic dielectric substrate, and which is installed in between the first and the second surfaces of the ceramic dielectric substrate. The ceramic dielectric substrate has: a first dielectric layer in between the electrode layer and the first surface; and a second dielectric layer in between the electrode and the second surface. The electrode layer has a first portion which is conductive, and a second portion which is combined to the first and second dielectric layers. The mean particle size of the crystal included in the second portion is smaller than the mean particle size of the crystal included in the ceramic dielectric substrate.
    • (分配)本发明的目的在于提供一种能够改善内部电极层和陶瓷电介质基板之间的粘附性并提高内部电极层的导电性的静电卡盘。 (解决方案)一种静电卡盘,其具有:用于装载被处理物体的第一表面和位于所述第一表面的相对侧上的第二表面; 作为多晶体烧结体的陶瓷电介质基板, 电极层,其作为单体烧结在陶瓷电介质基板上,并且安装在陶瓷电介质基板的第一和第二表面之间。 所述陶瓷电介质基板具有:在所述电极层和所述第一面之间的第一电介质层; 以及在所述电极和所述第二表面之间的第二电介质层。 电极层具有导电的第一部分和与第一和第二电介质层组合的第二部分。 包含在第二部分中的晶体的平均粒径小于包含在陶瓷电介质基片中的晶体的平均粒度。
    • 10. 发明授权
    • 정전척
    • 静电吸盘
    • KR101485438B1
    • 2015-01-22
    • KR1020130099593
    • 2013-08-22
    • 토토 가부시키가이샤
    • 아나다카즈키와다타쿠마
    • H01L21/683C04B35/053H02N13/00B23Q3/15
    • H01L21/6833H01L21/68757
    • (과제) 내부 전극층과 세라믹 유전체 기판의 밀착성의 향상과, 내부 전극층의 도통성의 향상을 꾀할 수 있는 정전척을 제공하는 것을 목적으로 한다.
      (해결수단) 처리 대상물을 적재하는 제 1 주면과 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면을 갖고, 다결정 세라믹 소결체인 세라믹 유전체 기판과, 세라믹 유전체 기판의 제 1 주면과 제 2 주면 사이에 설치되고, 세라믹 유전체 기판에 일체 소결된 전극층을 구비하고, 세라믹 유전체 기판은 전극층과 제 1 주면 사이의 제 1 유전층과, 전극층과 제 2 주면 사이의 제 2 유전층을 갖고, 전극층은 도전성을 갖는 제 1 부분과, 제 1 유전층과 제 2 유전층을 결합하는 제 2 부분을 갖고, 제 2 부분에 포함되는 결정의 평균 입경은 세라믹 유전체 기판에 포함되는 결정의 평균 입경보다 작은 것을 특징으로 하는 정전척이 제공된다.
    • 本发明的目的在于提供一种能够提高内部电极层与陶瓷电介质基板的密合性,提高内部电极层的导电性的静电吸盘。