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1. 发明公开

KR1020100028538A 관찰장치 및 방법 无效
标题翻译：观察装置和方法
公开(公告)号：KR1020100028538A
公开(公告)日：2010-03-12
申请号：KR1020097024500
申请日：2008-06-13
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시 , 다나베히로시
IPC分类号： G01B7/04 , G02B7/02 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/0016 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/248 , G02B21/33
摘要： While observing a semiconductor device (11), when it is detected that a solid-immersed lens (6) touches the semiconductor device (11), a vibration generating section vibrates the solid-immersed lens (6). A reflection light image from the solid-immersed lens (6) is inputted. The amount of reflection light m of the reflection light image is computed. It is judged whether or not the ratio (m/n) of the amount of reflection light m to the amount of incident light n is over a threshold A. If the ratio (m/n) is over the threshold A, it is judged that the optical contact between the solid-immersed lens (6) and the semiconductor device (11) is not established, and the solid-immersed lens (6) is vibrated again. If the ratio (m/n) is not over the threshold A, it is judged that the optical contact between the solid-immersed lens (6) and the semiconductor device (11) is established, and an observation image of the semiconductor device (11) is acquired. With this, an observation device and method enabling improvement of adhesion between the solid-immersed lens and the observation subject is realized.
摘要翻译：当观察半导体器件（11）时，当检测到固体浸没透镜（6）接触半导体器件（11）时，振动产生部分使固体浸没的透镜（6）振动。输入来自固体摄影透镜（6）的反射光图像。计算反射光图像的反射光m的量。判断反射光量m与入射光n的比率（m / n）是否超过阈值A.如果比率（m / n）超过阈值A，则判断固体浸没透镜（6）与半导体器件（11）之间的光学接触未建立，并且固体浸没透镜（6）再次振动。如果比率（m / n）不超过阈值A，则判断固体透镜（6）与半导体器件（11）之间的光学接触是建立的，并且半导体器件（ 11）被收购。由此，实现了能够提高固体摄影镜头和观察对象之间的粘合性的观察装置和方法。

2. 发明公开

KR1020060126936A 시료 관찰 방법 및 현미경, 및 이것에 이용하는 고침 렌즈및 광학 밀착액 失效
标题翻译：样品观察方法和显微镜，以及其用途，固体镜片和光学接触液体
公开(公告)号：KR1020060126936A
公开(公告)日：2006-12-11
申请号：KR1020067005113
申请日：2004-10-28
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 아라타이쿠오 , 사카모토시게루 , 데라다히로토시
IPC分类号： G01N21/95 , G01N21/88
CPC分类号： G02B21/33 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/0004
摘要： An optical contact liquid containing amphiphilic molecules is dropped on a semiconductor device as an inspection subject specimen (S104), and a solid immersion lens is disposed thereon (S105). Subsequently, the position of insertion of the solid immersion lens is regulated (S106), and the optical contact liquid is dried (S108) so as to effect optical contact of the solid immersion lens with the semiconductor device. As a result, there can be realized a specimen observation method, microscope, etc. wherein positioning to desired site of a specimen is facilitated and wherein optically secure contact of a solid immersion lens with the specimen can be accomplished.
摘要翻译：含有两亲性分子的光学接触液滴在作为检查对象试样的半导体装置上（S104），并且设置固体浸没透镜（S105）。随后，调整固体浸没透镜的插入位置（S106），并使光学接触液干燥（S108），以使固体浸没透镜与半导体器件发生光学接触。结果，可以实现样品观察方法，显微镜等，其中定位到样品的期望部位是容易的，并且其中可以实现固体浸没透镜与样品的光学上牢固的接触。

