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1. 发明授权

KR101258385B1 지능형 프로브 카드 아키텍처 有权
标题翻译：智能探针卡建筑
公开(公告)号：KR101258385B1
公开(公告)日：2013-04-30
申请号：KR1020127017228
申请日：2005-04-21
申请人： 폼팩터, 인코포레이티드
发明人： 밀러찰스에 , 크라프트매튜이 , 헨슨로이제이
IPC分类号： H01L21/66 , G01R1/073
CPC分类号： G01R31/31905 , G01R1/07385 , G01R1/36 , G01R31/2889 , G01R35/00
摘要： 웨이퍼 테스트 시스템용 프로브 카드에는 웨이퍼 상의 복수의 DUT를 테스트하기 위해서 테스트 시스템 컨트롤러 채널을 팬 아웃(fan out) 시킬 수 있으면서, 테스트 결과에 대한 팬 아웃의 바람직하지 않은 영향을 제한시키는 다수의 온 보드(on board) 특징이 구비된다. 프로브 카드의 온 보드 특징은 다음의 1 이상을 포함한다: (a) 불량 DUT를 절연시키기 위해 각각의 DUT 입력과 직렬로 레지스터를 배치함으로써 제공된 DUT 신호 절연; (b) 불량 DUT로부터 파워 서플라이를 절연시키기 위해서 각각의 DUT 파워 핀과 직렬로 된 스위치, 전류 리미터, 또는 조정기에 의해서 제공되는 DUT 파워 절연; (c) 온 보드 마이크로-컨트롤러 또는 FPGA를 사용하여 제공되는 자가 테스트; (d) 부가적인 온 보드 테스트 회로를 수용하기 위해서 프로브 카드의 일부로서 제공되는 적층 도터 카드; (e) 베이스 PCB와 도터 카드 사이 또는 베이스 PCB와 테스트 시스템 컨트롤러 사이의 인터페이스 와이어의 수를 최소화하기 위한, 베이스 PCB와 프로브 카드의 도터 카드 또는 테스트 시스템 컨트롤러 사이의 인터페이스 버스의 이용.

2. 发明授权

KR101110237B1 프로브 카드 및 검사장치 有权
标题翻译：探测卡和检测仪器
公开(公告)号：KR101110237B1
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：KR1020100031183
申请日：2010-04-06
申请人： 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
发明人： 이시가키,타츠오 , 호시,카츠지 , 아카히라,아키히사
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07385 , G01R1/36
摘要： 본 발명의 목적은, 자동 전환기구의 제어를 프로브 카드 내에서 하여 테스터로부터 독립시키고, 테스터로부터의 제어신호 수에 제한되지 않고, 검사대상을 늘리는데 있다. 본 발명은, 검사대상물의 전극에 접촉시키는 복수의 프로브와, 상기 프로브와 테스터를 전기적으로 접속하는 전원채널을 갖춘 프로브 카드 및 검사장치이다. 각 전원채널을 각각 복수의 전원 배선부로 분기시켜 상기 각 프로브에 각각 접속시킴과 동시에, 과전류 등의 전기적 변동에 근거해 상기 전원 배선부를 차단하는 자동 전환기구와, 상기 검사대상물 중에 불량품이 존재함으로써 상기 전기적 변동이 발생한 경우, 그 전기적 변동을 검출하는 전기적 변동 검출기구와, 상기 전기적 변동 검출기구로 전기적 변동을 검출했을 때, 그 전기적 변동이 발생한 전원 배선부를 상기 자동 전환기구로 차단시키는 제어기구를 갖추었다.

3. 发明公开

KR1020100016139A 활성 프로브 집적 회로를 이용한 전자 회로 테스팅 有权
标题翻译：使用有源探头集成电路测试电子电路
公开(公告)号：KR1020100016139A
公开(公告)日：2010-02-12
申请号：KR1020097022897
申请日：2008-04-03
申请人： 스캐니메트릭스 인크.
发明人： 스루프스키,스티븐 , 무어,브라이언 , 셀라탐비,크리스토퍼브이.
IPC分类号： G01R31/28 , G01R31/3185 , G01R1/067
CPC分类号： G01R1/06711 , G01R1/06722 , G01R1/06727 , G01R1/07307 , G01R1/07342 , G01R1/07385 , G01R31/3025 , G01R31/318505 , G01R31/31905
摘要： A method and apparatus are provided for transmission/reception of signals between automatic test equipment (ATE) and a device under test (DUT). A probe card has a plurality of associated proximate active probe integrated circuits (APIC) connected to a plurality of probes. Each APIC interfaces with one or more test interface points on the DUT through probes. Each APIC receives and processes signals communicated between the ATE and the DUT. Low information content signals transmitted from the ATE are processed into high information content signals for transmission to the probe immediately adjacent the APIC, and high information content or time critical signals received by the APIC from the DUT are transmitted as low information content signals to the ATE. Because the APIC is immediately adjacent the probe there is minimum loss or distortion of the information in the signal from the DUT.
摘要翻译：提供了一种用于在自动测试设备（ATE）和被测设备（DUT）之间发送/接收信号的方法和装置。探针卡具有连接到多个探针的多个相关联的邻近有源探针集成电路（APIC）。每个APIC通过探头与DUT上的一个或多个测试接口点相连接。每个APIC接收和处理在ATE和DUT之间通信的信号。从ATE发送的低信息内容信号被处理成高信息内容信号，以传输到紧邻APIC的探测器，并且APIC从DUT接收到的高信息内容或时间关键信号被作为低信息内容信号发送到ATE 。由于APIC紧邻探头，所以来自DUT的信号中信息的最小损耗或失真最小。

