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1. 发明公开

KR1020090080974A 발화 장치의 사용 기간을 연장하는 장치 및 방법 无效
标题翻译：增加燃烧装置使用寿命的装置和方法
公开(公告)号：KR1020090080974A
公开(公告)日：2009-07-27
申请号：KR1020097010053
申请日：2007-10-05
申请人： 지멘스 악티엔게젤샤프트
发明人： 한네만,프랭크 , 쾨슈틀린,베르톨트 , 니스,라이너
IPC分类号： C23C24/04 , C09D1/02
CPC分类号： F23R3/007 , C09D1/02 , C23C24/04 , Y02E20/16 , Y02E20/18 , Y10T137/4238 , Y10T137/4245
摘要： The invention relates to a device for increasing the service life of combustion installations, comprising at least one gas-conducting component (4), wherein the conducted gas comprises dirt components (3). The invention is characterized in that the at least one gas-conducting component (4) comprises a layer (5) which can be at least partially detached together with the dirt component (3) by the gas stream when said layer (5) is impinged with the gas and when a dirt component (3) is deposited on the layer (5).
摘要翻译：本发明涉及一种用于增加燃烧装置的使用寿命的装置，包括至少一个气体导电组件（4），其中所述传导气体包括污垢组分（3）。本发明的特征在于，当所述层（5）被撞击时，所述至少一个气体导电组件（4）包括层（5），所述层（5）可以通过气流与污垢组分（3）至少部分地分离并且当污垢成分（3）沉积在层（5）上时。

2. 发明授权

KR101589795B1 가열 또는 냉각 시스템 밸브용 밸브 액츄에이터 디바이스 有权
标题翻译：用于加热或冷却系统阀的阀致动器装置
公开(公告)号：KR101589795B1
公开(公告)日：2016-01-28
申请号：KR1020130128454
申请日：2013-10-28
申请人： 댄포스 아/에스
发明人： 안데르센토르벤룬드 , 한센쇠렌 , 빌렉크예르예스페르디 , 알렉산데르센페테르 , 클라우센안데르스외스테르가르 , 프레데릭센비아르네 , 문크라르스 , 니쎈올레스티그
IPC分类号： F15B21/08
CPC分类号： F16K31/04 , F16K1/523 , Y10T137/4238
摘要： 밸브액츄에이터디바이스 (1) 는, 가열또는냉각시스템밸브 (2) 용으로도시되고, 상기디바이스 (1) 는모터 (10) 및제어수단 (11) 을포함하고, 상기모터 (10) 는밸브엘리먼트 (6) 를작동시키기위해제공된작동수단 (8) 을구동하고, 상기제어수단 (11) 은사전설정기능을수행하기위한사전설정수단 (14) 을포함한다.이러한밸브액츄에이터디바이스 (1) 의동작가능성들이증가된다.이를위해, 상기제어수단 (11) 은플러싱기능을수행하기위한플러싱수단을포함하고, 상기플러싱수단은상기사전설정기능을중단시킨다.

3. 发明公开

KR1020150068917A 정전척 세정 픽스처 审中-实审
标题翻译：静电清洁洁具
公开(公告)号：KR1020150068917A
公开(公告)日：2015-06-22
申请号：KR1020140178477
申请日：2014-12-11
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 아보얀아르멘 , 라크로와크리프 , 시홍 , 바이론케넷
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15
CPC分类号： B08B3/12 , B08B3/02 , B08B9/00 , B08B17/04 , H01L21/67051 , H01L21/6831 , Y10T137/0402 , Y10T137/4238
摘要： 세정프로세스동안반도체기판들을지지하기적합한정전척을보호하기위한세정픽스처어셈블리는정전척의후면과정렬하고인게이지하도록구성된플레이트를포함하고, 이플레이트는포켓을둘러싸는환상시일부를갖는다. 세정픽스처어셈블리는또한플레이트의환상시일부와인게이지하는제 1 O-링, 플레이트의포켓내의복수의쓰루홀들, 및플레이트의포켓내의복수의쓰루홀들을둘러싸는복수의 O-링들을포함한다. 복수의쓰루홀들은정전척의후면의리프트핀 홀들및 헬륨홀들과정렬되고유체적으로연통하도록구성되고, 복수의 O-링들은세정매질이정전척의후면에닿는것을시일하는동안, 세정프로세스동안세정매질로하여금정전척내의리프트핀 홀들및 헬륨홀들에인게이지하게하도록위치된다.
摘要翻译：一种用于在清洁过程中用于保护适于支撑半导体衬底的静电吸盘的清洁固定组件，包括配置成与静电吸盘的背面对齐并与其接合的板，其中板具有环绕袋的环形密封部分。清洁固定组件还包括与板的环形密封部分接合的第一O形环，在板的凹槽中的多个通孔和围绕袋的通孔中的多个O形环碟子。通孔被配置成与静电卡盘的后侧中的提升销孔和氦孔对准并通过流体连接，并且多个O形环被定位成允许清洁介质与提升销孔接合以及在清洁过程期间在静电卡盘中的氦孔，同时密封清洁介质到达静电卡盘的后侧。

