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1. 发明授权

KR100988647B1 순차적 가압을 통한 미세 패턴 임프린팅 방법 失效
标题翻译：使用成功印刷的精细图案印刷方法
公开(公告)号：KR100988647B1
公开(公告)日：2010-10-18
申请号：KR1020080094233
申请日：2008-09-25
申请人： 한국기계연구원
发明人： 최준혁 , 이순원 , 김기돈 , 이지혜 , 최대근 , 정준호 , 이응숙
IPC分类号： H01L21/027 , B82Y40/00
摘要： 본 발명에 따른 미세 패턴 형성 임프린팅 방법은 대면적 미세 패턴을 용이하게 형성할 수 있도록 기판 상에 레진을 토출하는 레진 토출 단계와, 상기 기판 상에 미세 패턴이 형성된 스탬프를 위치시키는 스탬프 설치 단계와, 가압장치를 이용하여 상기 스탬프의 미세 패턴에 레진을 충진하는 스탬프 가압 단계, 및 상기 레진을 경화시키는 레진 경화 단계를 포함하며, 상기 가압장치는 복수개의 가압유닛들을 포함하고, 상기 스탬프 가압 단계는 상기 스탬프의 중앙에 배치된 가압유닛부터 외측에 배치된 가압유닛까지 순차적으로 상기 스탬프를 가압한다.
미세 패턴, 가압력, 스탬프, 가압유닛

2. 发明授权

KR100894736B1 롤가압 및 연속수지도포가 가능한 대면적 임프린트장치 失效
标题翻译：用于连续压辊式和扩展树脂加压的宽尺寸压印光刻设备
公开(公告)号：KR100894736B1
公开(公告)日：2009-04-24
申请号：KR1020070084558
申请日：2007-08-22
申请人： 한국기계연구원
发明人： 최준혁 , 이순원 , 최대근 , 정준호 , 이응숙
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , B82Y40/00
摘要： 본 발명은 롤가압 및 연속수지도포가 가능한 대면적 임프린트장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 중심축을 갖으며 롤러지지대에 의해 지지되어 회전운동하는 두 개의 롤러와, 두 개의 롤러를 연결하도록 체결되며, 상기 몰드를 이송하는 벨트와, 롤러지지대와 수평으로 설치되는 선형지지대에 의해 지지되어 선형운동하는 선형구동부와, 하나의 롤러와 근거리 이격되어 수지를 공급하는 노즐, 및 수지의 잔류층을 최소화하는 간격으로 몰드와 일정간격 이격되어 상기 노즐로부터 도포되는 수지량을 조절하는 블레이드를 포함한다. 따라서, 본 발명은 대면적 기판에 균일한 압력 전달을 용이하게 하고, 고점성 수지의 적용 시에도 패턴전사 및 잔류층 두께의 균일성을 확보할 수 있는 효과를 제공한다.
대면적, 임프린팅, 롤가압, 연속수지도포

3. 发明授权

KR101269917B1 멀티 스탬프를 이용한 대면적 나노템플레이트 제작 방법 有权
标题翻译：使用多个印章制造大面积纳米材料的方法
公开(公告)号：KR101269917B1
公开(公告)日：2013-05-31
申请号：KR1020110005152
申请日：2011-01-18
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이순원 , 최준혁 , 이지혜 , 최대근 , 김기돈 , 정주연 , 정준호
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/38
摘要： 본발명은하나의마스터스탬프를이용하여제작한복수개의플렉시블몰드를이용하여대면적나노템플레이트를제작함으로서특히디스플레이용기판에나노임프린트기술을적용함에있어서공정의양산성을향상시킬수 있도록하는멀티스탬프를이용한대면적나노템플레이트제작방법에관한것으로, 하나의마스터스탬프를사용하여복수개의플렉시블몰드를제작하는준비단계; 대면적기판상에써멀레지스트(thermal resist)를코팅하는코팅단계; 코팅된상기기판위에복수개의상기플렉시블몰드를패턴면을하단으로하여이웃하는몰드를서로겹치게배열하는정렬단계; 정렬된상기기판과상기플렉시블몰드를고온, 고압으로가열하여패턴을전사하는임프린트단계; 임프린트된면에대해폴리머복제하여대면적나노템플레이트를완성하는복제단계;를포함하는것을특징으로한다.