4. 发明公开

KR1020080025127A 자동 테스트 장치 및 이의 동작 방법 无效
标题翻译：具有测试通道可用性鉴定的测试仪器
公开(公告)号：KR1020080025127A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：KR1020087000299
申请日：2006-07-07
申请人： 베리지 (싱가포르) 피티이. 엘티디.
发明人： 베르톨리도메니코 , 아르카파브리지오
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07385 , G01R31/2806 , G01R31/2834 , G01R31/31901 , G01R31/31908
摘要： Automated semiconductor device tester apparatus includes a plurality of tester channels for devices under test. The apparatus includes an automated switching module, for switching an unused operative tester channel in the place of any tester channel found to be malfunctioning. The apparatus provides continued test operation irrespective of tester channel malfunctioning. ® KIPO & WIPO 2008
摘要翻译：自动半导体器件测试仪器包括用于被测器件的多个测试器通道。该装置包括自动切换模块，用于切换未使用的操作测试器通道，以代替发现有故障的任何测试器通道。该设备提供持续的测试操作，无论测试仪通道故障如何。 ®KIPO＆WIPO 2008

5. 发明公开

KR1020090031663A 기판 검사 방법 및 기판 검사 장치 无效
标题翻译：董事会检查方法和板检查设备
公开(公告)号：KR1020090031663A
公开(公告)日：2009-03-27
申请号：KR1020087026200
申请日：2007-06-19
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
发明人： 야마시타무네히로
IPC分类号： G01R31/28 , H05K13/08 , G01R31/02
CPC分类号： G01R1/07385 , G01R31/2879 , G01R31/025 , G01R31/2863 , G01R31/2886
摘要： [PROBLEMS] A board inspecting method and device for inspecting the electrical connections of the wiring patterns on a board by a reduced number of inspections in a shortened inspection time. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] Electrical connections of the wiring patterns provided on a board (10) and divided into first to third sets are inspected according to net information stored in a storage section. The first set includes wiring patterns for interconnections between upper terminals (T) on the front side (11). The second set includes wiring patterns for interconnections only between upper terminals (B) on the back side (12). The third set includes wiring patterns for interconnections only between the upper terminal (T) on the front side (11) and the lower terminals (B) on the back side (12). The wiring patterns of the first set and those of the second one are inspected in parallel. One contact (32) has two contact terminals (32a, 32b). Prior to the electrical connection inspection, contact inspection of the contact terminals (32a, 32b) and the terminals (T, B) is performed depending on the electrical connection between the two contact terminals (32a, 32b).
摘要翻译： [问题]在缩短的检查时间内，通过减少检查次数来检查电路板上的布线图案的电连接的电路板检查方法和装置。用于解决问题的手段根据存储在存储部中的净信息来检查设置在板（10）上并分成第一至第三组的布线图案的电连接。第一组包括用于在前侧（11）上的上端子（T）之间的互连的布线图案。第二组包括仅在背面（12）上的上端子（B）之间进行互连的布线图案。第三组包括用于仅在前侧（11）上的上端子（T）和后侧（12）上的下端子（B）之间的互连的布线图案。并联检查第一组和第二组的布线图案。一个触点（32）具有两个接触端子（32a，32b）。在电连接检查之前，接触端子（32a，32b）和端子（T，B）的接触检查根据两个接触端子（32a，32b）之间的电连接进行。

