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1. 发明授权

KR101910575B1 적외선 검출기 및 적외선 이미지 센서 有权
公开(公告)号：KR101910575B1
公开(公告)日：2018-10-22
申请号：KR1020130003139
申请日：2013-01-10
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남성현 , 노숙영 , 박해석 , 윤석호 , 홍현규
IPC分类号： G01J5/12
CPC分类号： H01L27/16 , G01J5/0853 , G01J5/12 , H01L35/325
摘要： 서모파일방식의적외선검출기및 이를구비하는적외선이미지센서가개시된다. 개시된적외선검출기는, 기판상에마련되는플라즈몬공진기또는메타물질공진기를포함하는적어도하나의적외선흡수체와, 상기적어도하나의적외선흡수체에의해발생된열에너지를전달받아기전력을발생시키는복수의열전쌍을포함한다.

2. 发明公开

KR1020170061097A 폐쇄 공간을 위한 복합 기능 적외선 방사 화재 감지기 审中-实审
标题翻译：用于封闭空间的多功能红外辐射火灾探测器
公开(公告)号：KR1020170061097A
公开(公告)日：2017-06-02
申请号：KR1020160158703
申请日：2016-11-25
申请人： 에이.엠. 제네럴 컨트랙터 에스.피.에이.
发明人： 로렌쪼니,지오반니피에트로
IPC分类号： G01J5/20 , G08B17/12
CPC分类号： G06K9/00771 , G01J5/0018 , G01J5/089 , G01J5/12 , G01J2005/0077 , G01J2005/123 , G06T7/70 , G08B17/125 , H04N5/247 , H04N5/33
摘要： 굴곡지지면(12) 및복수의적외선방사센서(14)를포함하는적외선방사화재감지기. 각각의센서(14)는개별시야방향(SD)과상기개별시야방향(SD) 주변으로정의되는입체시야각(β)을가지는적외선방사-감응엘리먼트(16)의판형어레이(15)를포함하하고, 여기서상기입체시야각은상기센서들(14)에연관되는시야각을정의한다. 상기센서들(14)의개별시야방향(SD)은중심포인트(C)에서서로간에교차하고, 상기센서들(14)는상기중심포인트(C)에대하여소정의각 거리를가지며서로떨어져있으며, 상기센서들(14)의상기입체시야각(β)은상기센서들의시야각이서로겹치지않도록균일하고좁은폭을갖는다.
摘要翻译：（12）和多个红外辐射传感器（14）。每个传感器14包括红外辐射敏感元件16的板状阵列15，红外辐射敏感元件16具有各自的观看方向SD和围绕单独的观看方向SD定义的立体视角θ，其中立体视角限定与传感器（14）相关联的视角。传感器14的各个观察方向SD在中心点C处相互交叉，并且传感器14相对于中心点C以预定角距离彼此间隔开，传感器14的上部立体视角θ是均匀且窄的，以使得悬置传感器的视角彼此不重叠。

3. 发明公开

KR1020170024456A 적외선 검출기 및 이를 포함한 온도 센서 审中-实审
标题翻译：红外探测器及其红外热传感器
公开(公告)号：KR1020170024456A
公开(公告)日：2017-03-07
申请号：KR1020150119753
申请日：2015-08-25
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이성호 , 유상용 , 정재연 , 김영일
IPC分类号： G01J5/12 , G01J5/06
CPC分类号： G01J5/0853 , G01J5/12
摘要： 본발명의일 실시예에따른적외선검출기는열 에너지를전달받아기전력을발생시키는복수의열전쌍및 적외선이조사되는상기열전쌍의일면에구비되며, 적외선을흡수하는흡수체를포함하며, 복수의상기열전쌍은방사상으로구비되며, 상기흡수체는열접점인상기열전쌍의일단부에구비될수 있다. 또한, 본발명의다른실시예에따른온도센서는상기적외선검출기및 상기적외선검출기가결합되는기판을포함할수 있다.
摘要翻译：红外检测器包括被配置为在接收热能时产生电动势的热电偶和被配置为吸收红外光并设置在每个热电偶的表面上的吸收体。热电偶是径向设置的，并且吸收器设置在相应热电偶的第一端，第一端被配置为热连接。

