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    • 2. 发明授权
    • 정밀 프레스 장치
    • 精密压力装置
    • KR101212395B1
    • 2012-12-13
    • KR1020110126829
    • 2011-11-30
    • 가부시키가이샤 히다치 산키시스템
    • 시마오다이스께이노우에가쯔아끼구라따다까시
    • B30B15/16B30B15/18B30B15/22H01L23/00
    • B29C59/02B29C43/36B29C43/56B29C43/58B29C2043/3663B29C2043/563B29C2043/565B29C2043/5808B30B13/00B30B15/0064B30B15/007B30B15/0094B30B15/041B30B15/064
    • 본발명은, 진공챔버내에있어서의프레스가공에있어서, 진공챔버를소형으로하여진공도달시간을단축시키고, 게다가고정밀도의압력제어를행하는정밀프레스장치및 그것에있어서의프레스하중제어방법을제공한다. 이를해결하기위해, 본발명은진공으로되는챔버(16)를소형화하기위해, 압력센서를챔버(16) 밖에설치하고, 챔버(16)의통 형상을이용하여통 형상의플런저(7)가출몰가능한실린더실(17)을형성한다. 챔버(16) 내의부압(22)에기인하여수압부(2)와가압부(1)를서로끌어당기는힘이발생하지만, 역방향으로부터실린더실(17) 내에동등해지는유체의압력(19)을넣어통 형상의플런저(7)를압출하여통 형상플런저에가압력(20)을발생시킴으로써, 이끌어당기는힘은플런저(7)로부터의가압력(20)에의해캔슬된다. 프레스스테이지에서전사되는기판등으로의하중을구동부에의한구동력에기초하여높은정밀도로제어할수 있다. 또한, 고정밀도로평행도로배열하기위해, 정밀프레스장치는, 가이드포스트(3)에고정되어있는수압부(2), 가이드포스트로보유지지기(70)를통하여미끄럼이동안내되는가압부(1), 수압부(2)와가압부(1)의각 대향면에장착되는프레스스테이지(50a, 50b) 및가압부(1)를베어링부재(프리베어링)(10)를통하여구동시키는구동부(11)를구비하고있다. 수압부(2)와가이드포스트(3)의사이및/또는상기가압부와보유지지기사이에는탄성체(60)가개재장착되어있어, 탄성체(60)가변형됨으로써양 프레스스테이지(50)의면끼리가서로배열되어양 프레스스테이지에가해지는하중을균일하게할 수있다.
    • 3. 发明授权
    • 정밀 프레스 장치에 있어서의 프레스 하중 제어 방법
    • 精密压力装置中的压载控制方法
    • KR101139152B1
    • 2012-04-26
    • KR1020090078042
    • 2009-08-24
    • 가부시키가이샤 히다치 산키시스템
    • 시마오다이스께이노우에가쯔아끼구라따다까시
    • B30B15/16B30B15/18B30B15/22H01L23/00
    • B29C59/02B29C43/36B29C43/56B29C43/58B29C2043/3663B29C2043/563B29C2043/565B29C2043/5808B30B13/00B30B15/0064B30B15/007B30B15/0094B30B15/041B30B15/064
    • 본 발명은, 진공 챔버 내에 있어서의 프레스 가공에 있어서, 진공 챔버를 소형으로 하여 진공 도달 시간을 단축시키고, 게다가 고정밀도의 압력 제어를 행하는 정밀 프레스 장치 및 그것에 있어서의 프레스 하중 제어 방법을 제공한다.
      이를 해결하기 위해, 본 발명은 진공으로 되는 챔버(16)를 소형화하기 위해, 압력 센서를 챔버(16) 밖에 설치하고, 챔버(16)의 통 형상을 이용하여 통 형상의 플런저(7)가 출몰 가능한 실린더실(17)을 형성한다. 챔버(16) 내의 부압(22)에 기인하여 수압부(2)와 가압부(1)를 서로 끌어당기는 힘이 발생하지만, 역방향으로부터 실린더실(17) 내에 동등해지는 유체의 압력(19)을 넣어 통 형상의 플런저(7)를 압출하여 통 형상 플런저에 가압력(20)을 발생시킴으로써, 이 끌어당기는 힘은 플런저(7)로부터의 가압력(20)에 의해 캔슬된다. 프레스 스테이지에서 전사되는 기판 등으로의 하중을 구동부에 의한 구동력에 기초하여 높은 정밀도로 제어할 수 있다.
      또한, 고정밀도로 평행도로 배열하기 위해, 정밀 프레스 장치는, 가이드 포스트(3)에 고정되어 있는 수압부(2), 가이드 포스트로 보유 지지기(70)를 통하여 미끄럼 이동 안내되는 가압부(1), 수압부(2)와 가압부(1)의 각 대향면에 장착되는 프레스 스테이지(50a, 50b) 및 가압부(1)를 베어링 부재(프리 베어링)(10)를 통하여 구동시키는 구동부(11)를 구비하고 있다. 수압부(2)와 가이드 포스트(3)의 사이 및/또는 상기 가압부와 보유 지지기 사이에는 탄성체(60)가 개재 장착되어 있 어, 탄성체(60)가 변형됨으로써 양 프레스 스테이지(50)의 면끼리가 서로 배열되어 양 프레스 스테이지에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
      수압부, 가이드 포스트, 가압부, 하중, 탄성체
    • 6. 发明公开
    • 정밀 프레스 장치
    • 精密压力装置
    • KR1020110133463A
    • 2011-12-12
    • KR1020110126829
    • 2011-11-30
    • 가부시키가이샤 히다치 산키시스템
    • 시마오다이스께이노우에가쯔아끼구라따다까시
    • B30B15/16B30B15/18B30B15/22H01L23/00
    • B29C59/02B29C43/36B29C43/56B29C43/58B29C2043/3663B29C2043/563B29C2043/565B29C2043/5808B30B13/00B30B15/0064B30B15/007B30B15/0094B30B15/041B30B15/064
    • PURPOSE: The load delivered to the substrate is controlled based on the driving force of the driving part to the high precision. CONSTITUTION: A precision press device comprises a water pressure part(2), a presser portion(1), press stages(50a,50b), a driving part(11), a chamber(16), and a fluid operating unit. The presser portion faces in the water pressure part. It is moved about the water pressure part. The press stages install to each opposite side of the presser portion and water pressure part. The driving part drives the presser portion. In the state where the water pressure part and presser portion each other approach. The cylindrical wall of the chamber surrounds the press stage between the water pressure part and presser portion with the sealing state. The fluid actuated part offsets force for pulling the hydraulic unit and the pressing unit to each other, which is generated on the basis of negative pressure(22) of the chamber, and each other pull the water pressure part and presser portion.
    • 目的:基于驱动部件的驱动力以高精度控制输送到基板的负载。 构成:精密压制装置包括水压部分(2),压脚部分(1),压榨台(50a,50b),驱动部分(11),室(16)和流体操作单元。 压脚部分面向水压部分。 它围绕水压部分移动。 按压台安装在压脚部分和水压部分的每个相对侧。 驱动部驱动压脚部。 在水压部分和压脚部分彼此接近的状态下。 腔室的圆柱形壁围绕压力级在压力部分和压力部分之间具有密封状态。 流体致动部分用于将液压单元和按压单元相互牵引的力抵消在腔室的负压(22)的基础上,彼此拉动水压部分和压脚部分。