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1. 发明公开

KR1020060132583A 현미경 및 시료 관찰 방법 有权
标题翻译：显微镜和样品观察方法
公开(公告)号：KR1020060132583A
公开(公告)日：2006-12-21
申请号：KR1020067009422
申请日：2005-02-25
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 테라다히로토시 , 아라타이쿠오 , 토키와마사하루 , 다나베히로시 , 사카모토시게루
IPC分类号： G02B21/00
CPC分类号： G02B21/0016 , G02B21/33 , Y10S359/90
摘要： For a semiconductor device (S) to be observed, an image fetching part (1), an optical system (2) including an objective lens (20), and a solid immersion lens (SIL) (3), which can move between an inserting position including an optical axis from the semiconductor device (S) to the objective lens (20) and a waiting position out of the optical axis, are arranged. Observation is performed in two control modes. In a first mode, the SIL (3) is arranged at the waiting position, and a focal point and aberration are corrected, based on a refraction factor n0 and a thickness t0 of a substrate of the semiconductor device (S). In a second mode, the SIL (3) is arranged at the inserting position, and a focal point and aberration are corrected, based on the refraction factor n0 and the thickness t0 of the substrate and a refraction factor n1, a thickness d1 and a curvature radius R1 of the SIL (3). Thus, a microscope and a sample observing method are provided to easily perform necessary sample observation required for fine structure analysis of semiconductor devices.
摘要翻译：对于要观察的半导体器件（S），可以在图像拾取部分（1），包括物镜（20）的光学系统（2）和固体浸没透镜（SIL）（3））之间移动布置包括从半导体器件（S）到光学轴的光轴的插入位置和离开光轴的等待位置。以两种控制方式进行观察。在第一模式中，SIL（3）被布置在等待位置，并且基于半导体器件（S）的衬底的折射系数n0和厚度t0来校正焦点和像差。在第二模式中，SIL（3）布置在插入位置，并且基于折射系数n0和基板的厚度t0以及折射系数n1，厚度d1和厚度t1来校正焦点和像差 SIL（3）的曲率半径R1。因此，提供显微镜和样品观察方法以容易地进行对半导体器件的精细结构分析所需的必要的样品观察。

2. 发明授权

KR101098104B1 고침 렌즈 이동장치, 및 이를 구비한 현미경 失效
标题翻译：固定镜头移动装置，以及具有相同的显微镜
公开(公告)号：KR101098104B1
公开(公告)日：2011-12-26
申请号：KR1020067007859
申请日：2004-10-28
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 다나베히로시 , 아라타이쿠오
IPC分类号： G02B21/26 , G02B21/24
摘要： 고침 렌즈(3)를 지지하는 고침 렌즈 홀더(5)가 연결된 제 1 암 부재(71)와, 이 제 1 암 부재(71)를, 관찰 대상물에 대하여 대략 평행을 이루는 XY 평면 내에서 회동시키는 제 1 암 부재 회동원(72)과, 이 제 1 암 부재 회동원(72)을 유지하는 제 2 암 부재(73)와, 제 1 암 부재 회동원(72)의 회동축과 비동축(非同軸)의 위치를 회동축으로 하여, 제 2 암 부재(73)를 XY 평면 내에서 회동시키는 제 2 암 부재 회동원(74)을 구비하는 구성으로 한다. 그리고, 2개의 암 부재(71, 73)를 회동함으로써, 고침 렌즈(3)를 XY 평면 내의 소망의 위치로 이동 가능하게 하고, 직교하는 X방향, Y방향으로 구성 부품을 길게 할 필요가 없으며, 점유 영역을 작게 함과 동시에 간이한 구성으로 한다. 이것에 의해, 저비용화를 도모하면서, 장치의 소형화를 도모할 수 있는 고침 렌즈 이동장치 및 이를 구비한 현미경이 실현된다.
摘要翻译：第一臂构件71连接到用于支撑校正透镜3的校正透镜支架5和第二臂构件71，第二臂构件71用于使第一臂构件71在与要观察的对象基本平行的XY平面内旋转用于保持第一臂部件转动源72的第一臂部件73和用于保持第一臂部件转动源72的第二臂部件73; 以及以第二臂部件73的位置为转动轴在XY平面内转动第二臂部件73的第二臂部件转动源74。而且，它是没有必要的，两个臂的Y方向通过枢转构件（71，73），并且可移动到所述透镜（3）固定到期望的位置在XY平面内，垂直于保持在X方向上的分量，占用面积减小，配置简化。由此，可以实现配备有固定透镜移动装置的固定透镜移动装置和显微镜，其可以在降低成本的同时减小装置的尺寸。

