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1. 发明公开

KR1020150102968A 평면 밖으로 움직일 수 있는 가동성 질량체를 포함하는 마이크로-전자기계 디바이스 审中-实审
标题翻译：包含可移动平面的移动质量的微电子设备
公开(公告)号：KR1020150102968A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：KR1020157014317
申请日：2013-12-24
申请人： 트로닉스 마이크로시스템즈
发明人： 부아요,프랑수아-자비에르 , 라우비,레미 , 조단,기욤
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , G01P15/08 , G01P15/12 , G01P15/125 , G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01L1/10
CPC分类号： G01P15/0802 , B81B3/0051 , B81B2201/025 , B81B2203/0154 , B81B2203/0163 , B81B2203/051 , B81B2203/058 , G01P15/123 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0817 , G01P2015/0871
摘要： 본 발명은 힘 센서로서 사용되는 마이크로전자기계 디바이스에 관한 것으로, 이러한 디바이스는 스프링들 혹은 가변성 요소들에 의해 하나 혹은 복수의 정착 영역들에 연결되는 가동성 질량체와, 그리고 가동성 질량체의 변위를 검출하기 위한 수단을 포함하고, 여기서 가동성 질량체는 바깥쪽 프레임 및 안쪽 몸체를 구비하고, 바깥쪽 프레임과 안쪽 몸체는 적어도 두 개의 가요성 부분들에 의해 연결되며, 적어도 두 개의 가요성 부분들은 바깥쪽 프레임의 두 개의 상이한 측면들에 고정되는 분리 스프링들을 형성한다.

2. 发明授权

KR100706319B1 METHOD FOR MANUFACTURING SCANNING MICROMIRROR 无效
标题翻译：制造扫描微镜的方法
公开(公告)号：KR100706319B1
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：KR20060006930
申请日：2006-01-23
申请人： LG ELECTRONICS INC
发明人： JI CHANG HYEON
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/105 , B81B2203/0154 , B81C1/00142 , B81C1/00388 , B81C2201/013
摘要： 본 발명은 소정의 전류를 인가하여 입력광을 반사시키는 마이크로미러를 가동시킴으로써 반사광의 경로를 변조하는 광 스캐닝 소자에 사용되는 스캐닝 마이크로미러의 제조 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 미러부, 상기 미러부를 일정 거리를 두고 둘러싸는 김블, 상기 김블 외부의 기판, 상기 미러부와 상기 김블 사이를 연결하는 한 쌍의 내부토션바 및 상기 김블과 외부기판의 사이를 연결하는 한 쌍의 외부토션바를 구비하여 1축 또는 2축 구동할 수 있는 스캐닝 마이크로미러를 제조함에 있어서, 기판의 윗면에는 절연박막층을, 아랫면에는 제1 식각 마스크층을 각각 형성하는 단계; 상기 기판을 상기 제1 식각 마스크층의 패턴을 따라 아랫면으로부터 소정의 깊이로 식각하는 단계; 상기 절연박막층 위에 도선을 부착하는 단계; 상기 절연박막층 및 도선 위에 제2 식각 마스크층을 형성하는 단계; 및 상기 기판 및 절연박막층을 상기 제2 식각 마스크층의 패턴을 따라 관통식각하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면 구동시 반사면의 동적 변형이 억제되어 양질의 반사광을 제공하는 스캐닝 마이크로미러의 제조가 가능하고, 단순한 마이크로머시닝 기술 및 반도체 일반 공정의 조합으로 스캐닝 마이크로미러를 제작할 수 있다.
광 스캐닝 소자, 스캐닝 마이크로미러, 식각 마스크

3. 发明公开

KR1020060061887A 마이크로 요동 소자 有权
标题翻译：微型装置
公开(公告)号：KR1020060061887A
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020050108894
申请日：2005-11-15
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 고우마노리나오 , 츠보이오사무 , 소네다히로미츠 , 우에다사토시 , 사와키잎페이
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2203/0154 , B81C1/00142 , B81C1/00388 , H02N1/008 , Y10S359/904
摘要： A micro oscillating element is formed integrally from a material substrate made up of a first conductive layer, a second conductive layer and an insulating layer disposed between the first conductive layer and the second conductive layer. This oscillating element includes an oscillation section, an oscillation section supporting frame, and a torsional joining section. The oscillation section includes a movable functional section. The torsional joining section joins the oscillation section and the frame, and also defines an oscillation axis for oscillating action of the oscillation section. The movable functional section is a part formed in the first conductive layer, while the frame is a part formed in the second conductive layer.