6. 发明公开

KR1020070100835A 프로브 카드상의 신호를 라우팅하기 위한 프로그래머블장치 无效
标题翻译：可编程设备用于探测卡上的信号
公开(公告)号：KR1020070100835A
公开(公告)日：2007-10-11
申请号：KR1020077020035
申请日：2006-01-30
申请人： 폼팩터, 인코포레이티드
发明人： 그레니쳐데인씨 , 헨슨로이제이 , 밀러찰스에이
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66 , G01R1/067
CPC分类号： G01R31/31926 , G01R1/07385 , G01R31/2889
摘要： A probe card of a wafer test system includes one or more programmable Ics, such as FPGAS (150), to provide routing from individual test signal channels to one of multiple probes (16). The programmable ICs can be placed on a base PCB (30) of the probe card, or on a daughtercard (100) attached to the probe card. With programmability, the PCB (30) can be used to switch limited test system channels away from unused probes (16). Programmability further enables a single probe card to more effectively test devices having the same pad array, but having different pin-outs for different device options. Reprogrammability also allows test engineers to re-program as they are debugging a test program. Because the programmable IC (150) typically includes buffers that introduce an unknown delay, in one embodiment measurement of the delay is accomplished by first programming the programmable IC (150) to provide a loop back path to the test system so that buffer delay can be measured, and then reprogramming the programmable IC (150) now with a known delay to connect to a device being tested.
摘要翻译：晶片测试系统的探针卡包括一个或多个可编程IC，例如FPGAS（150），以提供从各个测试信号通道到多个探针（16）之一的路由。可编程IC可以放置在探针卡的基板（30）上，或者放置在附接到探针卡的子卡（100）上。具有可编程性，PCB（30）可用于将有限的测试系统通道从未使用的探头（16）切换出去。可编程性进一步使单个探针卡更有效地测试具有相同焊盘阵列但具有不同引脚的不同器件选项的器件。可重编程序还允许测试工程师在调试测试程序时进行重新编程。因为可编程IC（150）通常包括引入未知延迟的缓冲器，在一个实施例中，通过首先对可编程IC（150）进行编程以提供到测试系统的回送路径来实现延迟的测量，使得缓冲器延迟可以测量，然后以可知的延迟对可编程IC（150）进行重新编程，以连接到正被测试的设备。

7. 发明公开

KR1020070006917A 지능형 프로브 카드 아키텍처 无效
标题翻译：智能探针卡建筑
公开(公告)号：KR1020070006917A
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：KR1020067024380
申请日：2005-04-21
申请人： 폼팩터, 인코포레이티드
发明人： 밀러찰스에이 , 크라프트매튜이 , 헨슨로이제이
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/02
CPC分类号： G01R31/31905 , G01R1/07385 , G01R1/36 , G01R31/2889 , G01R35/00
摘要： A probe card for a wafer test system is provided with a number of on board features enabling fan out of a test system controller channel to test multiple DUTs on a wafer, while limiting undesirable effects of fan out on test results. On board features of the probe card include one or more of the following: (a) DUT signal isolation provided by placing resistors in series with each DUT input to isolate failed DUTs; (b) DUT power isolation provided by switches, current limiters, or regulators in series with each DUT power pin to isolate the power supply from failed DUTs; (c) self test provided using an on board micro-controller or FPGA; (d) stacked daughter cards provided as part of the probe card to accommodate the additional on board test circuitry; and (e) use of a interface bus between a base PCB and daughter cards of the probe card, or the test system controller to minimize the number of interface wires between the base PCB and daughter cards or between the base PCB and the test system controller. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：用于晶片测试系统的探针卡具有多个板上特征，使扇出测试系统控制器通道以测试晶片上的多个DUT，同时限制扇出对测试结果的不期望的影响。探头卡的板载功能包括以下一个或多个功能：（a）通过将电阻器与每个DUT输入串联放置来隔离故障DUT提供的DUT信号隔离; （b）与每个DUT电源引脚串联的开关，限流器或稳压器提供的DUT电源隔离，以将电源与失效的DUT隔离; （c）使用板上微控制器或FPGA提供的自检; （d）作为探针卡的一部分提供的堆叠子卡，以适应额外的板上测试电路; 和（e）在基板PCB和探针卡的子卡之间使用接口总线或测试系统控制器以最小化基板PCB和子卡之间或基板和测试系统控制器之间的接口线的数量。 ®KIPO＆WIPO 2007

