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1. 发明公开

KR1020150079466A 포지셔닝 프레임 구조체 审中-实审
标题翻译：定位框架结构
公开(公告)号：KR1020150079466A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020140193614
申请日：2014-12-30
申请人： 센사타 테크놀로지스 (창저우) 씨오., 엘티디
发明人： 우티안슌 , 후앙쳉웨이 , 수샤오치
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/68 , G01D11/245 , G01D11/30 , G01P1/026 , G01P3/488 , H01L21/67353 , H01L21/02
摘要： 내부에규정된제1 챔버를구비하고, IC 포지셔닝자석이 IC 캐리어의제1 챔버내에배치되는, IC의센터링및 포지셔닝을위한, 포지셔닝프레임구조체가개시되어있다. 상기포지셔닝프레임구조체는, 상기 IC 포지셔닝자석에대한상기 IC의센터링과포지셔닝을제공하기위해, IC 포지셔닝자석위에배치된 IC를더 포함하고, 상기 IC는 IC 홀더상에유지된다. 캐리어상의포지셔닝자석과 IC의센터링및 포지셔닝을제어하는데본 발명이사용될수 있다. 포지셔닝자석은 IC보다크게이루어질수 있다. 또한, IC의후속동작을용이하게하기위한큰 에어갭이얻어질수 있다. 또한, 접착제를사용하는동작없이, 본발명의기술적솔루션은동작의비용을절감한다.
摘要翻译：公开了一种用于定位和定心IC的定位框架结构，其中第一限定室被布置在内部，IC定位磁体布置在IC载体的第一室内。定位框架结构包括设置在IC定位磁体上的更多IC，以提供用于IC定位磁体的IC的定位和居中。 IC保持在IC支架上。本发明可用于控制IC和定位磁铁在载体上的定位和定心。定位磁铁可以比IC大。此外，可以获得大的气隙以有效地执行IC的下一操作。此外，本发明的技术方案通过去除使用粘合剂的方法来降低操作成本。

2. 发明公开

KR1020150023649A 물체를 열처리하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于热处理物体的装置和方法
公开(公告)号：KR1020150023649A
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：KR1020157000232
申请日：2013-07-09
申请人： 쌩-고벵 글래스 프랑스
发明人： 휘르판거마틴 , 요스트스테판 , 팜요르그
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67393 , F27B5/16 , F27B2005/062 , F27B2005/162 , F27D7/06 , F27D2007/063 , H01L21/67353 , H01L21/324
摘要： 본 발명은, 특히 기밀 방식으로 폐쇄될 수 있고 중공 공간을 둘러싸는 케이싱을 가지는 물체, 특히 코팅된 기판을 열처리하기 위한 장치에 관한 것이고, 중공 공간은 구획 벽을 가지고, 구획 벽에 의해서 중공 공간이 물체 수용을 위한 가공 공간과 중간 공간으로 하위 분할되고, 구획 벽은 하나의 또는 복수의 개구부를 구비하고, 그러한 개구부는 가공 공간 내에서의 물체의 열처리에 의해서 생성된 기체 물질이 가공 공간으로부터 중간 공간으로 확산하는 것에 대한 배리어로서 작용하도록 하는 방식으로 형성된다. 케이싱은 그러한 케이싱을 능동적으로 냉각하기 위해서 냉각 장치에 커플링된 적어도 하나의 케이싱 섹션을 가지고, 구획 벽은 물체와 냉각되는 케이싱 섹션 사이에 배열된다. 또한, 발명은 물체의 열처리를 위한 장치 내에서 확산 배리어로서 구획 벽을 이용하는 것 및 물체의 열처리를 위한 상응하는 방법에 관한 것이다.

3. 发明公开

KR1020150002750A 기판 케이스 세정 장치 有权
标题翻译：基板清洗装置
公开(公告)号：KR1020150002750A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：KR1020147030883
申请日：2013-09-13
申请人： 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤
发明人： 사카시타도시야
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673 , B08B9/20
CPC分类号： B08B9/205 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B9/0861 , G03F1/66 , H01L21/02041 , H01L21/304 , H01L21/67051 , H01L21/67057 , H01L21/67173 , H01L21/67353 , H01L21/67703 , H01L21/6773 , H01L21/02 , H01L21/302 , H01L21/677
摘要： 재치대로부터 지지대로의 이재를 복잡하게 하는 일 없이 간단하고 쉽게 하고, 또한 지지대로의 위치 결정도 용이하게 행할 수가 있도록 한다.
부스(10) 내에 기판 케이스 C의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 세정 탱크(40, 50)를 구비하고, 부스(10) 내에서 기판 케이스 C를 지지하는 지지대(20)를 설치하고, 기판 케이스 C의 각 부품을 지지대(20)와 세정 탱크(40, 50)의 사이에서 반송하는 반송 기구를 구비하고, 부스(10)의 개구(11)의 외부에 기판 케이스 C가 재치 가능한 재치대(13)을 설치하고, 재치대(13)와 지지대(20)의 사이에서 기판 케이스 C를 이재하는 이재 기구(30)를 설치하고, 이재 기구(30)를, 지지대(20)를 탑재하고 재치대(13)측으로 진출하여 재치대(13)와의 기판 케이스 C의 수취 및 인도를 행하는 진출 위치 R1, 및 부스(10) 내로 후퇴하여 반송 기구와의 사이에서 기판 케이스 C의 인도 및 수취를 행하는 후퇴 위치 R2의 2위치로 이동 가능하게 했다.