3. 发明授权

KR101488543B1 고침렌즈홀더 有权
标题翻译：固体透镜镜架
公开(公告)号：KR101488543B1
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：KR1020097024499
申请日：2008-06-13
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시 , 다나베히로시
IPC分类号： G02B7/04 , G02B7/02 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/33 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/0016 , G02B21/02 , G02B21/248
摘要： 고침(固浸)렌즈홀더(200)는 고침렌즈(6)를 보유 지지하는 렌즈유지부(60)를 가지는 홀더본체(8)와, 이 홀더본체(8)를 대물렌즈(21)의 전단부에 장착하기 위한 대물렌즈소켓(9)을 구비하고 있다. 고침렌즈(6)는 렌즈유지부(60)에 대해서 고정되지 않고 자유로운 상태로 보유 지지된다. 대물렌즈소켓(9)에는 홀더본체(8)를 진동시키는 진동발생부(120)가 장착되어 있다. 진동발생부(120)는 모터유지부재(130)에 보유 지지된 진동모터(140)를 가지고, 이 진동모터(140)의 출력축(141)에는 중량적으로 편심된 구조의 추(142)가 장착되어 있다. 진동발생부(120)에서 발생한 진동은 대물렌즈소켓(9) 및 홀더본체(8)를 통하여 고침렌즈(6)에 전해진다. 이것에 의해, 고침렌즈와 관찰대상물과의 밀착성을 향상시킬 수 있는 고침렌즈홀더가 실현된다.

4. 发明授权

KR101117831B1 고침 렌즈 홀더 有权
标题翻译：固体透镜镜架
公开(公告)号：KR101117831B1
公开(公告)日：2012-03-19
申请号：KR1020067007860
申请日：2004-10-28
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 다나베히로시 , 아라타이쿠오 , 데라다히로토시
IPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
CPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
摘要： 고침 렌즈(3)의 바닥면을 개구(9b)를 통하여 아래쪽으로 돌출시킨 상태에서 그 고침 렌즈(3)를 자중 방향으로 지지하는 홀더(9)를 구비하는 구성으로 한다. 이것에 의해, 고침 렌즈(3)가 관찰 대상물에 실어 놓여지면, 그 관찰 대상물에 의해 고침 렌즈(3)는 들어 올려진 상태로 되고, 홀더(9)에 대하여 자유로운 상태로 된다. 또, 이때, 관찰 대상물에 과도한 압력이 가해지지 않게 되고, 또한 고침 렌즈(3)가 관찰 대상물에 가깝게 밀착함과 동시에, 홀더(9) 측 또는 관찰 대상물 측의 온도 드리프트가 상대 측에 대하여 차단되어 온도 드리프트에 의한 영향이 없어진다. 이것에 의해, 관찰 대상물에 손상을 주는 것을 없앰과 동시에 고정밀도의 관찰을 가능하게 하는 고침 렌즈 홀더를 얻을 수 있다.

5. 发明公开

KR1020060095569A 고침 렌즈 홀더 有权
标题翻译：固体透镜镜架
公开(公告)号：KR1020060095569A
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：KR1020067007860
申请日：2004-10-28
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 다나베히로시 , 아라타이쿠오 , 데라다히로토시
IPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
CPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
摘要： An arrangement wherein a holder (9) supports a solid immersion lens (3) in the self-weight direction with the bottom of the solid immersion lens (3) projecting downward through an opening (9b). Thereby, when placed on a subject of observation, the solid immersion lens (3) is raised by the subject of observation and kept free with respect to the holder (9). Further, at this time, the possibility of excessive pressure being imposed on the subject of observation is eliminated, and the solid immersion lens (3) comes into fitted and close contact with the subject of observation, and temperature drift on the holder (9) side or subject of observation side is cut off from the associating side to eliminate the influence due to temperature drift. Thus, a solid immersion lens holder eliminating the possibility of causing damage to the subject of observation and enabling observation with high accuracy is obtained.
摘要翻译：一种装置，其中保持器（9）以固体浸没透镜（3）的底部通过开口（9b）向下突出，以自重方向支撑固体浸没透镜（3）。因此，当放置在观察对象上时，固体浸没透镜（3）由观察对象抬起，并相对于保持器（9）保持自由。此外，此时，消除了对观察对象施加过大压力的可能性，并且固体浸没透镜（3）与观察对象嵌合并紧密接触，并且保持器（9）上的温度漂移观察侧的侧面或主体从关联侧切断以消除由于温度漂移引起的影响。因此，可以获得消除观察对象受损的可能性，并能够高精度地进行观察的固体浸没透镜架。

