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1. 发明授权

KR101884253B1 와이어 소 및 와이어 소에 있어서의 롤러 위치 맞춤 방법 有权
公开(公告)号：KR101884253B1
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：KR1020137021531
申请日：2012-03-28
申请人： 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
发明人： 히메노다카오 , 다니자키아키라 , 마츠다아키히로 , 가와츠도모유키
IPC分类号： B24B27/06 , B28D5/04
CPC分类号： B28D5/045 , B23D57/0061
摘要： 와이어소는, 한쌍의보빈(12A, 12B)과메인롤러(13A, 13B)를구비한다. 한쪽의보빈(12A 또는 12B)과메인롤러(13A, 13B) 사이의와이어주행경로및 다른한쪽의보빈(12B 또는 12A)과메인롤러(13A, 13B) 사이의와이어주행경로에는각각, 댄서롤러(16A 또는 16B), 트래버스롤러(17A 또는 17B), 및가이드롤러(18A 또는 18B)가배치되어있다. 각와이어주행경로의트래버스롤러(17A 또는 17B), 댄서롤러(16A 또는 16B) 및가이드롤러(18A 또는 18B)는, 트래버스롤러(17A 또는 17B)와댄서롤러(16A 또는 16B)와가이드롤러(18A 또는 18B) 사이에서주행하는와이어(11)의부분이일 평면상에위치하는위치관계를갖는다.

2. 发明授权

KR101446457B1 비대칭 풀리 및 이를 갖는 러그 절단 장치 有权
标题翻译：不对称的PULLEY和LUG切割指令，包括不对称的PULLEY
公开(公告)号：KR101446457B1
公开(公告)日：2014-10-02
申请号：KR1020140049707
申请日：2014-04-25
申请人： 이화다이아몬드공업 주식회사
发明人： 이대연 , 강대식 , 박규환 , 이흥락 , 양승규 , 김진훈 , 박상원
IPC分类号： B23D61/18 , B26D1/547
CPC分类号： B23D61/185 , B23D57/0007 , B23D57/0061 , B26D1/547
摘要： Disclosed are an asymmetric pulley and a lug cutting apparatus including the same, which can secure excellent machinability and minimize cut residue by applying an asymmetric pulley having an asymmetric structure in a process of cutting a lug using a wire saw. The asymmetric pulley according to the present invention comprises: a first roller having a first thickness and a first diameter; a second roller placed apart from and parallel to the first roller, having a second thickness thinner than the first thickness and a second diameter smaller than or same as the first diameter; and a roller connecting part arranged between the first roller and the second roller, coupling the first roller and the second roller, and having a groove so that the wire saw is inserted inside the first roller and the second roller and performs horizontal reciprocating motion.
摘要翻译：公开了一种非对称滑轮和包括该凸轮切割装置的凸耳切割装置，其可以通过在使用线锯切割凸耳的过程中施加具有不对称结构的非对称滑轮来确保优异的机械加工性和最小化切割残留。根据本发明的非对称滑轮包括：具有第一厚度和第一直径的第一辊; 第二辊与第一辊分离并平行，具有比第一厚度薄的第二厚度和小于或等于第一直径的第二直径; 以及布置在所述第一辊和所述第二辊之间的辊连接部，联接所述第一辊和所述第二辊，并且具有槽，使得所述线锯插入到所述第一辊和所述第二辊内部并进行水平往复运动。

3. 发明授权

KR101314729B1 마모 와이어 절단 장치 및 방법 有权
标题翻译：磨砂线
公开(公告)号：KR101314729B1
公开(公告)日：2013-10-08
申请号：KR1020067026462
申请日：2005-05-12
申请人： 알이씨 웨이퍼 피티이. 엘티디.
发明人： 후킨,데이비드,아인스워쓰
IPC分类号： B23D57/00 , B28D5/04
CPC分类号： B23D57/0061 , B23D57/0023 , B28D5/045
摘要： 두 개 이상의 유사한 블록으로부터 다수의 얇은 웨이퍼를 형성하기 위한 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 와이어를 공급하기 위한 공급 릴(1), 평행하게 이격되는 롤러 가이드의 상부 쌍(3a, 3b) 및 하부 쌍(3c, 3d) 및 수집 릴(4)를 포함하며, 공급 릴로부터의 와이어는 공급 릴 근처로부터 수집 릴 근처로 롤러 가이드를 따라 연속 홈 주위를 통과하여, 롤러 가이드의 길이를 따라 와이어의 4측면의 연속 웨브를 형성한다. 롤러 가이드를 따른 부분에서, 와이어는 두 개 이상의 풀리 휠(5a, 5b) 주위로 전환하여 미리 결정된 지점에서 롤러 가이드를 통과한 후 웨브로부터 와이어를 재거하고, 웨브를 떠나는 지점으로부터 측방향으로 변위되는 지점에서 후속하는 롤러 가이드를 경유하여 웨브로 와이어를 재도입하여, 웨브를 두 개의 개별 섹션으로 분리하는 와이어의 웨브에 갭이 존재하도록 하여 상기 갭에서 절단 작용이 일어나지 않도록 한다.