3. 发明公开

KR1020100028538A 관찰장치 및 방법 无效
标题翻译：观察装置和方法
公开(公告)号：KR1020100028538A
公开(公告)日：2010-03-12
申请号：KR1020097024500
申请日：2008-06-13
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시 , 다나베히로시
IPC分类号： G01B7/04 , G02B7/02 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/0016 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/248 , G02B21/33
摘要： While observing a semiconductor device (11), when it is detected that a solid-immersed lens (6) touches the semiconductor device (11), a vibration generating section vibrates the solid-immersed lens (6). A reflection light image from the solid-immersed lens (6) is inputted. The amount of reflection light m of the reflection light image is computed. It is judged whether or not the ratio (m/n) of the amount of reflection light m to the amount of incident light n is over a threshold A. If the ratio (m/n) is over the threshold A, it is judged that the optical contact between the solid-immersed lens (6) and the semiconductor device (11) is not established, and the solid-immersed lens (6) is vibrated again. If the ratio (m/n) is not over the threshold A, it is judged that the optical contact between the solid-immersed lens (6) and the semiconductor device (11) is established, and an observation image of the semiconductor device (11) is acquired. With this, an observation device and method enabling improvement of adhesion between the solid-immersed lens and the observation subject is realized.
摘要翻译：当观察半导体器件（11）时，当检测到固体浸没透镜（6）接触半导体器件（11）时，振动产生部分使固体浸没的透镜（6）振动。输入来自固体摄影透镜（6）的反射光图像。计算反射光图像的反射光m的量。判断反射光量m与入射光n的比率（m / n）是否超过阈值A.如果比率（m / n）超过阈值A，则判断固体浸没透镜（6）与半导体器件（11）之间的光学接触未建立，并且固体浸没透镜（6）再次振动。如果比率（m / n）不超过阈值A，则判断固体透镜（6）与半导体器件（11）之间的光学接触是建立的，并且半导体器件（ 11）被收购。由此，实现了能够提高固体摄影镜头和观察对象之间的粘合性的观察装置和方法。

4. 发明授权

KR101488543B1 고침렌즈홀더 有权
标题翻译：固体透镜镜架
公开(公告)号：KR101488543B1
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：KR1020097024499
申请日：2008-06-13
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시 , 다나베히로시
IPC分类号： G02B7/04 , G02B7/02 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/33 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/0016 , G02B21/02 , G02B21/248
摘要： 고침(固浸)렌즈홀더(200)는 고침렌즈(6)를 보유 지지하는 렌즈유지부(60)를 가지는 홀더본체(8)와, 이 홀더본체(8)를 대물렌즈(21)의 전단부에 장착하기 위한 대물렌즈소켓(9)을 구비하고 있다. 고침렌즈(6)는 렌즈유지부(60)에 대해서 고정되지 않고 자유로운 상태로 보유 지지된다. 대물렌즈소켓(9)에는 홀더본체(8)를 진동시키는 진동발생부(120)가 장착되어 있다. 진동발생부(120)는 모터유지부재(130)에 보유 지지된 진동모터(140)를 가지고, 이 진동모터(140)의 출력축(141)에는 중량적으로 편심된 구조의 추(142)가 장착되어 있다. 진동발생부(120)에서 발생한 진동은 대물렌즈소켓(9) 및 홀더본체(8)를 통하여 고침렌즈(6)에 전해진다. 이것에 의해, 고침렌즈와 관찰대상물과의 밀착성을 향상시킬 수 있는 고침렌즈홀더가 실현된다.