6. 发明授权

KR101748900B1 흡착기, 반도체 디바이스 관찰 장치, 및 반도체 디바이스 관찰 방법 有权
公开(公告)号：KR101748900B1
公开(公告)日：2017-06-19
申请号：KR1020127026856
申请日：2011-06-21
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시 , 마츠우라히로유키
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/687 , H01L21/683 , G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/01 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , H01L21/68785 , H01L22/12
摘要： 흡착기(10)는반도체디바이스(D)가형성된반도체웨이퍼(W)가배치되는제1 면(13)과제1 면(13)의반대측면인제2 면(14)을가지고, 제1 면(13)과제2 면(14)을관통하는관통공(15)이형성된본체부와, 반도체디바이스(D)로부터의광이입사되는광 입사면(16)과, 광입사면(16)으로부터입사한광이출사되는광 출사면(17)을가지고, 관통공(15)에감합된광 투과부를구비한다. 그리고제1 면(13)에는, 반도체웨이퍼(W)를진공흡착하여반도체디바이스(D)를광 입사면(16)에고정하기위한제1 흡착구(13a)가형성되어있고, 제2 면(14)에는고침렌즈(S)를진공흡착하여광 출사면(17)에고정하기위한제2 흡착구(14a)가형성되어있다.

7. 发明公开

KR1020170059972A 고침 렌즈 홀더 및 화상 취득 장치 审中-实审
标题翻译：校正镜头支架和图像采集装置
公开(公告)号：KR1020170059972A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020177004615
申请日：2015-09-24
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시 , 아라타이쿠오 , 이케스마사타카
IPC分类号： G02B7/02 , G02B7/16 , G02B21/36
CPC分类号： G02B7/027 , G02B7/02 , G02B7/16 , G02B21/0052 , G02B21/02 , G02B21/26 , G02B21/33 , G02B21/361 , G02B21/362
摘要： 고침렌즈홀더(8)는, 구면부(6a)의일부가대물렌즈(21)측으로돌출하도록구면부(6a)를내부에배치하는제1 개구(71)를가지는제1 부재(70)와, 맞닿음면(6f)이대물렌즈(21)측과는반대측으로돌출하도록맞닿음부(6d)를내부에배치하는제2 개구(87)를가지는제2 부재(80)를구비한다. 제1 부재(70)는, 제1 개구(71)의내면(71a)으로부터제1 개구(71)의중심측으로연장되고, 구면부(6a)와접촉가능하게구성된 3개의돌출부(73)를가진다.
摘要翻译：固定透镜支架8设置有：第一构件70，其具有第一开口71，其中球形部分6a设置成朝球形部分6a的物镜21侧突出; 并且具有第二开口（87）的第二构件（80），在该第二开口（87）中，抵接部分（6d）被设置成突出到隐形眼镜（6f）侧的相反侧，第一构件70具有从第一开口71的内表面71a延伸到第一开口71的中心侧并且构造成与球形表面部分6a接触的三个突起73 。

