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1. 发明公开

KR1020040111336A 반사식 공간 광 변조기의 구조 有权
标题翻译：反射式空间光调制器的结构
公开(公告)号：KR1020040111336A
公开(公告)日：2004-12-31
申请号：KR1020047006930
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 첸동민 , 양샤오 , 짱쇼우쳉
IPC分类号： G02F1/01 , G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： 본 발명은 제1 기판(105)으로 제조된 선택적으로 반사하는 편향가능한 마이크로 미러 배열체(103) 판(202)을 가지는 공간 광 변조기(100)이다. 다른 기판 상에는 마이크로 미러 배열체(103)용 주소 지정 및 제어 회로(106)가 있는데, 이는 제어 회로(106)가 마이크로 미러 판(204)과 관련된 선택된 전극(126)에 인가되는 전압을 제어할 수 있게 한다. 통상적으로, 제어 회로(106)는 디스플레이 제어부(108), 라인 메모리 버퍼(110), 펄스 폭 변조 배열체(112), 및 비디오 신호(120) 및 그래픽 신호(122)를 위한 입력부를 포함한다. 또한, 미러 배열체 기판(105)은 스페이서 지지 프레임(210) 및 힌지(206)를 가지며, 정전기력이 마이크로 미러 배열체 판(204)에 인가될 때, 이에 부착된 힌지는 미러 판(204)이 스페이서 지지 프레임(210)에 대해 회전할 수 있게 한다. 상기 회전은 선택된 방향으로의 반사광을 위한 각 편향을 발생시킨다. 제1 및 제2 기판은 서로 접합된다.

2. 发明公开

KR1020070038177A 반사식 공간 광 변조기의 제조 有权
标题翻译：反射式空间光调制器的制作
公开(公告)号：KR1020070038177A
公开(公告)日：2007-04-09
申请号：KR1020077006029
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 양샤오 , 첸동민
IPC分类号： G02B26/08 , B81B7/04 , B81B5/00 , B81C1/00
CPC分类号： G02B26/0833 , G02B26/0841 , B81B5/00 , B81B7/04 , B81C1/00404 , G09G3/346
摘要： Fabrication of a reflective spatial light modulator including a micro-mirror array. In one embodiment, the micro-mirror array is fabricated from a substrate that is a single crystal material by only two main etching steps. A first etch forms cavities in a first side of the material. A second etch forms support post, a vertical hinge, and a mirror plate. Between the first and second etches, the substrate can be bonded to addressing and control circuitry.
摘要翻译： Lt微镜装置。在一个实施例中，微镜装置由仅通过两个主要蚀刻步骤的单晶材料的衬底制造。第一次蚀刻在材料的第一侧形成空腔。第二次蚀刻形成支柱，垂直铰链和镜板。在第一次蚀刻和第二次蚀刻之间，衬底可以被结合到寻址和控制电路。

3. 发明公开

KR1020060014434A 가려진 힌지를 갖는 높은 채움 비의 반사 공간 광 변조기 无效
标题翻译：高密度反射空间光调制器与隐藏式铰链
公开(公告)号：KR1020060014434A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：KR1020057023135
申请日：2004-02-12
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 양샤오
IPC分类号： G02B26/00 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B7/02 , B81B2201/04 , G02B26/02
摘要： A micro mirror array having a hidden hinge that is useful, for example, in a reflective spatial light modulator. In one embodiment, the micro mirror array includes spacer support walls, a hinge, a mirror plate and a reflective surface on the upper surface of the mirror plate, the reflective surface concealing the hinge and the mirror plate. The micro mirror array fabricated from a single material.
摘要翻译：具有隐藏铰链的微反射镜阵列，其例如在反射空间光调制器中是有用的。在一个实施例中，微反射镜阵列包括在镜板的上表面上的间隔支撑壁，铰链，镜板和反射表面，反射表面隐藏铰链和镜板。微镜阵列由单一材料制成。

4. 发明授权

KR100855127B1 반사식 공간 광 변조기의 제조 有权
标题翻译：反射式空调光调制器的制造
公开(公告)号：KR100855127B1
公开(公告)日：2008-08-28
申请号：KR1020077006029
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 양샤오 , 첸동민
IPC分类号： G02B26/08 , B81B7/04 , B81B5/00 , B81C1/00
CPC分类号： G02B26/0833 , G02B26/0841
摘要： 마이크로 미러 배열체를 포함하는 반사식 공간 광 변조기의 제조이다. 일 실시예에서, 마이크로 미러 배열체는 단지 2 번의 주 에칭 단계에 의해서 단결정 재료인 기판으로부터 제조된다. 제1 에칭은 재료의 제1 측면에 공동을 형성한다. 제2 에칭은 지지 포스트, 수직형 힌지, 및 미러 판을 형성한다. 제1 및 제2 에칭 사이에, 기판은 주소 지정 및 제어 회로에 접합될 수 있다.
이방성 이온 에칭, 미러 판, 힌지, 스페이서 지지 프레임