4. 发明授权

KR101701275B1 높은 충전 레벨을 갖는 써모파일 적외선 센서 구조물 有权
标题翻译：具有高填充水平的热像红外传感器结构
公开(公告)号：KR101701275B1
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：KR1020147025845
申请日：2013-01-18
申请人： 하이만 센서 게엠베하
发明人： 헤르만,프랑크 , 지몬,마리온 , 레네케,빌헬름 , 포르크,보도 , 슈토르크,칼하인츠 , 뮐러,미하엘 , 쉬페르트에커,요르크
IPC分类号： G01J5/08 , G01J5/02 , G01J5/12
CPC分类号： G01J5/12 , G01J5/023 , G01J5/06 , G01J5/0815 , G01J5/0853
摘要： 본발명은매질(15)로채워진하우징내에서높은충전레벨을갖는써모파일적외선-센서구조물(thermopile infrared sensor structure)에관한것으로서, 이센서구조물은캐리어기판(11)으로이루어지며, 이캐리어기판은외부로의전기접속부(28, 28')를구비하고, 광학어셈블리(13)에의해폐쇄되어있으며, 이때하우징내에서캐리어기판(11) 상에는센서칩(14)이제공되어있고, 이센서칩은다수의열전기센서소자구조물(16)을구비하며, 이들열전기센서소자구조물의소위 "핫콘택(10)(hot contact)"은개별격판(3)(diaphragm) 상에있고, 이들격판은열 전도성이양호한실리콘지지몸체(24) 내에서각각하나의캐비티(9)(cavity) 위에뻗어있으며, 이경우 "콜드콘택(25)(cold contact)"은상기실리콘지지몸체(24) 상에또는상기실리콘지지몸체(24) 근처에있다. 본발명의과제는, 칩의크기가작은경우에높은열적분해능력및 특히높은충전레벨을갖는써모파일-적외선-어레이-센서(센서셀)를제공하는것이다. 이와같은센서는바람직하게정상압력또는감소된압력을갖는기체상태에서작동되어야만하고, 최고-진공하에서하우징을폐쇄하기위한복잡한기술없이경제적인방식으로대량생산될수 있어야만한다. 이와같은상황은캐비티(9) 위로걸쳐지는, 센서소자구조물(16)의각각의개별격판(3) 위에복사선콜렉터구조체(17)가있음으로써달성된다.
摘要翻译：在填充有介质（15）的壳体中具有高填充水平的热电堆红外传感器结构，由具有到外部的电连接（28,28'）并且用光学组件（13）封闭的载体基板（11）），其中传感器芯片（14）被施加到壳体中的载体基板（11）上，该芯片具有多个热电传感器元件结构（16），所谓的“热触点”（10）位于在具有良好导热性的硅载体（24）中穿过相应空腔（9）的单个膜片（3）上，其中“冷触点”（25）位于硅载体上或其附近身体（24）。本发明解决的问题是指定热电堆红外阵列传感器（传感器单元），其具有小的芯片尺寸，具有高热分辨率和特别高的填充水平。该传感器优选用于在正常压力或减压下的气体中操作，并且旨在能够在超高真空下以成本有效的方式批量生产，而不需要用于关闭壳体的复杂技术。这通过以下事实来实现：辐射收集器结构（17）位于跨越空腔（9）的传感器元件结构（16）的每个单独的隔膜（3）上方。

5. 发明公开

KR1020160016140A 오디오 입출력 포트에 장착할 수 있는 외장형 온도 센서 장치, 모바일 온도 센서 시스템 및 온도 센서 구동 방법 有权
标题翻译：适用于音频输入/输出端口，移动热传感器系统的连接热传感器装置和用于驱动热传感器装置的方法
公开(公告)号：KR1020160016140A
公开(公告)日：2016-02-15
申请号：KR1020140099669
申请日：2014-08-04
申请人： 주식회사 템퍼스
发明人： 이병수
IPC分类号： G01J5/12 , G01J5/18 , G01K7/22 , G01K1/02 , G01K1/20
CPC分类号： G01J5/12 , G01J5/18 , G01J2005/126 , G01K1/028 , G01K1/22 , G01K7/24
摘要： 본발명의실시예들에따른외장형온도센서장치는오디오입출력포트의마이크로폰단자를통해인가되는마이크로폰구동신호로부터소정의직류전원전압을생성하는전원전압생성부, 오디오입출력포트의제1 오디오출력단자를통해인가되는소정주파수의제1 센서구동신호를기초로자체온도에따라결정된파형을가지는제1 센서출력신호를생성하는자체온도검출부, 직류전원전압을입력받아동작하고, 오디오입출력포트의제2 오디오출력단자를통해인가되는소정주기의제2 센서구동신호를기초로자체온도와측정대상사이의온도차에따라결정된파형을가지는제2 센서출력신호를생성하는온도차검출부를포함할수 있다.
摘要翻译：根据本发明实施例的外部温度传感器装置包括：电源电压发生器单元，用于从通过音频装置的输入/输出端口的麦克风端子施加的麦克风致动信号产生预定量的DC电压; 基于通过音频的输入/输出端口的第一音频输出端施加的预定频率的第一传感器致动信号，生成具有由其自身温度确定的波形的第一传感器输出信号的自温度检测器单元设备; 以及温度差检测器单元，其通过DC电力的输入操作，并且基于第二传感器致动信号产生具有由所述同步温度和目标温度之间的温度差确定的波形的第二传感器输出信号通过音频装置的输入/输出端口的第二音频输出端施加的预定频率。