4. 发明授权

KR101679734B1 퍼지 기능을 구비한 스토커와, 스토커 유닛 및 클린 가스의 공급 방법 有权
标题翻译：储存器提供有功能储存器单元和供应清洁气体的方法
公开(公告)号：KR101679734B1
公开(公告)日：2016-11-25
申请号：KR1020157004131
申请日：2013-06-21
申请人： 무라다기카이가부시끼가이샤
发明人： 무라타마사나오 , 야마지타카시
IPC分类号： B65G1/00 , B65G1/14 , H01L21/677
CPC分类号： B08B5/02 , B65G1/00 , B65G45/00 , H01L21/67393 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , Y10T137/4238
摘要： 본발명은퍼지기능을구비한개구와구비하지않는개구가공존할수 있으며, 또한퍼지기능을구비하지않는개구를퍼지기능을구비한개구로용이하게변경할수 있는스토커를제공하는것이다. 상하방향혹은수평방향을따라, 클린가스의공급용노즐을구비하지않는선반받이를복수개부착할수 있는스토커의프레임에, 스토커유닛의베이스가부착되어있다. 스토커유닛은, 베이스를따라설치되어있는클린가스의공급용파이프와, 베이스에부착되며, 또한상하방향혹은수평방향을따라배열되어있는, 복수의퍼지기능을구비한선반받이를구비하고, 선반받이는컨테이너를지지할수 있으며, 또한컨테이너에파이프로부터클린가스를공급하는노즐을구비하고있다.
摘要翻译：提供一种储存器，其中具有清洗功能的细胞和不具有吹扫功能的细胞可以共存，并且不具有清除功能的细胞可以容易地改变为具有清除功能的细胞。储料器具有框架，不具有清洁气体供给喷嘴的多个单元支撑体被配置为沿着垂直方向或水平方向安装，并且储料架单元的基部附接到框架。储料器单元包括用于提供沿着基部设置的清洁气体的管道，以及具有附着到基座并沿着垂直方向或水平方向对齐的净化功能的多个单元支撑件。每个电池支撑件可以支撑容器并且包括将清洁气体从管道供应到容器的喷嘴。

5. 发明授权

KR101511794B1 솔레노이드 밸브 제어 장치 有权
标题翻译：电磁阀控制装置
公开(公告)号：KR101511794B1
公开(公告)日：2015-04-13
申请号：KR1020090020959
申请日：2009-03-12
申请人： 쟈트코 가부시키가이샤 , 닛산 지도우샤 가부시키가이샤
发明人： 야마네노부후미 , 다니구찌히로끼 , 다부찌요오지
IPC分类号： F16K31/06 , F16K31/02 , H01F7/16
CPC分类号： F16H61/0251 , F16H2061/0043 , F16H2061/1264 , Y10T137/0402 , Y10T137/0435 , Y10T137/4238 , Y10T137/4273
摘要： 본발명은이물제거제어시, 이물제거제어에연휴하여백업제어를실행함으로써효율적으로이물을제거하면서유압제어밸브에서의아이들링노이즈의발생을방지할수 있는솔레노이드밸브제어장치를제공하는것을목적으로한다. 이를해결하기위해, 솔레노이드밸브(2)와, 솔레노이드압(P)을스풀(31)의작동신호압으로하는절환밸브(3)와, 솔레노이드밸브(2)의밸브개폐부에부착되어있는이물을제거하는이물제거제어수단을구비하고,솔레노이드밸브(2)로서제1 솔레노이드밸브(21)와제2 솔레노이드밸브(22)를설치하고, 절환밸브(3)는제1 솔레노이드압(P)과제2 솔레노이드압(P)을작동신호압으로하고, 이물제거제어수단은제1 솔레노이드밸브(21)와제2 솔레노이드밸브(22) 중한 쪽의솔레노이드밸브의솔레노이드코일(202)에대하여이물을제거하는구형파전류를인가하고있을때, 다른쪽의솔레노이드밸브의솔레노이드코일(202)에대하여솔레노이드압(P)을최대압영역으로하는전류인가를유지하는수단으로했다.