5. 发明授权

KR100582142B1 반사식 공간 광 변조기 有权
标题翻译：反射空间光调制器
公开(公告)号：KR100582142B1
公开(公告)日：2006-05-22
申请号：KR1020047006929
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 첸동민 , 양샤오 , 짱쇼우쳉
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , Y10S359/904
摘要： 예컨대, 반사식 공간 광 변조기에 유용한 마이크로 미러 배열체이다. 일 실시예에서, 마이크로 미러 배열체는 스페이서 지지 벽, 수직형 비틀림 힌지, 및 미러 판을 포함하며, 이들은 모두 단일 웨이퍼로 제조된다. 마이크로 미러 배열체는 큰 충전율을 가진다.
미러 판, 힌지, 스페이서 지지 프레임, 커넥터, 비틀림 스프링

6. 发明公开

KR1020040111335A 반사식 공간 광 변조기 有权
标题翻译：反射空间光调制器
公开(公告)号：KR1020040111335A
公开(公告)日：2004-12-31
申请号：KR1020047006929
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 첸동민 , 양샤오 , 짱쇼우쳉
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , Y10S359/904
摘要： 예컨대, 반사식 공간 광 변조기에 유용한 마이크로 미러 배열체이다. 일 실시예에서, 마이크로 미러 배열체는 스페이서 지지 벽, 수직형 비틀림 힌지, 및 미러 판을 포함하며, 이들은 모두 단일 웨이퍼로 제조된다. 마이크로 미러 배열체는 큰 충전율을 가진다.

7. 发明授权

KR100886509B1 스크라이브 및 브레이크 처리를 이용한 광학 디바이스의웨이퍼 스케일 패키징 방법 및 디바이스 有权
标题翻译：使用筛选和断开过程的光学设备的波长定型包装的方法和装置
公开(公告)号：KR100886509B1
公开(公告)日：2009-03-02
申请号：KR1020077015644
申请日：2005-12-05
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 양시아오'찰스' , 첸동민 , 첸필립
IPC分类号： H01L21/30 , H01L21/78
CPC分类号： B81C1/00873 , B81B2201/047 , H01L24/05 , H01L33/483 , H01L2224/04042 , H01L2224/48463 , H01L2924/0002 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , H01L2924/00
摘要： 다층(多層)의 집적화된 광학 및 회로 디바이스를 제공한다. 상기 디바이스는, 셀 영역 및 주변 영역을 포함하는 집적 회로 칩을 적어도 하나 포함하는 제1 기판을 포함한다. 바람직하게는, 상기 주변 영역은 접합 패드 영역을 포함하고, 상기 접합 패드 영역은 하나 또는 그 이상의 접합 패드 및 상기 하나 또는 그 이상의 접합 패드의 각각을 둘러싸는 부착 방지 영역을 포함한다. 상기 디바이스는, 상기 제1 기판과 결합되는, 적어도 하나 또는 그 이상의 편향 디바이스를 포함하는 제2 기판을 포함한다. 적어도 하나 또는 그 이상의 접합 패드가 상기 제1 기판상에서 노출된다. 상기 디바이스는, 그 내부의 일부에서 상기 하나 또는 그 이상의 편향 디바이스가 움직일 수 있도록 공동(空洞) 영역을 형성하면서, 적어도 상기 제1 기판의 일부분, 상기 제2 기판의 일부분 및 투명 부재의 일부분을 포함하는 샌드위치 구조물이 형성되도록, 상기 제2 기판 위에 위치하는 투명 부재를 포함한다. 상기 공동 영역의 일부분 내에서 상기 하나 또는 그 이상의 편향 디바이스가 유지되는 한편, 상기 하나 또는 그 이상의 접합 패드 및 상기 부착 방지 영역은 노출된다.
반도체 공정, 광학 및 회로 디바이스, 접합 패드, 부착 방지 영역, 편향 디바이스.

