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1. 发明授权

KR101840066B1 고순도 합성 실리카 및 그로부터 제조된 반도체 지그와 같은 아이템 有权
标题翻译：诸如高纯度合成硅石和由其制成的半导体夹具等物品
公开(公告)号：KR101840066B1
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：KR1020137000457
申请日：2011-07-08
申请人： 헤라우스 쿼츠 유케이 리미티드
发明人： 코아페스,리차드벤자민 , 먼디,알렌 , 세이스,랜조지
IPC分类号： C03B19/14 , C01B33/02 , C30B29/06
CPC分类号： C03B19/1492 , C03B19/1438 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2207/34 , C03B2207/52 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , Y02P40/57 , Y10T428/131
摘要： 이발명은외경 400 mm이고내경이 300 mm인투명합성유리질실리카글라스를제공하기위한것이다. 잉고트는기포와 100 ㎛이상의협잡물이거의없고불순물이 100 ppB를넘지않으며, 5 ppM 이하의염소농도를갖고있다. 또한본 발명은밀도가 0.4 g/cm이상인수트바디가산화저항성맨드렐에서증착되도록하는방법을제공한다. 수트바디는흑연, 실리콘카바이드, 실리콘카바이드피복실리콘카바이드또는유리질실리카로구성된맨드렐에서진공또는환원가스의존재하에진공또는헬륨분위기에서투명다공성글라스로소성된다.

2. 发明授权

KR100689889B1 플라즈마 내식성이 우수한 석영유리 및 그 제조방법 有权
标题翻译：具有抗等离子体腐蚀性的QUARTZ玻璃及其制造方法
公开(公告)号：KR100689889B1
公开(公告)日：2007-03-08
申请号：KR1020057016843
申请日：2005-06-09
申请人： 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤
发明人： 사토,다츠히로 , 요시다노부마사 , 엔도마모루
IPC分类号： C03C3/06
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/01 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B19/09 , C03B19/1438 , C03B19/1453 , C03B20/00 , C03B2201/36 , C03C2201/36 , C03C2203/10 , C03C2203/22 , C03C2203/40
摘要： 반도체 제조에 사용되는 플라즈마 반응용 지그 재료로서 플라즈마 내식성, 특히 불소계 플라즈마 가스에 대한 내식성이 우수하고, 실리콘 웨이퍼에도 이상을 주지 않고 사용 가능한 석영유리 및 석영유리 지그, 또한 그 제조방법을 제공한다. 2종류 이상의 금속원소를 합해서 0.1~20중량% 함유하는 석영유리로서, 상기 금속원소가 주기율표 제 3B족에서 선택된 적어도 1종류인 제 1의 금속원소와, Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, 란타노이드 및 악티노이드로 이루어진 군에서 선택된 적어도 1종류인 제 2의 금속원소로 이루어지고, 제 2의 금속원소 각각의 최대농도는 2.0중량% 이하가 되도록 했다.
플라즈마, 내식성, 석영유리, 지그, 실리콘 웨이퍼

3. 发明公开

KR1020130094283A 고순도 합성 실리카 및 그로부터 제조된 반도체 지그와 같은 아이템 审中-实审
标题翻译：高纯度合成二氧化硅及其制造的半导体夹具
公开(公告)号：KR1020130094283A
公开(公告)日：2013-08-23
申请号：KR1020137000457
申请日：2011-07-08
申请人： 헤라우스 쿼츠 유케이 리미티드
发明人： 코아페스,리차드벤자민 , 먼디,알렌 , 세이스,랜조지
IPC分类号： C03B19/14 , C01B33/02 , C30B29/06
CPC分类号： C03B19/1492 , C03B19/1438 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2207/34 , C03B2207/52 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , Y02P40/57 , Y10T428/131
摘要： 이 발명은 외경 400 mm이고 내경이 300 mm인 투명 합성 유리질 실리카 글라스를 제공하기 위한 것이다. 잉고트는 기포와 100 ㎛ 이상의 협잡물이 거의 없고 불순물이 100 ppB를 넘지 않으며, 5 ppM 이하의 염소 농도를 갖고 있다. 또한 본 발명은 밀도가 0.4 g/cm
3
이상인 수트 바디가 산화 저항성 맨드렐에서 증착되도록 하는 방법을 제공한다. 수트 바디는 흑연, 실리콘 카바이드, 실리콘 카바이드 피복 실리콘 카바이드 또는 유리질 실리카로 구성된 맨드렐에서 진공 또는 환원 가스의 존재 하에 진공 또는 헬륨 분위기에서 투명 다공성 글라스로 소성된다.
摘要翻译：公开了外径大于400mm，内径大于300mm的透明合成玻璃石英玻璃的中空铸锭。锭基本上没有直径大于100um的气泡或夹杂物，具有不超过100ppB的任何单独的金属杂质，并且氯浓度小于5ppM。还公开了生产这种锭的方法，其中密度大于0.4g / cm 3的多孔烟灰体沉积在抗氧化心轴上。在真空下或在还原气体存在下，烟灰体在包括石墨，碳纤维增强碳，碳化硅，硅浸渍的碳化硅，碳化硅涂覆的石墨或玻璃状二氧化硅的心轴上脱水，然后烧结成透明无孔玻璃在真空或氦气氛中。