4. 发明授权

KR100413793B1 마이크로미러 액튜에이터 失效
标题翻译： 마이크로미러액튜에이터
公开(公告)号：KR100413793B1
公开(公告)日：2003-12-31
申请号：KR1020000073483
申请日：2000-12-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박해석 , 박준협
IPC分类号： B81B7/04
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0043 , B81B3/0054 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/0346 , B81B2203/0384 , B81B2203/04 , B81B2203/058 , H02N1/006 , Y10S359/904
摘要： A micromirror actuator is provided. The micromirror actuator includes a substrate, posts formed to a predetermined height on the substrate and spaced a predetermined distance apart, a torsion bar fixed to the posts, a mirror coupled to the torsion bar, and a groove including an inclined contact surface and formed in the substrate. Here, the inclined contact surface contacts the lower bottom surface of the mirror when the mirror is rotated. The micromirror actuator can be applied to a structure in which a plurality of micromirror actuators are arrayed side-by-side and is capable of precisely and stably maintaining the rotation angle of a mirror, particularly, stably maintaining the inclination angle of the mirror irrespective of an increase in the strength of a magnetic field.
摘要翻译：提供微镜致动器。所述微镜致动器包括衬底，在所述衬底上形成预定高度并且以预定距离分开的柱，固定到所述柱的扭杆，耦合到所述扭杆的反射镜以及包括倾斜接触表面的凹槽，所述凹槽形成在衬底。这里，倾斜的接触表面在镜子旋转时接触镜子的下底表面。微镜致动器可以应用于多个微镜致动器并排排列并且能够精确并稳定地保持镜的旋转角度的结构，特别是稳定地保持镜的倾斜角度，而不管磁场强度的增加。

5. 发明公开

KR1020020044377A 마이크로미러 액튜에이터 失效
标题翻译：微镜致动器
公开(公告)号：KR1020020044377A
公开(公告)日：2002-06-15
申请号：KR1020000073483
申请日：2000-12-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박해석 , 박준협
IPC分类号： B81B7/04
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0043 , B81B3/0054 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/0346 , B81B2203/0384 , B81B2203/04 , B81B2203/058 , H02N1/006 , Y10S359/904
摘要： PURPOSE: A micro-mirror actuator is provided to maintain rotating angle of mirror accurate and stable, while maintaining tilt angle of the mirror constant despite of the change of intensity of magnetic field. CONSTITUTION: A micro-mirror actuator comprises a substrate(10); posts(20a,20b) arranged onto the substrate, such that two posts are spaced apart from each other; a torsion bar(31) having both ends fixed to the upper end of the posts; a mirror(30) coupled to the torsion bar; and a magnet(40) arranged at the mirror. The substrate has a channel(50) that has a tilt contact surface(51) where the bottom surface of the substrate contacts when the mirror is rotated. The tilt contact surface of the channel has a clamping electrode for generating an electrostatic force with respect to the substrate.
摘要翻译：目的：提供微镜致动器以保持镜的旋转角度准确和稳定，同时保持镜的倾斜角恒定，尽管磁场强度的变化。构成：微镜致动器包括基底（10）; 布置在基板上的柱（20a，20b），使得两个柱彼此间隔开; 扭杆（31），其两端固定在柱的上端; 耦合到所述扭杆的反射镜（30）; 以及布置在所述反射镜处的磁体（40）。衬底具有通道（50），该通道（50）具有倾斜接触表面（51），其中当反射镜旋转时，衬底的底表面接触。通道的倾斜接触表面具有用于相对于基板产生静电力的夹紧电极。

