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热词
    • 4. 发明授权
    • 액체 시스템에서 작동 유체 희석의 감소
    • 减少液体系统中的工作流体流失
    • KR101140439B1
    • 2012-04-30
    • KR1020040045130
    • 2004-06-17
    • 오르토- 클리니컬 다이아그노스틱스, 인코포레이티드
    • 제이콥스메리트딩종
    • G01N35/08G01N35/00
    • F04B19/006Y10T137/0318Y10T436/11Y10T436/118339Y10T436/119163Y10T436/25Y10T436/2575
    • 본 발명은 목적 유체, 예컨대 샘플을 수송하는 작동 유체를 제공하는 단계; 상기 작동 유체 및 목적 유체와 비혼화성인 제 1 완충 유체의 제 1 구획을 제공하는 단계; 목적 유체의 제 1 구획을 제공하는 단계; 상기 작동 유체 및 목적 유체와 비혼화성인 제 2 완충 유체의 제 2 구획을 제공하는 단계; 수송 및 추가로 조작될 목적 유체를 제공하는 단계; 및 작동 유체에 원동력을 가하여 상기 작동 유체가 제 1 및 제 2 완충 유체를 통해 목적 유체에 힘을 가하도록 함으로써 채널 내에서 목적 유체를 수송하는 단계를 포함하는, 채널 내에서 목적 유체를 수송하는 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 진단 분석기 또는 혈액의 면역혈액학적 시험용 장치와 같은 장치에서 샘플의 희석을 예방한다. 미세유체 취급 시스템은 제 1 편평 평면; 및 상기 제 1 평면과 마주보는 제 2 편평 평면을 갖는 기판을 갖는 마이크로시스템 플랫폼을 포함한다. 제 1 평면은 하나 이상의 마이크로채널; 임의적인 시약원; 임의적인 반응 챔버; 유체를 수송하는 원동력원; 마이크로채널 내의 작동 유체; 상기 작동 유체 및 목적 유체와 비혼화성인 제 1 완충 유체의 제 1 구획; 목적 유체의 제 1 구획; 상기 작동 유체 및 목적 유체와 비혼화성인 제 2 완충 유체의 제 2 구획; 및 수송 및 추가로 조작될 목적 유체를 포함하고, 상기 유체는 마이크로채널 내에 작동 유체; 제 1 완충 유체; 목적 유체의 제 1 구획, 제 2 완충 유체; 및 목적 유체의 순서로 존재한다.
    • 5. 发明授权
    • 유체 샘플링 장치 및 이를 갖는 분석 장치
    • 유체샘플링장치및이를갖는분석장치
    • KR100414157B1
    • 2004-01-13
    • KR1020010060576
    • 2001-09-28
    • 삼성전자주식회사
    • 김동현조도현성우동김진석최원석
    • G01N1/14
    • G01N35/10G01N1/16G01N1/18Y10T436/11Y10T436/111666Y10T436/119163Y10T436/2575
    • A fluid sampling apparatus and associated fluid analyzer sample process fluids used in semiconductor manufacturing at a plurality of measurement points. The fluid sampling apparatus includes a first nozzle assembly having a plurality of outlet nozzles. The plurality of outlet nozzles are connected to lines supplying the process fluids. A second nozzle assembly is installed above the first nozzle assembly and includes an inlet nozzle connected to an apparatus for measuring a contamination level of the process fluids. A motor is connected to the second nozzle assembly to align a selected outlet nozzle with the inlet nozzle. A pneumatic cylinder is coupled to the first nozzle assembly to connect the selected outlet nozzle with the inlet nozzle. In this manner, it is possible to measure the contamination level of process fluids supplied at a plurality of measurement points by using a single measuring apparatus.
    • 在多个测量点处用于半导体制造中的流体采样设备和相关联的流体分析仪采样处理流体。 该流体采样设备包括具有多个出口喷嘴的第一喷嘴组件。 多个出口喷嘴连接到供应过程流体的管线。 第二喷嘴组件安装在第一喷嘴组件上方并且包括连接到用于测量过程流体的污染水平的设备的入口喷嘴。 马达连接到第二喷嘴组件以将选定的出口喷嘴与入口喷嘴对齐。 气缸与第一喷嘴组件连接以将选定的出口喷嘴与入口喷嘴连接。 以这种方式,可以通过使用单个测量装置来测量在多个测量点处供应的过程流体的污染水平。