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1. 发明公开

KR1020070029157A 리소그래피 적용을 위한 열경화된 언더코트 无效
标题翻译：用于光刻应用的热固化底漆
公开(公告)号：KR1020070029157A
公开(公告)日：2007-03-13
申请号：KR1020067021214
申请日：2005-03-09
申请人： 후지필름 일렉트로닉 머티리얼스 유.에스.에이., 아이엔씨.
发明人： 드비노드비. , 말리크산제이 , 코갑토마스제이. , 사루비토마스
IPC分类号： G03F7/11 , C09D5/00
CPC分类号： G03F7/094 , C09D133/14 , Y10S430/11 , Y10S430/111 , Y10S430/128
摘要： Thermally curable undercoat composition comprising for producing a bilayer relief image comprising a) a polymer of Structure (I) comprising repeating units of Structure (II), (III), and (IV) wherein each R1 is independently a hydrogen atom or an alkyl group having from 1 to 3 carbon atoms or a halogen atom; L represents a single bond, a -COO- group, or a -CON(R2)- group; R2 represents a hydrogen atom or an alkyl group having from 1 to 3 carbon atoms; M represents a C5-7 cycloalkylene group or an arylene group having from 6 to 18 carbon atoms; W represents a single bond, a - COO- group, -0-, -(C=O)-, or -(SO2)-; R3 represents a hydrogen atom or a linear unsubstituted or substituted alkyl having from 5 to 30 carbon atoms or an unsubstituted or substituted cycloalkyl group having from 5 to 30 carbon atoms, a bridged unsubstituted or substituted alicyclic hydrocarbon group having from 5 to 25 carbon atoms or an unsubstituted or substituted aryl group having from 6 to 18 carbon atoms or an arylalkyl group having from 7 to 18 carbon atoms; n is an integer from 1 to 3, q is an integer from 0 to 3, the sum of n and q being no greater than 5; R4 is a linear or branched or cyclic C1 - C10 alkyl or a halogen group; R5 is an alkyl or branched alkyl or cyclic alkyl or an unsubstituted or substituted alicyclic group, having 5 to 30 carbon atoms or (R60)t R7 group where R6 is a C1-10 linear or branched alkylene group and R7 is linear, branched or cyclic alkyl or an unsubstituted or substituted alicyclic group or an unsubstituted or substituted a romatic or a Ikyl a romatic group having 1 to 30 carbon atoms and t is an integer about 1 to 4; b) a phenolic crosslinker; c) a thermal acid generator (TAG); and d) a solvent. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：包含用于制备双层浮雕图像的可热固化底涂层组合物，其包含a）包含结构（II），（III）和（IV）的重复单元的结构（I）的聚合物，其中每个R 1独立地为氢原子或烷基具有1至3个碳原子或卤素原子; L表示单键，-COO-基或-CON（R2） - 基; R2表示氢原子或碳原子数为1〜3的烷基; M表示碳原子数为6〜18的C 5-7亚环烷基或亚芳基。 W表示单键，a-COO-基，-O - ， - （C = O） - 或 - （SO2） - ; R 3表示氢原子或具有5至30个碳原子的直链未取代或取代的烷基或具有5至30个碳原子的未取代或取代的环烷基，具有5至25个碳原子的桥接未取代或取代的脂环族烃基或具有6至18个碳原子的未取代或取代的芳基或具有7至18个碳原子的芳基烷基; n为1〜3的整数，q为0〜3的整数，n和q之和为5以下。 R4是直链或支链或环状的C1-C10烷基或卤素基团; R5是具有5-30个碳原子的烷基或支链烷基或环烷基或未取代或取代的脂环基，或（R60）t R7基，其中R6是C1-10直链或支链亚烷基，R7是直链，支链或支链的环状烷基或未取代或取代的脂环族基团或未取代或取代的芳族或具有1至30个碳原子的烷基芳基，t为约1至4的整数; b）酚类交联剂; c）热酸生成器（TAG）; 和d）溶剂。 ®KIPO＆WIPO 2007