6. 发明授权

KR101463295B1 원료 공급 장치 및 성막 장치 有权
标题翻译：原材料供应装置和薄膜成型装置
公开(公告)号：KR101463295B1
公开(公告)日：2014-11-18
申请号：KR1020110143384
申请日：2011-12-27
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 와무라유우 , 후루야하루히꼬
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/02
CPC分类号： C23C16/45561 , B08B3/04 , B08B9/02 , C23C16/4402 , Y10T137/4238 , Y10T137/4259
摘要： 본 발명의 목적은, 원료 공급관을 통해 하방측으로부터 상방측에 액체 재료를 공급할 때에, 당해 원료 공급관 내로부터 액체 재료를 용이하게 배출하는 것으로, 기화기(11)에 근접하여 액 제거 기구를 설치하여, 원료 공급관(15)의 상단부를 이 액 제거 기구의 제2 원료 공급 밸브(74)에 있어서의 바이패스 유로(54)에 접속하는 동시에, 이 제2 원료 공급 밸브(74)의 상단부측으로부터 N
2 가스 및 옥탄이 공급되도록 각 밸브를 배치한다. 그리고, 원료 공급관(15)의 하방측에 다른 액 제거 기구를 설치하여, 당해 액 제거 기구에 원료 저류부(14)로부터 신장되는 공급관(14a) 및 액체 재료를 배출하기 위한 제1 원료 배출관(61)을 접속하여, 원료 공급관(15) 내의 액 제거를 행하는 경우에는, 당해 원료 공급관(15) 내에 대하여 상방측으로부터 하방측을 향해 N
2 가스나 옥탄을 공급한다.

7. 发明授权

KR101544618B1 클로로실란액의 수납 용기 및 이 수납 용기용 폐지 덮개 有权
标题翻译：液体氯化硅储存容器及其封闭剂
公开(公告)号：KR101544618B1
公开(公告)日：2015-08-17
申请号：KR1020090073645
申请日：2009-08-11
申请人： 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
发明人： 사사키고 , 이토다카노리
IPC分类号： F17C13/06 , F17C13/04
CPC分类号： F16K5/0631 , F16K27/067 , Y10T137/4238 , Y10T137/5109 , Y10T137/5283
摘要： 이클로로실란액의수납용기는, 상기클로로실란액을수납하는탱크와, 상기탱크에장착되고, 또한외부배관을착탈할수 있게접속되는밸브와, 상기외부배관이상기밸브로부터떼어내어질때, 상기밸브를밀봉하는폐지덮개를갖는다. 상기밸브는하우징과상기하우징중에형성되는밸브체를갖는다. 상기폐지덮개는, 상기접속플랜지의상기접속면에접하는폐지면을갖는덮개체와, 상기폐지덮개와상기밸브체사이의상기하우징내의공간으로불활성가스를공급하기위한공급관과, 상기공급관을개폐하는공급밸브와, 상기공간으로부터가스를배기하는배기관과, 상기배기관을개폐하는배기밸브를구비한다.

