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    • 6. 发明授权
    • 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
    • KR102241680B1
    • 2021-04-16
    • KR1020150123916
    • 2015-09-02
    • 한국전기연구원
    • 정성일김판겸권영우
    • G06F3/041
    • 본발명은배선전극을가지는투명전극의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는전극으로활성화되는배선전극이 1개이상전기적으로결합된블록배선전극과, 전극으로활성화되는센서전극을 1회적공정에의하여함께구현함으로써, 전극물질의충진특성및 배선전극과센서전극의정렬작업특성을동시에만족할수 있는배선전극을가지는투명전극의제조방법에관한것이다. 이러한본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기제1위상전이마스크와직교된방향으로패턴이구현된제2위상전이마스크를준비하는위상전이마스크준비단계; 기판상부에감광제를도포한다음, 상기제1위상전이마스크를위치시킨후 노광및 도금하여패턴이일방향으로형성된일방향패턴금속시편을형성하는일방향패턴형성단계; 상기일방향패턴금속시편상부에감광제를도포한다음, 상기제2위상전이마스크를위치시킨후 노광및 도금하여메시패턴이형성된메시패턴금속시편을형성하되, 상대적으로넓은피치의센서패턴을갖는센서패턴영역과상대적으로좁은피치의배선패턴을갖는배선패턴영역으로이루어진메시패턴형성단계; 및상기메시패턴금속시편을이용하여, 상기배선패턴영역중 전극으로활성화되는배선전극이 1개이상전기적으로결합된블록배선전극과, 상기센서패턴영역중 전극으로활성화되는센서전극을형성하는전극형성단계;를포함하여이루어지는것을특징으로하는배선전극을가지는투명전극의제조방법을기술적요지로한다.