6. 发明公开

KR1020060080985A 마이크로미러 액튜에이터 失效
标题翻译：微镜致动器
公开(公告)号：KR1020060080985A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：KR1020050001278
申请日：2005-01-06
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 노광춘 , 김규식 , 배기덕
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2203/0154 , B81C1/00142 , B81C2201/0105 , B81C2201/0132
摘要： 본 발명의 마이크로미러 액튜에이터는, 일면에 소정 깊이의 트렌치가 형성된 기판과; 트렌치 내에 마련되는 적어도 하나의 하부전극과; 회동위치에 따라서 입사광을 소정 방향으로 반사시키는 마이크로미러와; 마이크로미러를 지지하며, 하나 이상의 하부전극과의 상호작용에 의한 정전력에 의해 회동되는 회동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

7. 发明公开

KR1020060018683A 정전력 구동 스캐닝 마이크로 미러와 그 제조방법 및 이를 이용한 광 스캐닝 장치 有权
标题翻译：静电MEMS扫描微型计算机及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060018683A
公开(公告)日：2006-03-02
申请号：KR1020040067176
申请日：2004-08-25
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 김성혁 , 이영주 , 지창현
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2203/0118 , B81B2203/0154 , B81C1/00142 , B81C1/00388 , B81C2201/013
摘要： 본 발명에 의한 정전력 구동 스캐닝 마이크로미러는 상하로 적층 결합되는 상,하부 기판과, 상기 상부 기판의 중간 공간부 내측에 회동 가능하게 설치되는 미러판과, 상기 미러판의 하면에 형성되어 입력광을 반사시키는 반사면과, 상기 상부 기판의 길이방향 양측 단부와 상기 미러판의 양측 단부 사이에 연결되어 상기 미러판이 회동하도록 지지하는 토션빔과, 상기 하부 기판의 중간부에 상기 미러판이 내측에 삽입되어 회동하도록 형성되는 회동 공간부와, 상기 상부 기판에 상기 양쪽 토션빔의 폭방향 양측으로 형성되는 양측 공간부, 그리고 상기 하부 기판의 중앙 공간부의 길이방향 양측으로 형성되는 양측 공간부에 형성되는 가동 빗살 모양 전극 및 고정 빗살 모양 전극과, 상기 상,하부 기판의 사이에 형성되는 절연층과, 상기 상,하부 기판에 상기 가동 빗살 모양 전극과 고정 빗살 모양 전극에 구동 전압을 인가하기 위하여 형성되는 전극 고정부를 포함하여 구성된다. 본 발명에 의한 정전력 구동 스캐닝 마이크로미러 제조방법은 웨이퍼 형태의 실리콘 하부 기판을 시작 재료로 기판의 상하부에 각각 이 후 식각 공정에서 식각 마스크로 쓰이는 식각 마스크용 박막1,2,3을 형성하고 패터닝하는 단계와, 두 층의 식각 마스크가 형성된 실리콘 하부 기판의 상부면을 소정의 깊이만큼 비등방성 식각하고, 식각 후 식각 마스크2를 제거하는 단계와, 상기 하부 기판 위에 상부 기판를 접합하는 단계와, 상기 상부 기판에 식각 마스크로 쓰일 식각 마스크용 박막4,5를 형성하고 패터닝 한 후 상기 하부 기판을 식각 마스크3을 사용하여 소정의 깊이만큼 비등방성 식 각하는 단계와, 상기 식각 마스크4와 식각 마스크5를 사용하여 상부 기판을 소정의 깊이만큼 비등방성 식각하는 단계와, 상기 식각 마스크5를 제거하고 식각 마스크4를 사용하여 상부 기판을 소정의 깊이만큼 비등방성 식각하여 미러판이 소정의 두께를 갖도록 형성하는 단계와, 상기 식각 마스크4를 제거하고 상,하부 기판의 기판 외곽을 제외한 내측부의 접합면을 식각하여 구조물을 띄우고 미러판 하부에 반사면을 형성하는 단계를 포함하여 구성된다. 이러한 본 발명은 광원으로부터 출사된 빔을 소정의 영역에 주사하여 화상 등의 정보를 결상하거나 위치, 화상 등의 데이터를 읽어 들이는데 사용 가능한 소자로서, 이러한 스캐닝 마이크로미러를 마이크로머시닝 기술 및 반도체 일관 공정 등을 사용하여 제작함으로써 광학적, 기계적 성능이 현저히 향상된 소형의 경량화 된 형태로 구현할 수 있고, 부품 단가를 절감할 수 있으며, 정전력 구동에 의해 구동 전력을 현저히 낮출 수 있다.