6. 发明公开

KR1020150039707A 복합 센서 및 복합 센서 모듈 审中-实审
标题翻译：复合传感器和复合传感器模块
公开(公告)号：KR1020150039707A
公开(公告)日：2015-04-13
申请号：KR1020147027680
申请日：2013-04-16
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 오지마후미카즈 , 마세미츠히토 , 사쿠라이나오토
IPC分类号： G01J5/04 , G01J5/02 , H01L27/146 , H04N5/33
CPC分类号： G01J5/12 , G01C3/02 , G01J1/0407 , G01J3/36 , G01J5/0275 , G01J5/045 , G01J5/0859 , G01J2005/123 , G01S7/4816 , G01S17/023 , H01L27/14649 , H01L2224/48091 , H04N5/33 , H04N5/374 , H01L2924/00014
摘要： 복합센서(11)에서는, 열화상센서(16)의배열영역 R1과거리화상센서(31)의배열영역 R2가적층방향에서보았을때 겹치도록배치되어있다. 이때문에, 열화상과거리화상을동축에서취득하는것이가능해져, 열화상과거리화상사이의화상불일치를억제할수 있다. 추가로, 복합센서(11)에서는, 제1 기판(13)과제2 기판(14)의적층에의해서형성되는밀봉체 S1에의해서열 화상센서(16)의주위의공간이진공상태로밀봉되어있다. 이것에의해, 거리화상센서(31)의주위에서발생하는열이열 화상센서(16) 측에영향을미치는것을방지할수 있다. 이것에더하여, 열화상센서(16)를배열하는기판과거리화상센서(31)를배열하는기판이별체로되어있으므로, 설계의자유도를확보할수 있다.

7. 发明授权

KR101427431B1 적외선 흡수체 및 열형 적외선 검출기 有权
标题翻译：红外吸收和热红外探测器
公开(公告)号：KR101427431B1
公开(公告)日：2014-08-08
申请号：KR1020087018861
申请日：2007-01-24
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 오지마후미카즈 , 스즈키준 , 기타우라류스케
IPC分类号： G01J5/02
CPC分类号： H01L27/14669 , G01J5/04 , G01J5/046 , G01J5/08 , G01J5/0853 , G01J5/12
摘要： 적외선 흡수막(2)은 TiN을 포함하는 제1 층(21)과, Si계 화합물을 포함하는 제2 층(22)을 구비하고, 제2 층(22)측으로부터 입사하는 적외선의 에너지를 열로 변환한다. TiN은 8㎛보다 짧은 파장역의 적외선에 대한 흡수율이 높은 한편, 8㎛보다 긴 파장역의 적외선에 대해서는 반사율이 높다. 따라서, 장파장역의 적외선에 대한 흡수율이 좋은 Si계 화합물층을 TiN층 위에 적층하면, TiN층에 있어서 흡수율이 낮은 파장역의 적외선을 Si계 화합물층에 있어서 바람직하게 흡수할 수 있는 동시에, Si계 화합물층을 투과하려고 하는 적외선을 TiN층의 계면에서 반사하여 Si계 화합물층으로 되돌릴 수 있다.

