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    • 5. 发明公开
    • 유기절연체와 유기반도체 사이의 비정질의 금속산화물 층간-박막을 이용한 유기 박막 트랜지스터
    • 有机绝缘子与有机半导体之间使用非晶态金属氧化物中间层的有机薄膜晶体管
    • KR1020140121540A
    • 2014-10-16
    • KR1020130037569
    • 2013-04-05
    • 한국화학연구원
    • 장광석이미혜가재원김윤호김진수윤준영
    • H01L51/05H01L51/40H01L29/786
    • H01L51/0558H01L51/052H01L51/0529H01L51/0562
    • 본 발명은 유기절연체와 유기반도체 사이에 형성된 비정질의 금속산화물 층간-박막을 이용한 유기 박막 트랜지스터, 이의 제조방법 및 이를 이용한 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성 향상 방법에 관한 것으로, 구체적으로 유기절연체와 유기반도체 사이에 비정질의 금속산화물, 예를 들어 비정질의 알루미나 층간-박막을 형성시킴으로써 유기절연체의 절연특성은 저하시키지 않으면서 유기반도체의 분자정렬을 향상시킬 뿐만 아니라, 비정질 금속산화물 층간-박막을 형성시키기 위한 잔여 전구체 물질에 의해 전하이동이 향상시킴으로써, 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성을 향상시켜, 최종적으로 소자의 성능을 향상시키는 효과가 있다.
      또한, 본 발명에 따른 유기절연체와 유기반도체 사이에 비정질의 금속산화물 층간-박막은 용액공정에 의한 코팅 및 저온의 열처리에 의해 형성될 수 있으므로, 투명-고분자 기판에도 적용이 가능할 뿐만 아니라 비용적으로 경제적이고 공정이 간소하므로 차세대 플렉서블 유기 박막트랜지스터의 제조에 유용하게 사용될 수 있다.
    • 本发明涉及使用有机绝缘体和有机半导体之间的非晶态金属氧化物中间层的有机薄膜晶体管及其制造方法以及改善使用其的有机薄膜晶体管的电特性的方法。 更具体地,通过在有机绝缘体和有机半导体之间形成非晶金属氧化物,可以改善有机半导体的分子取向,而不会降低有机绝缘体的绝缘特性; 可以通过增加剩余前体材料的电荷转移来形成无定形金属氧化物中间层,从而提高有机薄膜晶体管的电特性, 最终提高了设备​​的性能。 此外,有机绝缘体和有机半导体之间的非晶态金属氧化物中间层可以通过溶液法的涂布和低温热处理形成; 从而适用于均匀的透明聚合物基材,在成本方面是经济的,并且简化了工艺,从而可用于生产下一代柔性有机薄膜晶体管。