4. 发明公开

KR1020130028153A 와이어 소 有权
标题翻译：电线
公开(公告)号：KR1020130028153A
公开(公告)日：2013-03-18
申请号：KR1020137005203
申请日：2012-07-19
申请人： 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
发明人： 아베가츠히코 , 나가이도시키
IPC分类号： B28D1/08 , B28D5/00 , B26D1/547 , B24B27/06
CPC分类号： B28D5/045 , B23D57/0061 , B24B27/0633
摘要： 와이어 소는 워크 가공용 와이어(12)가 걸쳐지는 복수의 가공용 롤러(11A, 11B)와, 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에 와이어(12)를 공급하도록 회전하는 공급측의 보빈(13A, 13B)과, 가공용 롤러(11A, 11B) 사이의 와이어(12)를 권취하도록 회전하는 권취측의 보빈(13B, 13A)을 구비한다. 와이어는 양 보빈(13A, 13B)을 각각 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작시키는 한 쌍의 트래버스 구조(16)와, 가공용 롤러(11A, 11B)와 양 보빈(13A, 13B) 사이의 와이어(12)의 장력을 각각 검출하는 한 쌍의 센서(18)와, 센서(18)에 의한 검출 결과에 의거하여, 와이어(12)의 장력을 조정하도록, 보빈(13A, 13B)을 각각 이동시키는 한 쌍의 장력 조정 기구(17)를 구비한다.

5. 发明公开

KR1020130028017A 공작물로부터 웨이퍼를 슬라이스하기 위한 와이어 쏘우를 위해 연마 입자가 고정 접합된 쏘잉 와이어의 단층 권취 无效
标题翻译：用于从工作台切割的波纹的用于电线的固定式磨粒的锯状线的单层卷绕
公开(公告)号：KR1020130028017A
公开(公告)日：2013-03-18
申请号：KR1020120099407
申请日：2012-09-07
申请人： 실트로닉 아게
发明人： 윤게요아힘 , 모저외르크
IPC分类号： B28D5/00 , B28D1/08 , B23D61/18
CPC分类号： B28D5/045 , B23D57/0061
摘要： PURPOSE: Single-layered winding of a sawing wire with a fixedly bonded abrasive grain for wire saws for slicing wafers from a workpiece is provided to minimize tensile force which is applied to a spool by the separate tensile stress of a reduced distributing spool and a receiving spool. CONSTITUTION: A wire spool is for a plurality of wire saws which slices wafers from a structure which consists of semiconductor materials by a wire web(4). The wire web consists of parallel wire sections which are coated with bonding-type abrasives. A sawing wire which is coated with bonding-type abrasives moves forward to the wire web through at least one defection roll(3a) from a first wire spool for functioning as a distributing spool. The sawing wire which is coated with bonding-type abrasives moves forward to the wire web through at least one defection roll from a second wire spool for functioning as a distributing spool; enters the guiding groove of the defection roll at an aligning angle; and escapes from the guiding groove of the defection roll at an aligning angle. The winding of the sawing wire in two wire spools is single-layered.
摘要翻译：目的：提供具有用于从工件切片晶片的用于线锯的固定结合磨粒的锯线的单层绕组，以最小化由减小的分配线轴和接收器的单独拉伸应力施加到线轴的拉力阀芯。构成：线轴用于多个线锯，其通过线网（4）从由半导体材料构成的结构切片晶片。金属丝网由平行的金属线部分组成，这些部分涂覆有粘结型磨料。涂有粘结型研磨剂的锯线通过来自第一线卷轴的至少一个脱落辊（3a）向前移动到丝网，用作分配卷轴。涂有粘结型研磨剂的锯线通过来自第二线轴的至少一个脱离辊向前移动到丝网，用作分配卷轴; 以对准角进入偏转辊的引导槽; 并以对准角度从偏转辊的引导槽逸出。锯线在两根线轴上的缠绕是单层的。