5. 发明授权

KR101184771B1 현미경 및 시료 관찰 방법 有权
标题翻译：显微镜和样品观察方法
公开(公告)号：KR101184771B1
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：KR1020067009422
申请日：2005-02-25
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 테라다히로토시 , 아라타이쿠오 , 토키와마사하루 , 다나베히로시 , 사카모토시게루
IPC分类号： G02B21/00
CPC分类号： G02B21/0016 , G02B21/33 , Y10S359/90
摘要： 검사 대상의 반도체 디바이스(S)에 대하여, 화상 취득부(1)와, 대물렌즈(20)를 포함하는 광학계(2)와, 반도체 디바이스(S)로부터 대물렌즈(20)로의 광축을 포함하는 삽입 위치 및 광축을 벗어난 대기 위치 사이를 이동 가능한 고침(固浸) 렌즈(SIL: Solid Immersion Lens, 3)를 설치한다. 그리고, SIL(3)을 대기 위치에 배치하고, 반도체 디바이스(S)의 기판의 굴절률 n
0 및 두께 t
0 에 기초하여 초점 및 수차를 보정하는 제1 모드와, SIL(3)을 삽입 위치에 배치하고, 기판의 굴절률 n
0 , 두께 t
0 , SIL(3)의 굴절률 n
1 , 두께 d
1 및 곡률 반경 R
1 에 기초하여 초점 및 수차를 보정하는 제2 모드의 2개의 제어 모드로 관찰을 실시한다. 이에 의해, 반도체 디바이스의 미세 구조 해석 등에 필요한 시료의 관찰을 용이하게 실시할 수 있는 현미경 및 시료 관찰 방법을 얻을 수 있다.

6. 发明授权

KR101117831B1 고침 렌즈 홀더 有权
标题翻译：固体透镜镜架
公开(公告)号：KR101117831B1
公开(公告)日：2012-03-19
申请号：KR1020067007860
申请日：2004-10-28
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 다나베히로시 , 아라타이쿠오 , 데라다히로토시
IPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
CPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
摘要： 고침 렌즈(3)의 바닥면을 개구(9b)를 통하여 아래쪽으로 돌출시킨 상태에서 그 고침 렌즈(3)를 자중 방향으로 지지하는 홀더(9)를 구비하는 구성으로 한다. 이것에 의해, 고침 렌즈(3)가 관찰 대상물에 실어 놓여지면, 그 관찰 대상물에 의해 고침 렌즈(3)는 들어 올려진 상태로 되고, 홀더(9)에 대하여 자유로운 상태로 된다. 또, 이때, 관찰 대상물에 과도한 압력이 가해지지 않게 되고, 또한 고침 렌즈(3)가 관찰 대상물에 가깝게 밀착함과 동시에, 홀더(9) 측 또는 관찰 대상물 측의 온도 드리프트가 상대 측에 대하여 차단되어 온도 드리프트에 의한 영향이 없어진다. 이것에 의해, 관찰 대상물에 손상을 주는 것을 없앰과 동시에 고정밀도의 관찰을 가능하게 하는 고침 렌즈 홀더를 얻을 수 있다.

7. 发明公开

KR1020060095569A 고침 렌즈 홀더 有权
标题翻译：固体透镜镜架
公开(公告)号：KR1020060095569A
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：KR1020067007860
申请日：2004-10-28
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 다나베히로시 , 아라타이쿠오 , 데라다히로토시
IPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
CPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
摘要： An arrangement wherein a holder (9) supports a solid immersion lens (3) in the self-weight direction with the bottom of the solid immersion lens (3) projecting downward through an opening (9b). Thereby, when placed on a subject of observation, the solid immersion lens (3) is raised by the subject of observation and kept free with respect to the holder (9). Further, at this time, the possibility of excessive pressure being imposed on the subject of observation is eliminated, and the solid immersion lens (3) comes into fitted and close contact with the subject of observation, and temperature drift on the holder (9) side or subject of observation side is cut off from the associating side to eliminate the influence due to temperature drift. Thus, a solid immersion lens holder eliminating the possibility of causing damage to the subject of observation and enabling observation with high accuracy is obtained.
摘要翻译：一种装置，其中保持器（9）以固体浸没透镜（3）的底部通过开口（9b）向下突出，以自重方向支撑固体浸没透镜（3）。因此，当放置在观察对象上时，固体浸没透镜（3）由观察对象抬起，并相对于保持器（9）保持自由。此外，此时，消除了对观察对象施加过大压力的可能性，并且固体浸没透镜（3）与观察对象嵌合并紧密接触，并且保持器（9）上的温度漂移观察侧的侧面或主体从关联侧切断以消除由于温度漂移引起的影响。因此，可以获得消除观察对象受损的可能性，并能够高精度地进行观察的固体浸没透镜架。