4. 发明公开

KR1020060087405A 플라즈마 내식성이 우수한 석영유리 및 그 제조방법 有权
标题翻译：具有抗等离子体腐蚀性的QUARTZ玻璃及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060087405A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：KR1020057016843
申请日：2005-06-09
申请人： 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤
发明人： 사토,다츠히로 , 요시다노부마사 , 엔도마모루
IPC分类号： C03C3/06
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/01 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B19/09 , C03B19/1438 , C03B19/1453 , C03B20/00 , C03B2201/36 , C03C2201/36 , C03C2203/10 , C03C2203/22 , C03C2203/40
摘要： A quartz glass that as a jig material for plasma reaction employed in the production of semiconductors, excels in plasma corrosion resistance, especially corrosion resistance to F based plasma gas, and that can be used without causing any abnormality of silicon wafer; a relevant quartz glass jig; and a process for producing them. There is provided a quartz glass comprising two or more types of metal elements in a total amount of 0.1 to 20 wt.%, wherein the metal elements are composed of a first metal element consisting of at least one member selected from among those of Group 3B of the periodic table and a second metal element consisting of at least one member selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids and actinoids, with the proviso that the maximum concentration of each of second metal elements is
摘要翻译：作为半导体制造中用于等离子体反应的夹具材料的石英玻璃，具有优异的等离子体耐腐蚀性，特别是对F系等离子体气体的耐腐蚀性，可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 相关石英玻璃夹具; 以及生产它们的过程。提供总量为0.1〜20重量％的两种以上金属元素的石英玻璃，其中金属元素由选自第3B族中的至少一种的第一金属元素构成和由选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素中的至少一种构成的第二金属元素，条件是最大浓度的每个第二金属元素<2.0重量％。

5. 发明公开

KR1020020064506A 평탄한 감쇄이득을 갖는 광감쇄기용 광섬유 无效
标题翻译：具有平坦衰减增益的光纤衰减器的光纤
公开(公告)号：KR1020020064506A
公开(公告)日：2002-08-09
申请号：KR1020010005024
申请日：2001-02-02
申请人： (주)옵토네스트 , 광주과학기술원
发明人： 한원택 , 김진행
IPC分类号： G02B6/00
CPC分类号： G02B6/266 , C03B19/1438 , C03B37/01838 , C03B2201/10 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , G02B6/122
摘要： PURPOSE: An optical fiber for an optical attenuator having a flat attenuation gain is provided, which has a flat attenuation characteristics at an optical signal band by doping a pair of metal ions having light absorption yields of a negative slope and a positive slope into a core of the optical fiber. CONSTITUTION: An optical fiber comprises a cladding layer(12) and a core layer(13). At least more than one component among the first metal ions of Fe, Cr and Mn, whose light absorption characteristics is decreased in a fixed wavelength band, and the second metal ion of a Cobalt(Co) component, whose light absorption characteristics is increased in the fixed wavelength band, are co-doped to the core layer. The second metal ion is formed by mixing a Ni component to the Co component. And an Al component also is co-doped to the core layer.
摘要翻译：目的：提供一种用于具有平坦衰减增益的光衰减器的光纤，其通过将具有负斜率和正斜率的光吸收产率的一对金属离子掺入到核心中而在光信号频带处具有平坦的衰减特性的光纤。构成：光纤包括包覆层（12）和芯层（13）。在固定波长带中光吸收特性降低的Fe，Cr和Mn的第一金属离子中的至少多于一种成分，以及光吸收特性增加的钴（Co）成分的第二金属离子固定波长带共同掺杂到核心层。通过将Ni组分与Co组分混合形成第二金属离子。并且Al组分也被共掺杂到芯层。

6. 发明授权

KR100163195B1 희토류 원소가 도우프된 석영계 유리 및 그 제조방법 失效
标题翻译： QUARTZ玻璃与稀土元素和生产
公开(公告)号：KR100163195B1
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019910701275
申请日：1991-02-05
申请人： 후루까와덴끼고오교 가부시끼가이샤
发明人： 오요베아끼라 , 나까무라가즈노리 , 가기노부유끼 , 사사끼야스마사
IPC分类号： C03C3/06
CPC分类号： C03C13/045 , C03B19/1438 , C03B19/1453 , C03B37/01433 , C03B37/01446 , C03B37/016 , C03B37/01838 , C03B37/01853 , C03B2201/12 , C03B2201/31 , C03B2201/36 , C03C3/06 , C03C3/095 , C03C4/12 , C03C23/0095 , C03C2201/12 , C03C2201/31 , C03C2201/3435 , C03C2201/3476 , C03C2201/36 , C03C2203/50 , Y10S65/16 , Y10S501/90
摘要： 본 발명의 희토류원소가 도우프된 석영계 유리는 희토류 원소와 Al에 더하여 불소가 도우프된 유리 조성으로 이루어지므로 실용적인 발광특성, 고증폭이득, 광대역화, 소자의 소형화, 석영계 유리 상호의 융착성 내지 융착접속성 등의 특성을 구비하고 있다.
특히, 본 발명의 희토류 원소가 도우프된 석영계 유리는 제조 프로세스 상에 있어서 이 종류의 도우프된 석영계 유리 특유의 결정화를 동반하지 않으므로 투명한 것은 물론 잔류 기포가 없다.
본 발명에 따른 희토류 원소가 도우프된 석영계 유리의 제조방법은 다공질 유리체의 형성 수단과 용액 함침법이 조합된 것이므로 능동적 광소자용으로서, 고순도이고 투명성이 구수하며 희토류원소와 Al이 함께 도우프된 희토류 원소가 도우프된 석영계 유리를 용이하게 제작할 수 있다.

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