8. 发明公开

KR1020050056954A 토션 바아를 구비하는 마이크로 요동 소자 및 마이크로 미러 소자 失效
标题翻译：带摇杆的微型摇臂装置
公开(公告)号：KR1020050056954A
公开(公告)日：2005-06-16
申请号：KR1020057002033
申请日：2002-08-14
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 미시야오유우 , 쯔보이오사무 , 우에다사또시 , 사와끼입뻬이
IPC分类号： G02B26/10 , G02B26/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058 , B81C1/00142 , B81C2201/013
摘要： A micro rocking device comprises a frame (113) and a rocking member (111) connected to the frame (113) through connecting parts (112). Each connecting part (112) has two torsion bars (112a) each having holes (112b). Therefore, the torsion bars (112a) have relatively high rigidity with respect to the frame (113) and relative low rigidity with respect to the rocking member (111).
摘要翻译：微摇摆装置包括通过连接部分（112）连接到框架（113）的框架（113）和摆动构件（111）。每个连接部分（112）具有两个具有孔（112b）的扭杆（112a）。因此，扭杆（112a）相对于框架（113）具有相对较高的刚性并且相对于摆动构件（111）具有相对低的刚度。

9. 发明公开

KR1020040033299A 양극접합을 이용한 광스캐너 및 그 제조방법 失效
标题翻译：光学扫描仪使用阳极结合方法及其制作方法
公开(公告)号：KR1020040033299A
公开(公告)日：2004-04-21
申请号：KR1020040021000
申请日：2004-03-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 고영철 , 이진호 , 이창수
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G02B26/105 , B81B2203/0154 , B81C2201/013 , B81C2201/0176 , H02N1/008
摘要： PURPOSE: An optical scanner using an anodic bonding method and a fabricating method thereof are provided to improve the stability by forming an anodic laminate structure of a dielectric and a glass plate or the anodic laminate structure of the dielectric and a metal layer. CONSTITUTION: An optical scanner using an anodic bonding method includes a rectangular frame(80), a torsion bar(61'), a rectangular scanning mirror(66"), and a driving comb electrode(61"). One or more dielectrics and metal layers are formed between a substrate and a glass plate. The rectangular frame(80) includes an anodic laminate structure having the dielectrics and the metal layers. The torsion bar(61') is extended from the rectangular frame. The rectangular scanning mirror(66") is connected to the torsion bar. The driving comb electrode(61") is formed on a bottom face of the rectangular scanning mirror.
摘要翻译：目的：提供一种使用阳极接合方法的光学扫描仪及其制造方法，通过形成电介质和玻璃板的阳极叠层结构或电介质和金属层的阳极叠层结构来提高稳定性。构成：使用阳极接合方法的光学扫描仪包括矩形框架（80），扭杆（61'），矩形扫描镜（66“）和驱动梳状电极（61”）。在基板和玻璃板之间形成一个或多个电介质和金属层。矩形框架（80）包括具有电介质和金属层的阳极叠层结构。扭杆（61'）从矩形框架延伸。矩形扫描镜（66“）连接到扭杆上，驱动梳状电极（61”）形成在矩形扫描镜的底面上。

10. 发明授权

KR101565684B1 MEMS 센서용 검출모듈 및 이를 포함하는 MEMS 센서 有权
标题翻译：用于MEMS传感器和MEMS传感器的MEMS MEMS检测器模块具有相同的功能
公开(公告)号：KR101565684B1
公开(公告)日：2015-11-03
申请号：KR1020140030544
申请日：2014-03-14
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 한원 , 김종운
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02
CPC分类号： G01P15/123 , B81B3/0048 , B81B2203/0154 , B81B2203/019 , G01P15/08 , G01P2015/0805
摘要： 본발명의일실시예에따른 MEMS 센서용검출모듈은질량체와, 상기질량체와이격되도록구비된고정부와, 상기질량체와고정부를연결하는가요부를포함하고, 상기가요부는상기질량체와상기고정부를연결하는빔인제1 가요부와, 상기제1 가요부에연장되고상기질량체와상기고정부를연결하고상기질량체의변위를제안하는힌지인제2 가요부를포함한다.

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