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    • 5. 发明授权
    • 전력 반도체 소자 및 그 제조방법
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    • 현대오트론 주식회사
    • 이주환
    • H01L29/739H01L29/66H01L29/423H01L21/3215H01L21/768
    • 본발명은클로즈드셀(closed cell) 타입의전력반도체소자로서, 기판의상면과나란한단면상에서테두리가닫힌트렌치구조를가지면서기판에형성된트렌치게이트전극; 상기트렌치게이트전극과이격되어상기트렌치게이트전극의내측에배치된전류의이동통로로서의금속컨택영역; 및상기트렌치게이트전극의내측에배치되며, 일측은상기트렌치게이트전극과접합되며타측은상기금속컨택영역과접합되는, 전자소스로서의고농도제 1 도전형의도핑영역; 을포함하되, 금속컨택영역의모서리에전류가집중되어소자가파괴되는것을방지하기위하여, 기판의상면과나란한단면상에서, 상기제 1 도전형의도핑영역과상기금속컨택영역이맞닿는부분은상기금속컨택영역의테두리중에서모서리를제외한부분인것을특징으로하며, 반도체저항감소를위하여, 상기트렌치게이트전극과접합되는상기고농도제 1 도전형의도핑영역의일측은상기금속컨택영역과접합되는상기고농도제 1 도전형의도핑영역의타측보다단면적이더 넓은것을특징으로하는전력반도체소자를제공한다.