4. 发明公开

KR1020140069364A 레티클 포드 有权
标题翻译： RETICLE POD
公开(公告)号：KR1020140069364A
公开(公告)日：2014-06-09
申请号：KR1020147013210
申请日：2006-09-27
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 콜보우스티븐피. , 맥뮬렌케빈 , 티벤앤써니엠. , 쿠스즈매튜 , 앤더센크리스챤 , 왕후아핑 , 시제브스키마이클 , 존슨마이클엘. , 핼브마이어데이빗엘. , 리스타드죤
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/48
CPC分类号： B65D85/48 , G03F1/66 , H01L21/67353 , H01L21/67359 , H01L21/67383 , H01L21/67386
摘要： 본 발명에 따르면, 확산 장벽을 제공하기 위해 웨이퍼 또는 레티클과 협동하는, 예를 들어 내부에 수납된 웨이퍼 또는 레티클과의 최소의 접촉을 포함한 지지 구조물 및 환경 제어 수단을 제공하는 용기가 웨이퍼 또는 레티클의 면 상에서의 입자 정착을 경감시킨다. 용기는 웨이퍼 또는 레티클이 놓이는 돌출부를 구비한 편평하고 연마된 표면을 갖는 기부를 포함한다. 돌출부는 웨이퍼 또는 레티클과의 최소의 접촉을 부여하며 웨이퍼 또는 레티클을 기부 위에 현수시켜서 이들 사이에 갭을 제공하는, 구와 같은 형태이다. 갭은 기부의 편평하고 연마된 표면으로부터 웨이퍼 또는 레티클을 격리시키지만, 갭 내로의 입자의 이동을 억제하도록 치수가 결정되어, 웨이퍼 또는 레티클의 민감한 표면의 오염을 방지한다. 확산 필터는 필터 매체가 없이 압력 균등화를 제공한다. 상부 커버 상의 이동 가능한 레티클 핀이 레티클 구속을 제공한다. 이중 수납 포드 실시예가 격리 및 보호를 제공한다.
摘要翻译：提供支撑结构和环境控制装置的容器包括例如与其中包含的晶片或掩模版的最小接触，其与晶片或掩模版配合以提供扩散屏障，以抵抗沉淀在晶片或掩模版的表面上的颗粒。该容器包括具有平坦抛光表面的底座，该表面具有突起，晶片或标线贴在其上。突起具有几何形状，例如球体，其赋予与晶片或掩模版的最小接触，并且将晶片或掩模版悬挂在基座上，从而在其间提供间隙。间隙将晶片或掩模版与基底的平坦抛光表面隔离，但其尺寸设计成抑制颗粒迁移到间隙中，从而防止晶片或掩模版的敏感表面的污染。扩散过滤器提供压力平衡，无需过滤介质。顶盖上的可移动的分划板针可提供掩模版限制。双重安全壳实施例提供了进一步的隔离和保护。