8. 发明公开

KR1020070094770A 스크라이브 및 브레이크 처리를 이용한 광학 디바이스의웨이퍼 스케일 패키징 방법 및 디바이스 有权
标题翻译：使用筛选和断开过程的光学设备的波长定型包装的方法和装置
公开(公告)号：KR1020070094770A
公开(公告)日：2007-09-21
申请号：KR1020077015644
申请日：2005-12-05
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 양시아오'찰스' , 첸동민 , 첸필립
IPC分类号： H01L21/30 , H01L21/78
CPC分类号： B81C1/00873 , B81B2201/047 , H01L24/05 , H01L33/483 , H01L2224/04042 , H01L2224/48463 , H01L2924/0002 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , H01L2924/00
摘要： A multilayered integrated optical and circuit device. The device has a first substrate comprising at least one integrated circuit chip thereon, which has a cell region and a peripheral region. Preferably, the peripheral region has a bonding pad region, which has one or more bonding pads and an antistiction region surrounding each of the one or more bonding pads. The device has a second substrate with at least one or more deflection devices thereon coupled to the first substrate. At least one or more bonding pads are exposed on the first substrate. The device has a transparent member overlying the second substrate while forming a cavity region to allow the one or more deflection devices to move within a portion of the cavity region to form a sandwich structure including at least a portion of the first substrate, a portion of the second substrate, and a portion of the transparent member. The one or more bonding pads and the antistiction region are exposed while the one or more deflection devices is maintained within the portion of the cavity region.
摘要翻译：一种多层集成光电路装置。该器件具有包括其上的至少一个集成电路芯片的第一衬底，其具有单元区域和外围区域。优选地，外围区域具有接合焊盘区域，其具有一个或多个接合焊盘和围绕一个或多个接合焊盘的每一个的抗静电区域。该装置具有第二基板，其上具有至少一个或多个偏转装置，其上连接到第一基板。至少一个或多个接合焊盘暴露在第一衬底上。该装置具有覆盖第二基板的透明构件，同时形成空腔区域以允许一个或多个偏转装置在空腔区域的一部分内移动以形成夹层结构，该夹层结构包括第一基板的至少一部分，第二基板和透明部件的一部分。一个或多个接合焊盘和抗静电区域被暴露，同时一个或多个偏转装置保持在空腔区域的部分内。

9. 发明授权

KR100723549B1 반사식 공간 광 변조기의 제조 有权
标题翻译：反射式空调光调制器的制造
公开(公告)号：KR100723549B1
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：KR1020047006926
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 양샤오 , 첸동민
IPC分类号： B81B7/04 , B81B5/00 , H01P3/08
CPC分类号： G02B26/0833 , G02B26/0841
摘要： 마이크로 미러 배열체를 포함하는 반사식 공간 광 변조기의 제조이다. 일 실시예에서, 마이크로 미러 배열체는 단지 2 번의 주 에칭 단계에 의해서 단결정 재료인 기판으로부터 제조된다. 제1 에칭은 재료의 제1 측면에 공동을 형성한다. 제2 에칭은 지지 포스트, 수직형 힌지, 및 미러 판을 형성한다. 제1 및 제2 에칭 사이에, 기판은 주소 지정 및 제어 회로에 접합될 수 있다.
이방성 이온 에칭, 미러 판, 힌지, 스페이서 지지 프레임

10. 发明授权

KR100652857B1 반사식 공간 광 변조기의 구조 有权
标题翻译：反射空间光调制器的结构
公开(公告)号：KR100652857B1
公开(公告)日：2006-12-01
申请号：KR1020047006930
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 첸동민 , 양샤오 , 짱쇼우쳉
IPC分类号： G02F1/01 , G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： 본 발명은 제1 기판(105)으로 제조된 선택적으로 반사하는 편향가능한 마이크로 미러 배열체(103) 판(202)을 가지는 공간 광 변조기(100)이다. 다른 기판 상에는 마이크로 미러 배열체(103)용 주소 지정 및 제어 회로(106)가 있는데, 이는 제어 회로(106)가 마이크로 미러 판(204)과 관련된 선택된 전극(126)에 인가되는 전압을 제어할 수 있게 한다. 통상적으로, 제어 회로(106)는 디스플레이 제어부(108), 라인 메모리 버퍼(110), 펄스 폭 변조 배열체(112), 및 비디오 신호(120) 및 그래픽 신호(122)를 위한 입력부를 포함한다. 또한, 미러 배열체 기판(105)은 스페이서 지지 프레임(210) 및 비틀림 스프링 힌지(206)를 가지며, 정전기력이 마이크로 미러 배열체 판(204)에 인가될 때, 이에 부착된 힌지는 미러 판(204)이 스페이서 지지 프레임(210)에 대해 회전할 수 있게 한다. 상기 회전은 선택된 방향으로의 반사광을 위한 각 편향을 발생시킨다. 제1 및 제2 기판은 서로 접합된다.
이방성 이온 에칭, 미러 판, 힌지, 스페이서 지지 프레임, 주소 지정 및 제어 회로

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