2. 发明授权

KR102219067B1 폴리이미드 및 폴리아믹 에스테르 폴리머의 개선된 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102219067B1
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：KR1020157033991
申请日：2014-05-19
申请人： 후지필름 일렉트로닉 머티리얼스 유.에스.에이., 아이엔씨.
发明人： 레이너쓰윌리엄에이. , 말릭산자이 , 드비노드비.
IPC分类号： C08G73/10 , C08K5/06 , C08K5/07 , C08K5/101 , C08K5/1535 , C08J5/18 , C09D179/08
摘要： 본발명은폴리머의정제방법에관한것이다. 본방법은 (a) 1종이상의극성의반양성자성중합용매중에폴리이미드또는폴리아믹에스테르를포함하는유기용액을제공하는단계; (b) 1종이상의정제용매를유기용액에첨가하여, 유기용액희석액을제조하는단계; (c) 유기용액희석액을물 또는수용액으로세척하여, 세척된유기용액을수득하는단계; 및 (d) 세척된유기용액에서 1종이상의정제용매를적어도일부제거하여정제된폴리이미드또는폴리아믹에스테르를포함하는용액을수득하는단계를포함하며, 1종이상의정제용매는 1종이상의중합용매보다극성이낮고, 25℃에서 1종이상의중합용매보다수용성이낮다. 본발명은또한, 반도체기판상에필름을형성하는방법, 뿐만아니라관련된정제된폴리머용액, 필름및 물품에관한것이다.

3. 发明公开

KR1020160114085A 신규 폴리이미드 조성물 审中-实审
标题翻译：新型聚酰亚胺组合物
公开(公告)号：KR1020160114085A
公开(公告)日：2016-10-04
申请号：KR1020167021893
申请日：2015-01-28
申请人： 후지필름 일렉트로닉 머티리얼스 유.에스.에이., 아이엔씨.
发明人： 말릭산자이 , 레이너쓰윌리엄에이. , 드비노드비. , 디모브오그니안
IPC分类号： C08G73/10 , C09D179/08 , G03F7/038 , G03F7/38 , G03F7/028 , G03F7/16 , G03F7/40
CPC分类号： C09D179/08 , C08G73/1067 , G03F7/0387 , G03F7/0388 , G03F7/38 , G03F7/40 , Y10T428/2933 , Y10T428/31721 , G03F7/028 , G03F7/168
摘要： 본발명은, (a) 구조 (Ia)의다이아민및 구조 (Ib)의다이아민으로이루어진군으로부터선택되는하나이상의다이아민:(b) 구조 (II)의하나이상의다이아민:(c) 하나이상의테트라카르복실산이무수물, 및 (d) 아민또는무수물과반응성인제1 관능기및 치환또는비치환된선형알케닐기및 치환또는비치환된선형알키닐기로이루어진군으로부터선택되는하나이상의제2 관능기를함유하는하나이상의화합물의 반응생성물을포함하는폴리이미드폴리머에관한것이다. 상기식들에서각각의변수는명세서에정의되어있다.