5. 发明授权

KR101323420B1 레티클 ＳＭＩＦ 포드 내에서의 환경 제어 방법 有权
标题翻译：一个虚拟SMIF POD环境控制
公开(公告)号：KR101323420B1
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：KR1020077025460
申请日：2006-04-04
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 할브마이어데이비드엘. , 심슨앤소니 , 구드윈윌리엄엠. , 키스코비치올레그피. , 키엘바소톰 , 망가니엘로프랑크
IPC分类号： B01D47/12 , B03C3/00 , H01L21/673 , B01D50/00
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L21/67353 , H01L21/67359 , H01L21/67386 , H01L21/67389 , H01L21/67393
摘要： 본 발명은 결정 성장 유발 오염물이 실질적으로 없는 상태로 유지되는 레티클을 지지하는 제어 환경을 제공하도록 구성되는 표준화 기계 인터페이스(SMIF)에 관한 것이다. 따라서, 미립자를 여과할 수 있고 가스상 오염물을 흡착할 수 있는 필터 요소를 갖는 적층 필터가 제공된다. 필터는 레티클 표면의 영역의 실질적으로 1/2 이상인 표면적으로써 대체로 평면형으로 성형되는 내향으로 향하는 표면을 갖는다. 내향으로 향하는 표면은 레티클 패턴화된 표면에 근접 상태로 위치되고, 레티클 패턴화된 표면적의 상당한 부분인 영역을 갖는다. SMIF 포드에는 또한 제어 환경으로부터 오염물을 제거하고 또한 필터를 재생하기 위해 제어 환경 내에 매우 건조한 가스를 주입하도록 구성되는 세정 시스템이 제공된다.
레티클 SMIF 포드, 포드 기부 부분, 포드 쉘 부분, 레티클 지지부, 레티클 안내부, 필터 프레임, 적층 필터

6. 发明授权

KR101258419B1 낱장 수납 용기 및 그것에 사용하는 완충 지지 부재 失效
标题翻译：单薄板储存容器和防震支撑构件
公开(公告)号：KR101258419B1
公开(公告)日：2013-04-26
申请号：KR1020060041316
申请日：2006-05-09
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤
发明人： 니시자카고이치 , 에무라요이치 , 오바야시다다히로
IPC分类号： H01L21/68 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67353 , H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67383 , H01L21/67386
摘要： 매우 얇은 박판 웨이퍼를 안전하고 또한 확실하게 지지할 수 있음과 아울러 용이하게 출납할 수 있도록 하기 위한 것으로서, 내부에 1장의 박판 웨이퍼4A를 수납하는 용기 본체2와, 당해 용기 본체2에 부착되는 뚜껑3을 구비한 낱장 수납 용기1이다. 용기 본체2 측에 위치하여 뚜껑3을 저면 측에서 지지하는 저면 지지부재35와, 뚜껑3 측에 위치하여 상측 표면 측에서 지지하는 표면 지지부재36을 구비한다. 저면 지지부재35는, 박판 웨이퍼4A의 중앙부분을 지지하는 중앙 지지부37과, 외주부분을 지지하는 외주 지지부38과, 지름방향 외측으로부터 지지하는 가장자리 지지부39와, 상기 중앙 지지부37과 외주 지지부38을 일체적으로 결합하는 환상판부40을 구비한다. 표면 지지부재36은, 박판 웨이퍼4A를 상측으로부터 덮는 원반부43과, 상기 저면 지지부재35와 함께 상기 박판 웨이퍼4A를 협지하도록 하여 지지하는 접촉부44, 45를 구비한다.

7. 发明公开

KR1020130025316A 프로브 카드 컨테이너 有权
标题翻译：探针卡容器
公开(公告)号：KR1020130025316A
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：KR1020110131656
申请日：2011-12-09
申请人： 가부시키가이샤 교도
发明人： 사이토모리히로
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67363 , H01L21/67353
摘要： PURPOSE: A probe card container is provided to implement a thin film container by reducing a distance between the bottom of the container and a lower side of a member. CONSTITUTION: A main case(1) includes a top case part and a bottom case part to store a probe card. A handle(8a) is formed on one side of the main case. A member(10) is formed on a mounting surface of the main case and prevents the movement of the main case. A roller(9) downwardly protrudes from a corner between the mounting surface and the other surface of the main case and supports the movement of the main case.
摘要翻译：目的：提供探针卡容器以通过减小容器的底部和构件的下侧之间的距离来实现薄膜容器。构成：主壳体（1）包括顶部壳体部分和底部壳体部分以存储探针卡。手柄（8a）形成在主壳体的一侧。构件（10）形成在主壳体的安装表面上并且防止主壳体的移动。辊（9）从安装表面与主壳体的另一表面之间的角部向下突出并且支撑主壳体的移动。

