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    • 8. 发明公开
    • 나노임프린팅용 가압장치 및 이를 이용한 원통기판 나노임프린팅방법
    • 纳米压印压力装置及使用该压力装置的圆柱基底纳米压印方法
    • KR1020170127934A
    • 2017-11-22
    • KR1020160058843
    • 2016-05-13
    • 전자부품연구원
    • 김영석박금환
    • H01L31/0525H01L35/30H01L31/04H01L31/0236G03F9/00
    • 곡면이나원통형상의기판에나노패턴을임프린팅방법으로형성할수 있어간단하고저비용의공정수행이가능한나노임프린팅용가압장치및 이를이용한원통기판나노임프린팅방법이제안된다. 본발명에따른나노임프린팅용가압장치는원통형상의원통기판에형성될제1나노패턴의형상에대응하는제2나노패턴을포함하는패턴부및 패턴부의적어도일측면에위치하는제1연장부및 일측면에대향하는타측면에위치하는제2연장부를포함하고, 제1연장부및 제2연장부는패턴부가원통기판을둘러싸면서로맞닿아원통기판상에제2나노패턴을가압할때 핸들기능을수행하는핸들부를포함한다.
    • 它可以形成在表面上或圆柱形压印方法并不容易,目前正在使用中的压力装置和圆柱形基底为它能够进行低成本纳米压印工艺的纳米印刷法在基板上的纳米图案。 根据本发明的值加压缸筒形基底上所形成的第一延伸部分和位于纳米压印第二图案部分,并且包括对应于所述第一纳米图案的形状的纳米图案的图案的至少一个侧面上的一个 以包括其位于另一侧相对的侧表面和所述第一延伸部分和第二延伸部分手柄的功能,以压在接触所述第二纳米图案,以适应周围的图案部的第二延伸部是圆柱形基底圆柱形基底 等等。