4. 发明公开

KR1020160012166A 새로운 폴리머 및 이를 포함하는 열경화성 조성물 审中-实审
标题翻译：新型聚合物和含有该组合物的热固化组合物
公开(公告)号：KR1020160012166A
公开(公告)日：2016-02-02
申请号：KR1020157035712
申请日：2014-05-16
申请人： 후지필름 일렉트로닉 머티리얼스 유.에스.에이., 아이엔씨.
发明人： 말릭산자이 , 레이너쓰윌리엄에이. , 드비노드비. , 나이니아마드에이
IPC分类号： C08G73/10 , C08K5/06 , C08K5/07 , C08K5/101 , C08K5/1535 , C09D179/08
CPC分类号： C08G73/1032 , B05D1/005 , B05D1/02 , C07C211/09 , C07C321/00 , C07C2602/08 , C08G73/1014 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1067 , C08G73/1071 , C08J5/18 , C08J2379/08 , C08K5/0025 , C08K5/06 , C08K5/07 , C08K5/101 , C08K5/1535 , C09D179/08 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L23/293 , C08K5/37
摘要： 본발명은, 제1 반복유닛, 및폴리머의하나의말단에위치한하나이상의말단-캡기를포함하는폴리머에관한것이다. 제1 반복유닛은하나이상의이미드모이어티와하나이상의인단-함유모이어티를포함한다. 말단-캡기는역고리화반응을수행할수 있다. 본개시내용은또한, 상기폴리머를포함하는열경화성조성물에관한것이다.
摘要翻译：本公开涉及一种纯化聚合物的方法。该方法包括（a）在至少一种极性的非质子传递溶剂中提供含有聚酰亚胺或聚酰胺的有机溶液; （b）向所述有机溶液中加入至少一种纯化溶剂以形成稀释的有机溶液，所述至少一种纯化溶剂的极性小于至少一种聚合溶剂，并且在至少一种聚合溶剂中具有比至少一种聚合溶剂更低的水溶性 25°C。（c）用水或水溶液洗涤稀释的有机溶液，得到洗涤的有机溶液; 和（d）除去洗涤的有机溶液中至少一部分纯化溶剂，得到含有纯化的聚酰亚胺或聚酰胺酯的溶液。本公开还涉及在半导体衬底上制备膜的方法以及相关的纯化聚合物溶液，膜和制品。

5. 发明公开

KR1020060055461A 신규한 감광성 이중층 조성물 无效
标题翻译：新型光敏双酚组合物
公开(公告)号：KR1020060055461A
公开(公告)日：2006-05-23
申请号：KR1020057023010
申请日：2004-08-19
申请人： 후지필름 일렉트로닉 머티리얼스 유.에스.에이., 아이엔씨.
发明人： 포스터패트릭 , 스파지아노그레고리 , 드비노드비.
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/09 , G03F7/075
CPC分类号： C08F220/18 , C08F222/06 , C08F230/08 , G03F7/0045 , G03F7/0758 , Y10S430/106 , Y10S430/108 , Y10S430/11 , Y10S430/111 , Y10S430/115 , Y10S430/122 , Y10S430/126
摘要： Polymers and co-polymers having monomeric units formed by the polymerization of monomers of the Structure (I), where R1 is a moiety containing an ethylenically unsaturated polymerizable group, R2 is a Cl-C3 alkylene group, and R3 is a C1-10 linear or cyclic alkyl group, a C6-10 aromatic or substituted aromatic group, a C1-8 alkoxy methyl, or a C1-8 alkoxy ethyl group, are useful as binder resins for photosensitive compositions, and processes for photolithography in the production of semiconductor devices and materials.
摘要翻译：通过结构（I）的单体的聚合形成的单体单元的聚合物和共聚物，其中R 1是含有烯属不饱和可聚合基团的部分，R2是C1-C3亚烷基，R3是C1-10直链或环状烷基，C 6-10芳香族或取代芳香族基团，C 1-8烷氧基甲基或C 1-8烷氧基乙基，可用作感光性组合物的粘合剂树脂，半导体装置的制造中的光刻工序和材料。

6. 发明授权

KR102233088B1 신규 폴리이미드 조성물 有权
公开(公告)号：KR102233088B1
公开(公告)日：2021-03-29
申请号：KR1020167021893
申请日：2015-01-28
申请人： 후지필름 일렉트로닉 머티리얼스 유.에스.에이., 아이엔씨.
发明人： 말릭산자이 , 레이너쓰윌리엄에이. , 드비노드비. , 디모브오그니안
IPC分类号： C08G73/10 , C09D179/08 , G03F7/038 , G03F7/38 , G03F7/028 , G03F7/16 , G03F7/40
摘要： 본발명은, (a) 구조 (Ia)의다이아민및 구조 (Ib)의다이아민으로이루어진군으로부터선택되는하나이상의다이아민: TIFF112016077665237-pct00042.tif37136 (b) 구조 (II)의하나이상의다이아민: TIFF112016077665237-pct00043.tif3846 (c) 하나이상의테트라카르복실산이무수물, 및 (d) 아민또는무수물과반응성인제1 관능기및 치환또는비치환된선형알케닐기및 치환또는비치환된선형알키닐기로이루어진군으로부터선택되는하나이상의제2 관능기를함유하는하나이상의화합물의 반응생성물을포함하는폴리이미드폴리머에관한것이다. 상기식들에서각각의변수는명세서에정의되어있다.