8. 发明公开

KR1020100018515A 고침렌즈홀더 有权
标题翻译：固体透镜镜架
公开(公告)号：KR1020100018515A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：KR1020097024499
申请日：2008-06-13
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 데라다히로토시 , 다나베히로시
IPC分类号： G02B7/04 , G02B7/02 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/33 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/0016 , G02B21/02 , G02B21/248
摘要： A solid immersion lens holder (200) includes a holder body (8) having a portion (60) for holding a solid immersion lens (6), and an objective lens socket (9) for fixing the holder body (8) to the front end of an objective lens (21). The solid immersion lens (6) is not secured to the lens holding portion (60) but is held in a free state. A vibration generating section (120) for vibrating the holder body (8) is fixed to the objective lens socket (9). The vibration generating section (120) has a vibration motor (140) held on a motor holding member (130), and a weight (142) with a structure eccentric in weight is fixed to the output shaft (141) of the vibration motor (140). Vibration generated by the vibration generating section (120) is transmitted to the solid immersion lens (6) through the objective lens socket (9) and the holder body (8). Consequently, a solid immersion lens holder in which adhesion property can be enhanced between the solid immersion lens and an observation object is attained.
摘要翻译：固体浸没透镜保持器（200）包括具有用于保持固体浸没透镜（6）的部分（60）的保持器主体（8）和用于将保持器主体（8）固定到前面的物镜插座（9）物镜（21）的端部。固体浸没透镜（6）没有固定到透镜保持部（60），而是保持在自由状态。用于使保持器主体（8）振动的振动产生部（120）固定在物镜插座（9）上。振动产生部分（120）具有保持在马达保持部件（130）上的振动马达（140），并且具有重心偏心结构的重物（142）固定在振动马达的输出轴（141）上 140）。由振动产生部（120）产生的振动通过物镜插座（9）和保持体（8）传递到固体浸没透镜（6）。因此，实现了在固体浸没透镜和观察对象物之间可以提高粘合性能的固体浸没透镜保持器。

9. 发明公开

KR1020060129182A 고침 렌즈 이동장치, 및 이를 구비한 현미경 失效
标题翻译：用于移动固体镜片的镜头和相同的显微镜
公开(公告)号：KR1020060129182A
公开(公告)日：2006-12-15
申请号：KR1020067007859
申请日：2004-10-28
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 다나베히로시 , 아라타이쿠오
IPC分类号： G02B21/26 , G02B21/24
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/8806 , G02B21/26 , G02B21/33
摘要： A device for moving a solid immersion lens has a first arm member (71) to which a solid immersion lens holder (5) for supporting a solid immersion lens (3) is connected, a first arm member pivoting source (72) for pivoting the first arm member (71) in an X-Y plane substantially parallel to an object to be observed, a second arm member (73) for holding the first arm member pivoting source (72), and a second arm member pivoting source (74) for pivoting the second arm member (73) in the X-Y plane with a position non-collinear to the first arm member pivoting source (72) as the pivot axis. Pivoting the two arm members (71, 73) enables the solid immersion lens (3) to be movable to a desired position in the X-Y plane, and eliminates necessity to make constituting components long in the X and Y directions orthogonal to each other, making an occupied area small and the structure simple. As a result, a device for moving a solid immersion lens whose size can be reduced with a cost reduced and a microscope having the device are realized.
摘要翻译：用于移动固体浸没透镜的装置具有第一臂构件（71），用于支撑固体浸没透镜（3）的固体浸没透镜保持器（5）连接到该第一臂构件，第一臂构件枢转源（72）第一臂构件（71），其基本上平行于待观察物体的XY平面;用于保持第一臂构件枢转源（72）的第二臂构件（73）和用于枢转的第二臂构件枢转源第二臂构件（73）在XY平面中，具有与第一臂构件枢转源（72）非枢转的位置作为枢转轴线。将两个臂构件（71,73）枢转使得固体浸没透镜（3）能够移动到XY平面中的期望位置，并且消除了使构成组件在彼此正交的X和Y方向上长的需要，使得占地面积小，结构简单。结果，实现了可以降低尺寸并降低成本的固体浸没透镜的装置和具有该装置的显微镜。

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