8. 发明授权

KR100882393B1 웨이퍼 억제가 활성화된 문이 구비된 웨이퍼 콘테이너 有权
标题翻译：带门启动的水龙头限位器
公开(公告)号：KR100882393B1
公开(公告)日：2009-02-05
申请号：KR1020087011984
申请日：2004-11-16
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 번스,존 , 풀러,매튜에이. , 킹,제프리제이. , 포비스,마틴엘. , 스미스,마크브이.
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67353 , B65D51/26 , B65D2251/04 , H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67383
摘要： 웨이퍼를 보관하는 콘테이너는 상면부, 하면부, 한 쌍의 마주보는 측면부들, 후면부, 후면부를 마주보고 문틀에 의해 정해진 개구된 전면부를 포함한다. 문은 개구된 전면부를 닫기 위해 문틀에 밀봉되게 맞물려진다. 콘테이너는 고정된 웨이퍼 억제 수단을 포함하는 인클로저부에서 동작할 수 있는 웨이퍼 억제 수단을 더 포함한다. 동작할 수 있는 웨이퍼 억제 수단은 문 틀에서 문이 맞물려지고 떨어짐에 따라 선택적으로 위치될 수 있으며, 그리고 문이 문 틀에서 떨어질 때 콘테이너부터 웨이퍼의 삽입 또는 제거를 할 수 있게 위치되며, 그리고 문이 문 틀에서 맞물려 질 때는 콘테이너에 웨이퍼를 억제하는 고정된 웨이퍼 억제수단에 협력하도록 위치된다.
웨이퍼, 콘테이너, 문, 스프링, 피스톤, 걸쇠

9. 发明公开

KR1020090009648A 반도체 기판을 이송하기 위한 캐리어 박스 및 이를 포함하는 케이스 有权
标题翻译：用于传输半导体衬底的载体盒
公开(公告)号：KR1020090009648A
公开(公告)日：2009-01-23
申请号：KR1020070073107
申请日：2007-07-20
申请人： 하현주
发明人： 하현주
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67346 , H01L21/67353 , H01L21/67386 , H01L21/6773 , Y10S414/14
摘要： A carrier box for transferring a semiconductor substrate and a case including the same are provided to compress the substrate, which is wrapped up in a single sheet unit and is moved, by a sealing member and stably fix the substrate within a groove, thereby preventing damage and contamination from external environment. A body member(110) comprises a groove(115) for placing a semiconductor substrate(50). A cover member(140) is arranged on the groove. A sealing member(125) is inserted between the body member and the cover member. The sealing member compresses an edge of the semiconductor substrate and fixes the semiconductor substrate into the groove. The sealing member comprises a void(135) in its inside so as to have elasticity. The sealing member comprises a protrusion(130) inserted into a trench formed in the bottom of the cover member. The sealing member covers the hole by being screw-coupled with the cover member and controls a height of the sealing member. Therefore, the sealing member can be vacuum-absorbed or detached onto or from the body member and the semiconductor substrate.
摘要翻译：提供了用于传送半导体衬底的载体盒和包括其的壳体，以通过密封构件将被包裹在一个单元中并被移动的衬底压缩，并将衬底稳定地固定在沟槽内，从而防止损坏和外部环境的污染。本体构件（110）包括用于放置半导体衬底（50）的凹槽（115）。盖构件（140）布置在凹槽上。密封构件（125）插入在主体构件和盖构件之间。密封构件压缩半导体衬底的边缘并将半导体衬底固定到凹槽中。密封构件在其内部包括空隙（135）以具有弹性。密封构件包括插入形成在盖构件的底部中的沟槽中的突起（130）。密封构件通过与盖构件螺纹联接而覆盖孔，并控制密封构件的高度。因此，可以将密封构件真空吸附或分离到主体构件和半导体衬底上。

10. 发明授权

KR100868744B1 레티클을 보호하기 위해 2개 파트 커버 및 박스를 사용하는시스템 有权
标题翻译：使用两个部件盖和一个箱子进行保护的系统和方法
公开(公告)号：KR100868744B1
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：KR1020070018542
申请日：2007-02-23
申请人： 에이에스엠엘 홀딩 엔.브이.
发明人： 델푸에르토,산티아고 , 루프스트라,에릭알. , 마사,안드레 , 키스,두아네피. , 알리칸,압둘라 , 올슨,우드로우제이. , 페로체,요나단에이치.
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/24 , G03F1/62 , G03F1/64 , G03F1/66 , G03F7/70741 , G03F7/70983 , G03F9/7011 , H01L21/67353 , H01L21/67359 , Y10S414/135
摘要： 마스크가 공기로 운반되는 파티클에 의한 오염되는 것을 방지하기 위한 시스템 및 방법을 제공한다. 이 시스템 및 방법은, 2개 파트 커버에 고착된 레티클을 제공한다. 2개 파트 커버는 오염물로부터 레티클을 보호하는데 사용되는 탈착가능한 보호 장치를 포함한다. 이 커버는 리소그래피 시스템을 통해 대기 영역으로부터 진공 영역으로 커버를 이송하는데 사용될 수 있는 포드(pod) 또는 박스내에 수용될 수 있다. 진공 영역내에 있는 동안, 탈착가능한 커버는 레티클 상의 패턴이 웨이퍼 상에 형성될 수 있는 노광 공정 동안 이동될 수 있다.
로드록, 디포더, 마스크 수용부, 리드

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