7. 发明授权

KR102219068B1 새로운 폴리머 및 이를 포함하는 열경화성 조성물 有权
公开(公告)号：KR102219068B1
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：KR1020157035712
申请日：2014-05-16
申请人： 후지필름 일렉트로닉 머티리얼스 유.에스.에이., 아이엔씨.
发明人： 말릭산자이 , 레이너쓰윌리엄에이. , 드비노드비. , 나이니아마드에이
IPC分类号： C08G73/10 , C08K5/06 , C08K5/07 , C08K5/101 , C08K5/1535 , C09D179/08
摘要： 본발명은, 제1 반복유닛, 및폴리머의하나의말단에위치한하나이상의말단-캡기를포함하는폴리머에관한것이다. 제1 반복유닛은하나이상의이미드모이어티와하나이상의인단-함유모이어티를포함한다. 말단-캡기는역고리화반응을수행할수 있다. 본개시내용은또한, 상기폴리머를포함하는열경화성조성물에관한것이다.

8. 发明公开

KR1020160011188A 폴리이미드 및 폴리아믹 에스테르 폴리머의 개선된 제조 방법 审中-实审
标题翻译：改进聚酰亚胺和聚酰胺聚合物生产方法
公开(公告)号：KR1020160011188A
公开(公告)日：2016-01-29
申请号：KR1020157033991
申请日：2014-05-19
申请人： 후지필름 일렉트로닉 머티리얼스 유.에스.에이., 아이엔씨.
发明人： 레이너쓰윌리엄에이. , 말릭산자이 , 드비노드비.
IPC分类号： C08G73/10 , C08K5/06 , C08K5/07 , C08K5/101 , C08K5/1535 , C08J5/18
CPC分类号： C08G73/1032 , B05D1/005 , B05D1/02 , C07C211/09 , C07C321/00 , C07C2602/08 , C08G73/1014 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1067 , C08G73/1071 , C08J5/18 , C08J2379/08 , C08K5/0025 , C08K5/06 , C08K5/07 , C08K5/101 , C08K5/1535 , C09D179/08 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L23/293 , C08K5/37
摘要： 본발명은폴리머의정제방법에관한것이다. 본방법은 (a) 1종이상의극성의반양성자성중합용매중에폴리이미드또는폴리아믹에스테르를포함하는유기용액을제공하는단계; (b) 1종이상의정제용매를유기용액에첨가하여, 유기용액희석액을제조하는단계; (c) 유기용액희석액을물 또는수용액으로세척하여, 세척된유기용액을수득하는단계; 및 (d) 세척된유기용액에서 1종이상의정제용매를적어도일부제거하여정제된폴리이미드또는폴리아믹에스테르를포함하는용액을수득하는단계를포함하며, 1종이상의정제용매는 1종이상의중합용매보다극성이낮고, 25℃에서 1종이상의중합용매보다수용성이낮다. 본발명은또한, 반도체기판상에필름을형성하는방법, 뿐만아니라관련된정제된폴리머용액, 필름및 물품에관한것이다.
摘要翻译：本公开涉及一种纯化聚合物的方法。该方法包括（a）在至少一种极性的非质子传递溶剂中提供含有聚酰亚胺或聚酰胺的有机溶液; （b）向所述有机溶液中加入至少一种纯化溶剂以形成稀释的有机溶液，所述至少一种纯化溶剂的极性小于至少一种聚合溶剂，并且在至少一种聚合溶剂中具有比至少一种聚合溶剂更低的水溶性 25°C。（c）用水或水溶液洗涤稀释的有机溶液，得到洗涤的有机溶液; 和（d）除去洗涤的有机溶液中至少一部分纯化溶剂，得到含有纯化的聚酰亚胺或聚酰胺酯的溶液。本公开还涉及在半导体衬底上制备膜的方法以及相关的纯化聚合物溶液，膜和制品。

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