6. 发明授权

KR101486115B1 잉곳 슬라이싱용 프렛바, 그 프렛바를 첩착한 잉곳, 및 그 프렛바를 사용한 잉곳의 절단 방법 有权
标题翻译：用于成品切片的FRET棒，以及FRET棒的保鲜盒，以及使用FRET棒的切割方法
公开(公告)号：KR101486115B1
公开(公告)日：2015-01-23
申请号：KR1020117001290
申请日：2008-07-24
申请人： 시나노 덴기 세이렌 가부시끼가이샤
发明人： 고바야시마사히토 , 시마오카게이이치
IPC分类号： B28D5/04 , B24B27/06 , H01L21/304
CPC分类号： B28D5/045 , B23D57/0061 , B24B27/0633 , Y02P80/30
摘要： (과제) 멀티 와이어쏘를 이용하여 잉곳을 절단할 때, 얻어지는 웨이퍼 사이에서의 두께의 편차를 억제하고, 절단시의 재료 손실을 감소시켜 재료의 이용 효율을 향상시킴과 함께, 슬라이싱에 필요한 시간을 단축시켜 작업 효율을 향상시킨다.
(해결 수단) 멀티 와이어쏘에 의한 잉곳의 절단시에, 절단 개시시에 절단 홈을 형성시키기 위해, 잉곳 표면의 일부에, 잉곳의 길이 방향을 따라 첩착시키는 주상체인 것을 특징으로 하는 잉곳 슬라이싱용 프렛바를 사용한다.
摘要翻译： [问题]在使用多线锯切割锭时，通过减少要获得的晶片之间的厚度变化来提高材料使用效率，从而减少切割中的材料损失，并通过缩短切片所需的时间来提高工作效率。 [解决问题的手段]在通过多线锯切割锭时，使用用于锭切割的锭子，以便在切割开始时形成切口。用于锭块切割的冲击棒的特征在于沿着锭的长度方向将一个柱状体粘附到锭的表面的一部分。

7. 发明授权

KR101332591B1 와이어 슬라이싱 기계에서 와이어 필드의 자동 권취 失效
标题翻译：线切割机自动卷绕线
公开(公告)号：KR101332591B1
公开(公告)日：2013-11-25
申请号：KR1020117021580
申请日：2010-02-24
申请人： 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 , 생-고벵 아브라시프
发明人： 글린스키우카쉬에이. , 고시데바브라타
IPC分类号： B23D61/18 , B23D53/12 , B23D53/06 , B26D1/553
CPC分类号： B23D57/0053 , B23D57/0061 , B23D57/0069
摘要： 와이어 슬라이싱 기계에서 와이어 필드의 자동 권취가 개시된다. 일 실시예에서, 와이어 필드는 와이어 필드를 형성하기 위해 적어도 하나의 와이어 스풀로부터 와이어를 언로딩하며 하나 이상의 와이어 가이드들의 둘레에 와이어를 감음으로써 와이어 슬라이싱 기계에서 자동적으로 생성된다.

8. 发明授权

KR101290213B1 와이어 소 有权
标题翻译：线小
公开(公告)号：KR101290213B1
公开(公告)日：2013-07-30
申请号：KR1020137010347
申请日：2012-04-05
申请人： 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
发明人： 마츠다,아키히로 , 나가이,토시키
IPC分类号： B24B27/06 , B26F3/00 , B28D1/22
CPC分类号： B24B27/0633 , B23D57/0053 , B23D57/0061 , B24B27/0683
摘要： 한 쌍의 보빈들(22A, 22B)의 하나와 가공 롤러들(23A, 23B) 사이의 각 와이어 진행 경로 상의 제1 내지 제6 가이드 롤러들(24A 내지 29A, 24B 내지 29B)을 가지는 와이어 소가 제공된다. 각각의 제4 가이드 롤러(27A, 27B) 상의 가이드 그루브(31)는 이러한 가이드 그루브(31)의 폭 방향으로 와이어(21)의 이동을 제한하도록 구성된다. 각각의 제5 가이드 롤러(28A, 28B) 상의 가이드 그루브(32)는 이러한 가이드 그루브(32)의 폭 방향으로 상기 와이어(21)가 이동하는 것을 허용하도록 구성된다. 각각의 제6 가이드 롤러(29A, 29B) 상의 가이드 그루브(31)는 이러한 가이드 그루브(31)의 폭 방향으로 와이어(21)의 이동을 제한하도록 구성된다. 각각의 제5 가이드 롤러(28A, 28B)는 상기 와이어 진행 경로들 중의 하나 상 및 연관된 제4 가이드 롤러(27A, 27B)와 연관된 제6 가이드 롤러(29A, 29B) 사이에 위치한다.
摘要翻译：在各导线之间的移动路径（22A，22B）的（24A至29A，24B至29B）的一对线架具有一个电线牛和第一至第六导辊的加工辊（23A，23B）的是它提供。相应的第四引导辊27A和27B上的引导槽31被构造成限制引线21在引导槽31的宽度方向上的移动。相应的第五导辊28A和28B上的导向槽32被构造成允许导线21在导向槽32的宽度方向上移动。各个第六导辊29A和29B上的导向槽31被构造成限制导线21在这些导向槽31的宽度方向上的移动。每个第五导向辊28A，28B位于一个导线行进路径与与相关联的第四导向辊27A，27B相关联的第六导向辊29A，29B之间。