8. 发明公开

KR1020140056035A 가열 또는 냉각 시스템 밸브용 밸브 액츄에이터 디바이스 有权
标题翻译：阀门执行器装置，特别是用于加热或冷却系统阀
公开(公告)号：KR1020140056035A
公开(公告)日：2014-05-09
申请号：KR1020130128454
申请日：2013-10-28
申请人： 댄포스 아/에스
发明人： 안데르센토르벤룬드 , 한센쇠렌 , 빌렉크예르예스페르디 , 알렉산데르센페테르 , 클라우센안데르스외스테르가르 , 프레데릭센비아르네 , 문크라르스 , 니쎈올레스티그
IPC分类号： F15B21/08
CPC分类号： F16K31/04 , F16K1/523 , Y10T137/4238
摘要： A valve actuator device (1) can be used for a valve (2) of a heating system or a cooling system in particular. The device (1) includes a motor (10) and a control means (11), and the motor (10) drives an operation means (8) to operate a valve element (6). The control means includes a pre-setting means (14) to preform pre-setting features. The operational potentials of the valve actuator device (1) increase. Accordingly, the control means (11) includes a flushing means to perform flushing features and the flushing means also stops the pre-setting features.
摘要翻译：阀致动器装置（1）可以用于加热系统或冷却系统的阀（2）。装置（1）包括马达（10）和控制装置（11），马达（10）驱动操作装置（8）来操作阀元件（6）。控制装置包括用于预成型预设特征的预设装置（14）。阀致动器装置（1）的操作电位增加。因此，控制装置（11）包括执行冲洗特征的冲洗装置，并且冲洗装置也停止预设特征。

9. 发明公开

KR1020120088817A 버터플라이 밸브 有权
标题翻译：蝶阀
公开(公告)号：KR1020120088817A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：KR1020127014316
申请日：2010-10-15
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 크름포티치,로버트 , 루카스,폴디. , 야로스와프,피세라더블유. , 체임버레인,데이비드비.
IPC分类号： F16K1/226 , F16K1/22
CPC分类号： F16K1/221 , Y10T137/0419 , Y10T137/043 , Y10T137/0435 , Y10T137/4238 , Y10T137/6164
摘要： 버터플라이 밸브는, 밸브 개구를 구비한 본체; 및 밸브 개구에 대해 이동가능하도록 회전축 둘레에 회전가능하게 장착된 플래퍼를 포함한다. 플래퍼가 적어도 하나의 완전히 개방된 위치, 완전히 개방된 위치로부터 90° 이격된 적어도 하나의 완전히 폐쇄된 위치, 및 다른 위치로부터 180° 완전히 개방되거나 또는 완전히 폐쇄된 제3 위치로 이동가능하도록, 플래퍼는 상기 회전축 둘레를 적어도 180° 회전가능하다. 다른 실시예에서, 플래퍼가 서로 180° 이격된 2가지의 완전히 개방된 위치, 및 서로 180° 이격되며 완전히 개방된 위치 각각으로부터 90° 및 270° 이격된 2가지의 완전히 폐쇄된 위치 각각으로 이동가능하도록, 플래퍼는 회전축 둘레에서 적어도 360° 회전가능하다.

10. 发明公开

KR1020100020913A 클로로실란액의 수납 용기 및 이 수납 용기용 폐지 덮개 有权
标题翻译：液体氯化硅储存容器及其封闭剂
公开(公告)号：KR1020100020913A
公开(公告)日：2010-02-23
申请号：KR1020090073645
申请日：2009-08-11
申请人： 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
发明人： 사사키고 , 이토다카노리
IPC分类号： F17C13/06 , F17C13/04
CPC分类号： F16K5/0631 , F16K27/067 , Y10T137/4238 , Y10T137/5109 , Y10T137/5283
摘要： PURPOSE: A storage container for liquid chlorosilane and a closing lid for the same are provided to prevent the generation of corrosive gas due to the leakage of contents. CONSTITUTION: A tank(11) contains chlorosilane liquid. Valves(40A,40B) are installed in the tank in which external pipes can be attached. Each valve is composed of a housing and a valve body formed within the housing. A closing lid is employed to seal the valves when the external pipes are detached or attached to the valves.
摘要翻译：目的：提供液体氯硅烷储存容器及其封闭盖，以防止因内含物泄漏而产生腐蚀性气体。构成：容器（11）含有氯硅烷液体。阀门（40A，40B）安装在可以安装外部管道的罐中。每个阀由壳体和形成在壳体内的阀体组成。当外部管道拆卸或附接到阀门时，使用关闭盖来密封阀。

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