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    • 2. 发明公开
    • 정전 척을 위한 3D 프린팅된 플라즈마 어레스터
    • 用于静电卡盘的3D打印等离子体避雷器
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    • 정전척을위한어레스터를제작하기위한방법은 3-D 프린터및 전기적으로비전도성인재료를사용하여정전척을위한어레스터의제 1 층들을프린팅하는단계를포함한다. 어레스터의제 1 층들은가스플로우채널의제 1 개구를적어도부분적으로규정한다. 방법은 3-D 프린터및 전기적으로비전도성인재료를사용하여어레스터의중간층들을프린팅하는단계를포함한다. 어레스터의중간층들은가스플로우채널을적어도부분적으로규정한다. 방법은 3-D 프린터및 전기적으로비전도성인재료를사용하여어레스터의제 2 층들을프린팅하는단계를포함한다. 어레스터의제 2 층들은가스플로우채널의제 2 개구를적어도부분적으로규정한다. 어레스터의제 1 개구, 제 2 개구및/또는가스플로우채널중 적어도하나는어레스터의제 1 개구와제 2 개구사이의직접적인가시선 (line of sight) 을방지하도록배치된다.
    • 用于制造用于静电卡盘的制动器的方法包括使用3D打印机和非导电材料印刷用于静电夹持的制动器的第一层。 制气器的第一层至少部分地限定气流通道的第一开口。 该方法包括使用3D打印机和不导电材料来印刷避雷器的中间层。 捕集器的中间层至少部分地限定气体流动通道。 该方法包括使用3D打印机和不导电材料来印刷阻拦器的第二层。 第二层隔离器至少部分地限定气体流动通道的第二开口。 防坠器的第一开口,第二开口和/或气体流动通道中的至少一个被布置成防止避雷器的第一开口和第二开口之间的直接视线。