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    • 3. 发明公开
    • 반도체 장치
    • 半导体器件
    • KR1020070025952A
    • 2007-03-08
    • KR1020060046823
    • 2006-05-25
    • 닛산 지도우샤 가부시키가이샤
    • 시모이다요시오호시마사까쯔다나까히데아끼하야시데쯔야시노하라도시로야마가미시게하루
    • H01L29/861
    • H01L29/7804H01L29/7818
    • A semiconductor device is provided to simplify the fabricating process of a peripheral structure by using an enhanced hetero junction diode structure. A semiconductor device comprises a switch part and a hetero junction diode. The switch part is used for controlling on/off states of current supplied to a first conductive type semiconductor base body. The hetero junction diode is used for preventing a reverse flow of the on/off currents. The switch part is formed at a first main surface of the semiconductor base body. The hetero junction diode is formed at a second main surface of the semiconductor base body. The first main surface of the semiconductor base body is opposite to the second main surface. A hetero semiconductor region(2) of the hetero junction diode is heavily doped with second conductive type ions.
    • 提供半导体器件以通过使用增强的异质结二极管结构简化外围结构的制造工艺。 半导体器件包括开关部分和异质结二极管。 开关部分用于控制提供给第一导电类型半导体基体的电流的开/关状态。 异质结二极管用于防止导通/截止电流的反向流动。 开关部形成在半导体基体的第一主面上。 异质结二极管形成在半导体基体的第二主表面。 半导体基体的第一主表面与第二主表面相对。 异质结二极管的异质半导体区域(2)被第二导电型离子重掺杂。
    • 5. 发明授权
    • 반도체 장치
    • 半导体器件
    • KR101498371B1
    • 2015-03-03
    • KR1020130077224
    • 2013-07-02
    • 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
    • 미요시도모유끼오시마다까유끼야나기다요헤이기무라히로끼미야꼬시겐지
    • H01L29/78H01L21/336
    • H01L29/7818H01L29/0692H01L29/0696H01L29/0847H01L29/1045H01L29/1095H01L29/42368H01L29/7816H01L29/7819H01L29/7835
    • 본 발명의 과제는, LDMOSFET의 전류 성능에 부작용을 미치는 경우가 적고, LDMOS 기생 다이오드의 애노드층으로부터의 캐리어 주입량을 억제하고, 기생 다이오드의 역방향 회복 내량을 향상시키는 것에 있다. 개시된 LDMOSFET은, 반도체 영역의 표면층에, 선택적으로 필드 산화막이 형성되고, 필드 산화막이 존재하지 않는 위치에 있어서, 제1 도전형의 급전 영역으로 형성되는 제1 반도체 영역과, 반대의 도전형인 제2 도전형의 웰 영역 및 그 상층에 형성된 제1 도전형 및 제2 도전형의 급전 영역으로 형성되는 제2 반도체 영역을 구비한 반도체 기판과, 게이트 산화막을 개재하여 상기 웰 영역에 대향하도록 배치된 게이트 전극을 갖고, 상기 급전 영역은, 길이 방향 단부에 있어서, 필드 산화막에 대해, 거리를 두고 급전 영역이 형성되어 있고, 바람직하게는, 상기 급전 영역은, 길이 방향으로, 소정의 간격을 두고, 단속적으로 형성되고, 본 급전 영역이, 제1 반도체 영역에 적용되는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明的一个目的是减少来自LDMOS寄生二极管阳极层的注入载流子的数量并提高寄生二极管的反向恢复能力,这对LDMOSFET的电流性能几乎没有不利影响。 在公开的LDMOSFET中,在半导体区域的表面层上选择性地形成场氧化物膜,并且由第一导电型电源区域和第二导电型的第二半导体区域形成第一半导体区域 经由栅氧化膜与具有第一导电类型,并且形成在形成于所述阱区域和导电类型的上层的导电类型的所述进料区域中的第二半导体区域的半导体衬底的栅极结构中,对置所述阱区 具有电极,所述进料区,在纵向端部,在球场上的氧化膜,在距离和电源区域中形成时,优选的是,进料区是,在纵向方向上,以预定的间隔,间歇地 并且电流馈送区域被施加到第一半导体区域。
    • 9. 发明公开
    • 반도체 장치
    • 半导体器件
    • KR1020140004589A
    • 2014-01-13
    • KR1020130077224
    • 2013-07-02
    • 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
    • 미요시도모유끼오시마다까유끼야나기다요헤이기무라히로끼미야꼬시겐지
    • H01L29/78H01L21/336
    • H01L29/7818H01L29/0692H01L29/0696H01L29/0847H01L29/1045H01L29/1095H01L29/42368H01L29/7816H01L29/7819H01L29/7835
    • The objective of the present invention is to reduce the circumstances that bring about adverse effects on a current performance of an LDMOSFET, suppress the amount of carrier implantation from an anode layer of an LDMOS parasitic diode, and improve reverse recovery withstand of the parasitic diode. The disclosed LDMOSFET includes: a semiconductor substrate having a first semiconductor region formed of a feeding region of a first conduction type at a position where a field oxide film is not present on a surface layer of a semiconductor region in which the field oxide film is selectively formed, and a second semiconductor region formed of a well region of a second conduction type which is an opposite conduction type, and feeding regions of the first and second conduction types formed on an upper layer of the well region; and a gate electrode that faces the well region through a gate oxide film. The feeding region is formed at a distance from the field oxide film at an end portion of a longitudinal direction, and desirably, the feeding region is intermittently formed at given intervals in the longitudinal direction, and the feeding region is applied to the first semiconductor region. [Reference numerals] (24) P-type drift layer; (25,28) P-type feeding layer; (26) N-type well layer; (27) N-type feeding layer; (29) Gate electrode; (30) Element separation region
    • 本发明的目的是减少对LDMOSFET的当前性能造成不利影响的情况,抑制从LDMOS寄生二极管的阳极层的载流子注入量,并提高寄生二极管的反向恢复耐受性。 所公开的LDMOSFET包括:具有第一半导体区域的半导体衬底,该第一半导体区域由半导体区域的表面层上不存在场氧化物膜的位置处的第一导电类型的馈电区形成,其中场氧化膜被选择性地 形成的第二半导体区域和由相反导电型的第二导电类型的阱区域形成的第二半导体区域以及形成在该阱区的上层上的第一和第二导电类型的馈电区域; 以及通过栅极氧化膜面对阱区的栅电极。 在长度方向的端部形成与场氧化膜一定距离的供电区域,优选在长度方向以规定的间隔间歇地形成供电区域,并且将供电区域施加到第一半导体区域 。 (附图标记)(24)P型漂移层; (25,28)P型供料层; (26)N型阱层; (27)N型供料层; (29)栅电极; (30)元件分离区域