8. 发明授权

KR101407701B1 적외선 검출 장치의 2점 보정을 위한 보정 장치 有权
标题翻译：用于红外检测装置二点校正的校正装置
公开(公告)号：KR101407701B1
公开(公告)日：2014-06-13
申请号：KR1020130034729
申请日：2013-03-29
申请人： (주)이오시스템
发明人： 맹경호 , 정우철
IPC分类号： G01J5/12
CPC分类号： G01J5/12 , G01J5/0853 , G01J5/0887 , G01J2005/123
摘要： A correction device for infrared detection comprises: a first thermoelectric cooling device for forming a first set temperature; a second thermoelectric cooling device for forming a second set temperature; a first metal plate for maintaining the first set temperature; a second metal plate for maintaining the second set temperature; and a power supply unit for supplying power to the first and second thermoelectric cooling devices.
摘要翻译：一种用于红外检测的校正装置包括：用于形成第一设定温度的第一热电冷却装置; 用于形成第二设定温度的第二热电冷却装置; 用于保持第一设定温度的第一金属板; 用于维持第二设定温度的第二金属板; 以及用于向第一和第二热电冷却装置供电的电源单元。

9. 发明授权

KR101344560B1 온도 검출 장치, 가열 장치 有权
标题翻译：温度传感装置，加热装置
公开(公告)号：KR101344560B1
公开(公告)日：2013-12-26
申请号：KR1020117017553
申请日：2010-01-27
申请人： 가부시키가이샤 알박
发明人： 요시모토츠요시 , 야마네가츠미 , 오오노데츠히로 , 미조구치다카히로
IPC分类号： F27D21/00 , F27D19/00 , G01K1/16 , H05B3/00
CPC分类号： F27D19/00 , F27B5/04 , F27B17/0016 , F27D11/12 , F27D21/0014 , G01J5/0007 , G01J5/02 , G01J5/025 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/061 , G01J5/08 , G01J5/0893 , G01J5/12
摘要： 대형피가열대상기판의온도를제어하는기술을제공한다. 가열실 (6) 내부에복사가열수단 (14) 과, 피가열대상기판 (12) 이대향하는영역의측방에온도검출장치 (20) 가배치되어있다. 가열장치 (2) 는가열실 (6) 과, 복사가열수단 (14) 과, 전원장치 (25) 와, 기판유지장치 (11) 와, 제어장치 (15) 와, 온도검출장치 (20) 를갖고있다. 제어장치 (15) 에는제어프로그램이내장되어있고, 제어프로그램에의해전원장치 (25) 가복사가열수단 (14) 의투입전력을제어하고, 온도검출장치 (20) 가갖는열전대 (21) 에의해검출되는온도측정용기판 (22) 의온도를설정온도가되도록발열시킨다. 또, 온도검출장치 (20) 에는순환로 (23) 가밀착되어배치되어있고, 냉각장치 (29) 에의해순환로 (23) 에냉매체를흐르게하면온도측정용기판 (22) 의온도를설정온도로부터초기온도로냉각시킬수 있다.

10. 发明公开

KR1020030022734A 비접촉 온도측정용 센서 有权
标题翻译：传感器温度测量
公开(公告)号：KR1020030022734A
公开(公告)日：2003-03-17
申请号：KR1020020054747
申请日：2002-09-10
申请人： 페르킨엘머 옵토일렉트로닉스 게엠베하
发明人： 쉬에페르덱커,죄르크 , 하우스네르,마르틴 , 레네케,윌헬름 , 시몬,마리온
IPC分类号： G01J5/20
CPC分类号： G01J5/02 , G01J5/0225 , G01J5/024 , G01J5/04 , G01J5/046 , G01J5/10 , G01J5/12 , G01J5/20 , H01L2224/48091 , H01L2924/10253 , H01L2924/30107 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: A sensor for temperature measurement without making contact is provided to reduce the size thereof with identical sensitivity or supply the same-sized sensor with increased-sensitivity sensor. CONSTITUTION: A sensor(20) for a contact-free temperature measurement without making contact measures the temperature by using a heat-sensitive area(14) formed onto and/or underneath a membrane(13) that is arranged on a recess(18). The recess is etched by a reactive ion etching method and the side of the recess is fully defined laterally by side walls(15) arranged at an angle between 80 and 100 degrees relative to the membrane, adjoining side walls being arranged at an angle of at least 40 degrees relative to one another.
摘要翻译：目的：提供用于不接触的温度测量传感器，以便以相同的灵敏度来减小其尺寸，或者用增加灵敏度的传感器提供相同尺寸的传感器。构成：用于无接触温度测量的传感器（20），其通过使用形成在设置在凹部（18）上的膜（13）上和/或下方的热敏区域（14）来测量温度，。通过反应离子蚀刻方法蚀刻凹部，并且凹部的侧面被侧壁（15）完全限定，侧壁（15）相对于膜以80至100度的角度布置，相邻的侧壁以相对于彼此至少40度。

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