8. 发明授权

KR101499047B1 활성 프로브 집적 회로를 이용한 전자 회로 테스팅 有权
标题翻译：使用有源探头集成电路测试电子电路
公开(公告)号：KR101499047B1
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：KR1020097022897
申请日：2008-04-03
申请人： 스캐니메트릭스 인크.
发明人： 스루프스키,스티븐 , 무어,브라이언 , 셀라탐비,크리스토퍼브이.
IPC分类号： G01R31/28 , G01R31/3185 , G01R1/067
CPC分类号： G01R1/06711 , G01R1/06722 , G01R1/06727 , G01R1/07307 , G01R1/07342 , G01R1/07385 , G01R31/3025 , G01R31/318505 , G01R31/31905
摘要： 자동 테스트 장비(automatic test equipment:ATE)와 피시험 장치(device under test:DUT) 사이에서 신호들의 송수신을 위한 방법 및 장치가 제공된다. 프로브 카드는 복수의 프로브 카드들과 연결되는 근접한 연관된 복수의 활성 프로브 집적 회로들(active probe integrated circuits:APICs)을 구비한다. 각각의 APIC는 프로브들을 통해 DUT 상의 하나 이상의 테스트 인터페이스 점들과 인터페이싱한다. 각각의 APIC는 상기 ATE와 DUT 사이에서 통신되는 신호들을 수신 및 처리한다. 상기 ATE에서 송신되는 낮은 정보의 콘텐츠 신호들은 상기 APIC에 바로 인접한 프로브로 송신하기 위해 높은 정보의 콘텐츠 신호들로 처리되고, 상기 DUT로부터 상기 APIC에 의해 수신된 높은 정보의 콘텐츠 또는 시간 중요 신호들은 상기 ATE로 낮은 정보의 콘텐츠 신호들로서 전송된다. 상기 APIC가 상기 프로브에 바로 인접하여 있기 때문에, 상기 DUT로부터의 신호에서 정보의 손실 및 왜곡이 최소화된다.
전자 회로 테스팅, 활성 프로브 집적 회로(APIC), 자동 테스트 장비(ATE), 피시험 장치(DUT), 프로브 배열

9. 发明公开

KR1020080074884A 자동 반도체 웨이퍼 테스트를 위한 반-자동 멀티플렉싱시스템 无效
标题翻译：用于自动半导体波形测试的半自动多路复用系统
公开(公告)号：KR1020080074884A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：KR1020087011648
申请日：2006-11-03
申请人： 퀘리타우, 인크.
发明人： 모스타쉬드,샤리아 , 앤더슨,마이클엘.
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/02
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/07385
摘要： A semi-automatic multiplexing system for automated semiconductor wafer testing employs a jumper block for each device type in the semiconductor wafer to be tested, each jumper block having inputs for receiving a test input/output line, a plurality of block contacts corresponding to pads of a device to be tested, and manually set connectors or jumper cables for selectively interconnecting jumper block inputs to block contacts. A multiplexer is then used for selectively connecting tester input/output lines to the jumper blocks, thereby reducing the number of relays required for connecting test signals to the devices in the semiconductor wafer.
摘要翻译：用于自动化半导体晶片测试的半自动多路复用系统对要测试的半导体晶片中的每种器件类型使用跳线块，每个跳线块具有用于接收测试输入/输出线的输入，对应于测试输入/输出线的多个块触点要测试的设备，并手动设置连接器或跳线，用于选择性地将跳线块输入连接到阻塞触点。然后，多路复用器用于将测试器输入/输出线选择性地连接到跳线块，从而减少将测试信号连接到半导体晶片中的器件所需的继电器数量。

10. 发明授权

KR100850274B1 반도체 칩 테스트를 위한 프로브 카드 및 이를 이용한반도체 칩 테스트 방법 失效
标题翻译：用于半导体芯片测试的探针卡及其半导体芯片测试方法
公开(公告)号：KR100850274B1
公开(公告)日：2008-08-04
申请号：KR1020070001010
申请日：2007-01-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 배성훈 , 김중현 , 안영수 , 최호정 , 김명섭
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： G01R1/07385 , G01R1/07342
摘要： 본 발명은 반도체 칩 테스트를 위한 프로브 카드 및 이를 이용한 반도체 칩 테스트 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는, 반도체 칩을 전기적으로 테스트하기 위한 프로브 카드를 구현함에 있어서, 웨이퍼에 형성되어 있는 반도체 칩들중에서 임의로 선택된 다수개의 반도체 칩들을 원스텝 공정으로 EDS 테스트할 수 있도록 상기 임의로 선택된 반도체 칩들에 대응되는 프로브 블록을 선택할 수 있도록 한다. 이처럼, 임의로 선택된 다수개의 반도체 칩들에 대한 EDS 테스트를 원스텝 공정으로 용이하게 실시할 수 있게 됨으로써, 장비 효율성을 증대시키고, 웨이퍼의 특성을 나타내는 데이터에 있어서도 통계적 객관성을 확보할 수 있게 된다.
반도체 칩, EDS, 프로브 카드, 프로브 블록, 프로브 니들

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