4. 发明公开

KR1020120082266A 사이드 본딩에 의한 대면적 나노템플레이트 제작 방법 有权
标题翻译：使用侧面接合制造大面积纳米片的方法
公开(公告)号：KR1020120082266A
公开(公告)日：2012-07-23
申请号：KR1020110003659
申请日：2011-01-13
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이순원 , 최준혁 , 최대근 , 이지혜 , 김기돈 , 정준호 , 정주연
IPC分类号： B29C33/38 , B82B3/00
CPC分类号： B29C33/424 , B29C33/38 , B29C59/022 , B29C2033/426 , G03F7/0002
摘要： PURPOSE: A method for producing nano-templates having a large area through side bonding is provided to manufacture a large area template which size an operator wants by controlling the number of unit stamps and the area of a substrate. CONSTITUTION: A method for producing nano-templates having a large area through side bonding is as follows. A plurality of unit stamps(10) is manufactured. The unit stamps are arranged on a substrate(20) to be contacted with each other. The unit stamps are absorbed in the substrate by vacuum-pumping a patterned surface formed on the unit stamps. Bonding resin(30) is injected and cured on the upper portion of the unit stamps. A polymer replication for the side-bonded stamp is applied to side bonded stamps for forming a large area template(40).
摘要翻译：目的：提供一种具有大面积通过侧面接合的纳米模板的制造方法，通过控制单位印章的数量和基板的面积来制造操作者想要的尺寸的大面积模板。构成：通过侧面接合的面积大的纳米模板的制造方法如下。制造多个单位印章（10）。单元印章被布置在彼此接触的基板（20）上。通过对形成在单位印章上的图案化表面进行真空抽吸，将单位印记吸收在基板中。粘合树脂（30）在单位印章的上部注入并固化。用于侧粘合印模的聚合物复制物被施加到用于形成大面积模板（40）的侧边贴合的邮票上。

5. 发明授权

KR101090399B1 나노구조 텍스처링을 이용한 태양전지 제조방법 失效
标题翻译：使用纳米结构纹理的太阳能电池制造工艺
公开(公告)号：KR101090399B1
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020100123029
申请日：2010-12-03
申请人： 한국기계연구원
发明人： 박성제 , 이순원 , 최준혁 , 김기돈 , 이지혜 , 최대근 , 정준호
IPC分类号： H01L31/04 , H01L31/0236
CPC分类号： Y02E10/50 , H01L31/04 , H01L31/0236
摘要： PURPOSE: A method for fabricating a solar cell using nano structure texturing is provided to prevent a nano island from being melted by heat which is generated in ion reaction etching by having a cooling down period between processes. CONSTITUTION: A solar cell board, which is doped with a first conductive impurity, is prepared(S100). The colloidal suspension including a silver nano-particle is coated on the one side of a substrate(S200). A nano silver particle is processed by heat for forming a separated nano island(S300). The substrate is etched by ion reaction etching using the nano island as a mask(S400). An emitter layer is formed by injecting a second conductive impurity into the etched side of the substrate(S500). An electrode is respectively formed in the both sides of the substrate(S600).
摘要翻译：目的：提供一种使用纳米结构纹理制造太阳能电池的方法，以通过在工艺之间具有冷却期来防止纳米岛被在离子反应蚀刻中产生的热熔化。构成：制备掺杂有第一导电杂质的太阳能电池板（S100）。包含银纳米颗粒的胶体悬浮液涂覆在基材的一侧（S200）。通过加热处理纳米银颗粒以形成分离的纳米岛（S300）。通过使用纳米岛作为掩模的离子反应蚀刻对基板进行蚀刻（S400）。通过将第二导电杂质注入基板的蚀刻侧而形成发射极层（S500）。在基板的两侧分别形成电极（S600）。