8. 发明公开

KR1020130113343A 화상 생성 장치 无效
公开(公告)号：KR1020130113343A
公开(公告)日：2013-10-15
申请号：KR1020127033466
申请日：2011-06-17
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시
IPC分类号： G02B21/36
CPC分类号： H04N7/18 , G02B21/36
摘要： 화상 생성 장치(1)는 피측정물 A의 화상을 생성하는 화상 생성 장치로서, 레이저 광을 출사하는 레이저 광원(3)과, 레이저 광의 강도를 변조시키는 레이저 출력 제어부(11)와, 레이저 광의 피측정물 A로의 조사 위치를 주사하는 레이저 스캐너(5)와, 피측정물 A에 복수의 공간 변조 패턴의 조명광을 조사하도록, 레이저 출력 제어부(11) 및 레이저 스캐너(5)를 제어하는 변조 패턴 제어부(15)와, 복수의 공간 변조 패턴의 조명광의 조사에 따라서 피측정물 A로부터 발해지는 관찰광을 촬상하여 복수의 패턴 화상을 취득하는 촬상 장치(7)와, 촬상 장치(7)에 의해 취득된 복수의 패턴 화상을 사용하여, 피측정물 A의 고해상도 화상을 생성하는 화상 데이터 연산부(19)를 구비한다.

9. 发明公开

KR1020130083826A 흡착기, 반도체 디바이스 관찰 장치, 및 반도체 디바이스 관찰 방법 有权
标题翻译：吸收装置，半导体装置观测装置和半导体装置观测方法
公开(公告)号：KR1020130083826A
公开(公告)日：2013-07-23
申请号：KR1020127026856
申请日：2011-06-21
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시 , 마츠우라히로유키
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/687 , H01L21/683 , G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/01 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , H01L21/68785 , H01L22/12 , H01L22/24
摘要： 흡착기(10)는 반도체 디바이스(D)가 형성된 반도체 웨이퍼(W)가 배치되는 제1 면(13)과 제1 면(13)의 반대측 면인 제2 면(14)을 가지고, 제1 면(13)과 제2 면(14)을 관통하는 관통공(15)이 형성된 본체부와, 반도체 디바이스(D)로부터의 광이 입사되는 광 입사면(16)과, 광 입사면(16)으로부터 입사한 광이 출사되는 광 출사면(17)을 가지고, 관통공(15)에 감합된 광 투과부를 구비한다. 그리고 제1 면(13)에는, 반도체 웨이퍼(W)를 진공 흡착하여 반도체 디바이스(D)를 광 입사면(16)에 고정하기 위한 제1 흡착구(13a)가 형성되어 있고, 제2 면(14)에는 고침 렌즈(S)를 진공 흡착하여 광 출사면(17)에 고정하기 위한 제2 흡착구(14a)가 형성되어 있다.

10. 发明授权

KR101276011B1 반도체 불량 해석 장치, 불량 해석 방법 및 불량 해석 프로그램 有权
标题翻译：半导体缺陷分析装置，缺陷分析方法和缺陷分析程序
公开(公告)号：KR101276011B1
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：KR1020087025958
申请日：2006-10-23
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 마지마도시유키 , 시마세아키라 , 데라다히로토시 , 호타가즈히로
IPC分类号： G01R31/311 , G01N21/956
CPC分类号： G01R31/311 , G01N21/95607 , G01R31/2894
摘要： 반도체 디바이스의 불량 관찰 화상(P2)을 취득하는 검사 정보 취득부(11)와, 레이아웃 정보를 취득하는 레이아웃 정보 취득부(12)와, 불량 해석을 행하는 불량 해석부(13)에 의해 불량 해석 장치(10)를 구성한다. 불량 해석부(13)는 반도체 디바이스의 복수의 네트 중에서 불량 관찰 화상으로부터 설정된 복수의 해석 영역의 적어도 하나를 통과하는 후보 네트 및 그 후보 네트의 해석 영역의 통과 횟수를 추출하여, 통과 횟수가 가장 많은 후보 네트를 제1 불량 네트로 선택하는 동시에, 제1 불량 네트가 통과하지 않는 해석 영역에 주목하여 제2 불량 네트의 선택을 행한다. 이에 따라, 불량 관찰 화상을 사용한 반도체 디바이스의 불량 해석을 확실하고 효율적으로 행하는 것이 가능한 반도체 불량 해석 장치, 불량 해석 방법 및 불량 해석 프로그램이 실현된다.

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