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    • 10. 发明公开
    • 점진적 변화된 화학양론의 절연 터널-배리어층을 갖는 다층 터널링 장치
    • 점진적변화된화학양론의절연터널 - 배리어층을갖는다층터널링장치
    • KR1020030014371A
    • 2003-02-17
    • KR1020027012462
    • 2001-03-21
    • 엔엑스피 유에스에이, 인코포레이티드
    • 슬러거터존
    • G11C11/15
    • H01L43/08B82Y10/00B82Y25/00B82Y40/00H01F10/3254H01F41/302H01L43/12Y10T428/12465Y10T428/24149
    • 점진적 변화된 화학양론의 절연층(16)을 포함하는 개선되고 새로운 다층 박막 장치 및 점진적 변화된 화학양론의 절연층(16)을 포함하는 다층 박막 장치의 제조 방법이 개시되어 있다. 장치의 구조체는 기판(12), 제 1 전극(14), 제 2 전극(18), 및 제 1 전극(14)과 제 2 전극(18) 사이에 형성되는 점진적 변화된 화학양론의 절연(또는, 터널-배리어)층(16)을 포함한다. 점진적 변화된 화학양론의 절연 터널-배리어층(16)은 두께 프로파일을 보상하기 위해 점진적 변화된 화학양론을 포함하며, 그에 의해, 구조체(10) 전반에 걸쳐 균일한 터널-배리어 저항을 생성한다. 또한, 기판(12) 제공 단계(40), 기판(12) 상에 제 1 전극(14)을 증착하는 단계(44), 제 1 전극(14)의 표면 상에 금속층(21)을 증착하는 단계(46), 비-균일 반응 처리(21)를 사용하여 균일한 터널링 저항을 갖는 절연 터널-배리어층(16)을 형성하기 위해 금속층(21)을 반응시키는 단계(50, 52 또는 54), 및 균일 터널링 절연층(16) 상에 제 2 전극(18)을 증착하는 단계(56)를 포함하는, 점진적 변화된 화학양론의 절연 터널-배리어층(16)을 포함하는 다층 박막 장치(10)를 제조하는 방법을 포함하고 있다.
    • 一种包括渐变化学计量绝缘层(16)的改进的和新颖的多层薄膜器件以及一种制造包括渐变化学计量绝缘层(16)的多层薄膜器件的方法。 该器件结构包括衬底(12),第一电极(14),第二电极(18)以及形成在第一电极(14)和第一电极(14)之间的渐变化学计量绝缘或隧道势垒层 第二电极(18)。 分级化学计量的绝缘隧道势垒层(16)包括分级化学计量以补偿厚度分布并由此在整个结构(10)上产生均匀的隧道势垒电阻。 此外,还包括制造包括梯度化学计量法绝缘隧道势垒层(16)的多层薄膜器件(10)的方法,该层包括提供(40)衬底(12),沉积(44) (12)上的第一电极(14),在第一电极(14)的表面上沉积(46)金属层(21),使金属层(21)与(50; 52;或54) 通过使用非均匀反应工艺(21)和在均匀隧穿绝缘层(16)上沉积(56)第二电极(18)来形成具有均匀隧穿电阻(16)的绝缘隧道势垒层。