6. 发明公开

KR1020120083808A 멀티 스탬프를 이용한 대면적 나노템플레이트 제작 방법 有权
标题翻译：使用多个印章制造大面积纳米材料的方法
公开(公告)号：KR1020120083808A
公开(公告)日：2012-07-26
申请号：KR1020110005152
申请日：2011-01-18
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이순원 , 최준혁 , 이지혜 , 최대근 , 김기돈 , 정주연 , 정준호
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/38
CPC分类号： B29C33/3842 , B29C33/424 , B29C59/022 , B29C2033/426 , G03F7/0002
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing nano template with a wide area using a multi stamp is provided to produce the nano template with a desirable size. CONSTITUTION: A method for manufacturing nano template with a wide area using a multi stamp is as follows. A plurality of flexible molds is manufactured using one master stamp(S100). The thermal resist is coated on a substrate with a large size(S200). The flexible molds are on the coated substrate while a pattern surface is downwardly formed(S300). The substrate and the flexible molds are heated at high temperature and pressure, and the pattern is transferred(S400). The nano template is complete by the polymer replication(S500).
摘要翻译：目的：提供使用多重印记制造具有广泛面积的纳米模板的方法，以产生具有所需尺寸的纳米模板。构成：使用多重印记制造具有广泛面积的纳米模板的方法如下。使用一个主印模制造多个柔性模具（S100）。将热敏涂层涂布在大尺寸的基板上（S200）。柔性模具在涂布的基材上，而图案表面向下形成（S300）。基板和柔性模具在高温高压下加热，图案转印（S400）。纳米模板通过聚合物复制完成（S500）。

7. 发明授权

KR101088359B1 나노임프린트를 이용한 패턴 형성방법 失效
标题翻译：使用纳米压印的图案形成方法
公开(公告)号：KR101088359B1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：KR1020100026302
申请日：2010-03-24
申请人： 한국기계연구원
发明人： 박형호 , 정준호 , 최대근 , 김기돈 , 최준혁 , 이지혜 , 이응숙 , 전소희 , 박성제 , 이순원 , 김사라
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 본 발명은 나노임프린트를 이용한 패턴형성방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제1실시형태에 의한 나노임프린트를 이용한 패턴 형성방법은, 기판상에, 금속원소에 에너지선 또는 열 중 적어도 하나에 의하여 분해가능한 유기물 리간드가 결합하여 이루어진 금속-유기물 전구체 조성물을 코팅하는 단계; 몰드를 상기 코팅된 금속-유기물 전구체 조성물상에 가압하는 단계; 가열 또는 에너지선 조사 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 조성물에 패턴을 임프린팅하여, 상기 기판상에 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 금속 산화박막 패턴의 전면을 건식 식각에 의하여 에칭하는 단계를 포함하며, 상기 에칭단계에 의하여 상기 금속 산화박막 패턴 중 오목부(凹部)에 해당하는 부분의 기판이 함께 식각됨으로써, 상기 금속 산화박막 패턴의 두께 방향으로의 단면 형상에 상응하는 요철로 이루어진 패턴이 상기 기판 자체에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 광 추출 효율이 극대화된 나노 패턴을 형성할 수 있고, 금속 산화물 이외에 정밀하고 미세한 패턴 형성이 요구되는 재질로 패턴을 형성할 수 있으며, 아울러, 나노막대의 정밀한 정렬 및 밀도 조절이 용이하게 수행될 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种图案形成方法，使用纳米压印，使用根据本发明的第一实施方式的纳米压印的图案形成方法被分解在基板上，由能量射线或热的金属元素中的至少一个可以涂覆包含与其结合的有机配体的金属有机前体组合物; 将模具压在涂覆的金属有机前体组合物上; 使用加热和能量束照射中的至少一种在组合物上压印图案以在基板上形成金属氧化物薄膜图案; 并且通过干法蚀刻来蚀刻金属氧化物薄膜图案的整个表面，其中与金属氧化物薄膜图案一起蚀刻对应于凹部的金属氧化物薄膜图案的一部分，由凹凸对应于横截面形状的薄膜图案的厚度方向的图案的特征在于，形成在基板本身。