9. 发明公开

KR1020130039776A 와이어 소 有权
标题翻译：线小
公开(公告)号：KR1020130039776A
公开(公告)日：2013-04-22
申请号：KR1020137007780
申请日：2012-07-09
申请人： 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
发明人： 시마키,히데유키 , 히메노,타카오 , 마츠다,아키히로
IPC分类号： B24B27/06 , B26D1/547 , H01L21/304
CPC分类号： B23D57/0061
摘要： 워크 가공용의 와이어(11)가 가설(架設) 상태에서 주회되는 복수의 가공용 롤러(14A, 14B)와, 한 쌍의 보빈(12A, 12B)의 축선에 평행한 방향을 따라 각각 왕복운동되며 와이어(11)의 권취 및 인출을 안내하는 한 쌍의 트래버서(16A, 16B)를 구비한다. 가공용 롤러(14A, 14B) 및 보빈(12A, 12B)의 왕복 회전에 수반되어 와이어(11)가 왕복 주행되고, 가공용 롤러(14A, 14B) 사이의 위치에서 와이어(11)에 의해 워크(W)에 절단 가공이 실시된다. 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 보빈(12A, 12B)의 축선에 대한 보빈(12A, 12B)과 트래버서(16A, 16B)와의 사이에서의 와이어(11)의 각도가 검출된다. 그 검출 결과에 따라서 와이어(11)의 각도가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)가 이동 조정되며, 트래버서(16A, 16B)의 위치 보정이 이루어진다.
摘要翻译：和沿平行的方向上的每个往复运动以使工作的电线11的轴线处理假设多个加工辊（14A，14B），其是在（架设）状态下的主电路，和所述一对导线的线轴（12A，12B）（以及分别用于引导驱动轮11和11的卷绕和取出的一对横动件16A和16B。线11随着加工辊14A，14B和线轴12A，12B的往复旋转而往复运动，工件W通过线11在加工辊14A，14B之间的位置被输送，被切断。当导线11在行进方向上翻转时，检测绕线筒12A和12B之间的导线11相对于绕线筒12A和12B的轴线与导线16A和16B之间的角度。移动和调整移动器16A和16B，使得导线11的角度被设定为90度。根据检测结果，修正移动器16A和16B的位置。

10. 发明公开

KR1020110019437A 잉곳 슬라이싱용 프렛바, 그 프렛바를 첩착한 잉곳, 및 그 프렛바를 사용한 잉곳의 절단 방법 有权
标题翻译：用于成品切片的FRET棒，以及FRET棒的保鲜盒，以及使用FRET棒的切割方法
公开(公告)号：KR1020110019437A
公开(公告)日：2011-02-25
申请号：KR1020117001290
申请日：2008-07-24
申请人： 시나노 덴기 세이렌 가부시끼가이샤
发明人： 고바야시마사히토 , 시마오카게이이치
IPC分类号： B28D5/04 , B24B27/06 , H01L21/304
CPC分类号： B28D5/045 , B23D57/0061 , B24B27/0633 , Y02P80/30 , B28D5/0082
摘要： (과제) 멀티 와이어쏘를 이용하여 잉곳을 절단할 때, 얻어지는 웨이퍼 사이에서의 두께의 편차를 억제하고, 절단시의 재료 손실을 감소시켜 재료의 이용 효율을 향상시킴과 함께, 슬라이싱에 필요한 시간을 단축시켜 작업 효율을 향상시킨다.
(해결 수단) 멀티 와이어쏘에 의한 잉곳의 절단시에, 절단 개시시에 절단 홈을 형성시키기 위해, 잉곳 표면의 일부에, 잉곳의 길이 방향을 따라 첩착시키는 주상체인 것을 특징으로 하는 잉곳 슬라이싱용 프렛바를 사용한다.
摘要翻译： [问题]在使用多线锯切割锭时，通过减少要获得的晶片之间的厚度变化来提高材料使用效率，从而减少切割中的材料损失，并通过缩短切片所需的时间来提高工作效率。 [解决问题的手段]在通过多线锯切割锭时，使用用于锭切割的锭子，以便在切割开始时形成切口。用于锭块切割的冲击棒的特征在于沿着锭的长度方向将一个柱状体粘附到锭的表面的一部分。

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