8. 发明公开

KR1020110107120A 나노임프린트를 이용한 패턴 형성방법 失效
标题翻译：使用NANOIMPRINT形成图案的方法
公开(公告)号：KR1020110107120A
公开(公告)日：2011-09-30
申请号：KR1020100026302
申请日：2010-03-24
申请人： 한국기계연구원
发明人： 박형호 , 정준호 , 최대근 , 김기돈 , 최준혁 , 이지혜 , 이응숙 , 전소희 , 박성제 , 이순원 , 김사라
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/0274 , G03F7/0027
摘要： 본 발명은 나노임프린트를 이용한 패턴형성방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제1실시형태에 의한 나노임프린트를 이용한 패턴 형성방법은, 기판상에, 금속원소에 에너지선 또는 열 중 적어도 하나에 의하여 분해가능한 유기물 리간드가 결합하여 이루어진 금속-유기물 전구체 조성물을 코팅하는 단계; 몰드를 상기 코팅된 금속-유기물 전구체 조성물상에 가압하는 단계; 가열 또는 에너지선 조사 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 조성물에 패턴을 임프린팅하여, 상기 기판상에 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 금속 산화박막 패턴의 전면을 건식 식각에 의하여 에칭하는 단계를 포함하며, 상기 에칭단계에 의하여 상기 금속 산화박막 패턴 중 오목부(凹部)에 해당하는 부분의 기판이 함께 식각됨으로써, 상기 금속 산화박막 패턴의 두께 방향으로의 단면 형상에 상응하는 요철로 이루어진 패턴이 상기 기판 자체에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 광 추출 효율이 극대화된 나노 패턴을 형성할 수 있고, 금속 산화물 이외에 정밀하고 미세한 패턴 형성이 요구되는 재질로 패턴을 형성할 수 있으며, 아울러, 나노막대의 정밀한 정렬 및 밀도 조절이 용이하게 수행될 수 있다.

9. 发明授权

KR101284113B1 사이드 본딩에 의한 대면적 나노템플레이트 제작 방법 有权
标题翻译：使用侧面接合制造大面积纳米片的方法
公开(公告)号：KR101284113B1
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：KR1020110003659
申请日：2011-01-13
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이순원 , 최준혁 , 최대근 , 이지혜 , 김기돈 , 정준호 , 정주연
IPC分类号： B29C33/38 , B82B3/00
摘要： 본 발명은 복수 개의 유닛 스탬프를 사이드 본딩하여 대면적 나노템플레이트를 제작함으로써 특히 디스플레이용 기판에 나노임프린트 기술을 적용함에 있어서 공정의 양산성을 향상시킬 수 있도록 하는 사이드 본딩에 의한 대면적 나노템플레이트 제작 방법에 관한 것으로, 패턴면에 대향하는 면에서 다이싱되는 복수 개의 유닛 스탬프를 제작하는 준비단계; 상기 복수 개의 유닛 스탬프를 패턴면이 하방을 향하도록 기판상에 배치하고 옆면이 맞닿게 정렬하는 정렬단계; 상기 패턴면을 진공펌핑하여 기판의 판면에 형성되는 다수의 관통공을 통하여 유닛 스탬프가 기판에 흡착되도록 하는 흡착단계; 상기 유닛 스탬프들 사이의 홈에 본딩용 레진을 주입하고 경화시켜 유닛 스탬프를 접합하는 본딩단계; 사이드 본딩된 스탬프에 대해 폴리머 복제하여 대면적 템플레이트를 완성하는 복제단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

10. 发明授权

KR101076700B1 유기태양전지의 제조방법 및 유기태양전지 有权
标题翻译：生产有机太阳能电池和有机太阳能电池的方法
公开(公告)号：KR101076700B1
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：KR1020090060684
申请日：2009-07-03
申请人： 한국기계연구원
发明人： 최준혁 , 김기돈 , 이지혜 , 최대근 , 정준호 , 이순원
IPC分类号： H01L51/42
CPC分类号： Y02E10/549 , Y02P70/521
摘要： 이에의하여, 효율이향상된유기태양전지를제조할수 있는유기태양전지의제조방법및 유기태양전지가제공된다.

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