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1. 发明授权

KR101390073B1 미소 거칠기 측정 방법 및 이를 이용한 측정 장치 有权
标题翻译： MICROROUGHNESS测量方法及其测量装置
公开(公告)号：KR101390073B1
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：KR1020130030501
申请日：2013-03-21
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 정상한 , 노한얼
IPC分类号： G01B21/30 , G01Q80/00 , G01Q60/24
摘要： The present invention relates to a method for measuring a micro-roughness. The method can measure an accurate micro-roughness by removing noise. The method for measuring a micro-roughness according to an embodiment of the present invention uses a measuring device that can obtain a topography image of a measured object through a scan relative to the measured object. The method comprises: a zero scanning step of obtaining a topography image without a scan relative to a measured object by setting the measuring device in order to obtain the topography image on the surface of the measured object; an image scanning step of obtaining a topography image of a part to be measured for a micro-roughness on the measured object; a zero scanning PSD step of obtaining power spectrum density data of the topography image obtained in the zero scanning step; an image scanning PSD step of obtaining power spectrum density data of the topography image obtained in the image scanning step; a correcting step of correcting the power spectrum density data obtained in the image scanning PSD step by using the power spectrum density data obtained in the zero scanning PSD step; and a calculating step of calculating a micro-roughness on the surface of the measured object by using the power spectrum density data obtained in the image scan PSD step and corrected in the correcting step. [Reference numerals] (S10) Zero scanning step; (S20) Image scanning step; (S30) Zero scanning PSD step; (S40) Image scanning PSD step; (S50) Correcting step; (S60) Micro-roughness calculating step
摘要翻译：本发明涉及一种测量微粗糙度的方法。该方法可以通过消除噪声来测量精确的微粗糙度。根据本发明的实施例的用于测量微粗糙度的方法使用测量装置，其可以通过相对于被测量物体的扫描获得被测物体的形貌图像。该方法包括：零扫描步骤，通过设置测量装置来获得相对于被测物体的扫描而获得的地形图，以获得被测物体的表面上的地形图像; 图像扫描步骤，获得测量对象上的微粗糙度的要测量部位的形貌图像; 零扫描PSD步骤，获得在零扫描步骤中获得的地形图像的功率谱密度数据; 图像扫描PSD步骤，获得在图像扫描步骤中获得的地形图像的功率谱密度数据; 校正步骤，通过使用在零扫描PSD步骤中获得的功率谱密度数据来校正在图像扫描PSD步骤中获得的功率谱密度数据; 以及计算步骤，通过使用在图像扫描PSD步骤中获得并在校正步骤中校正的功率谱密度数据来计算被测物体的表面上的微粗糙度。（附图标记）（S10）零扫描步骤; （S20）图像扫描步骤; （S30）零扫描PSD步骤; （S40）图像扫描PSD步骤; （S50）校正步骤; （S60）微细粗糙度计算步骤

2. 发明公开

KR1020170045096A 탐침의 분류 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于分类探针的方法和设备
公开(公告)号：KR1020170045096A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：KR1020160064501
申请日：2016-05-26
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 윤성훈 , 박상일
IPC分类号： G01R35/00 , G01R1/067 , G01R23/02
CPC分类号： G01R35/00 , G01R1/067 , G01R23/02
摘要： 본발명은데이터를분석하여원자현미경에사용되는탐침의첨예도를판단하고, 이에따라탐침을분류하는방법및 장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에탐침의분류방법은, 탐침과시료표면의거리가가까워짐에따라측정되는상기캔틸레버의진폭값및 위상값을획득하는단계; 상기탐침과상기시료표면의거리가가까워짐에따라상기위상값이감소하다가증가하기시작할때의위상값인기준위상값을검출하는단계; 상기기준위상값이검출될때 동시에검출되는진폭값인기준진폭값을검출하는단계; 상기공진진폭값과상기기준진폭값의차이값인변동진폭값을산출하는단계; 및상기변동진폭값과기설정된임계진폭값을비교하여상기탐침을분류하는단계; 를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及用于分析数据以确定在原子力显微镜中使用的探针的锐度并相应地对探针进行分类的方法和设备。根据本发明的一个实施例，提供了一种对探针进行分类的方法，包括：获得作为探针与样本接近表面之间的距离而测量的悬臂的振幅值和相位值; 当相位值减小并且随着探针和样本表面之间的距离变近而开始增加时，检测作为相位值的基准相位值; 检测作为在检测到参考相位值时同时检测到的幅度值的参考幅度值; 计算作为谐振幅度值和基准幅度值之间的差值的变化幅度值; 并通过将波动幅度值与预定阈值幅度值进行比较来对探测器进行分类; 它包括。

3. 发明授权

KR101710337B1 조정 가능한 스캔 속도를 가지는 측정 장치 및 측정 방법 有权
标题翻译：具有可调节的扫描速率和测量方法的测量装置
公开(公告)号：KR101710337B1
公开(公告)日：2017-02-28
申请号：KR1020150078223
申请日：2015-06-02
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 이주석 , 조용성 , 정상한 , 박상일
IPC分类号： G01Q10/06
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q10/04 , G01Q10/06 , G01Q10/065
摘要： 본발명은적어도직전에측정된고속스캔라인의데이터를이용하여스캔속도를가변적으로적용함으로써측정속도를높일수 있는측정장치및 측정방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른측정방법은, 감지부가측정대상의표면을따라스캔하면서상기측정대상의표면에관한데이터를획득하는측정방법으로서, 상기감지부가상기측정대상의표면의복수의고속스캔라인 (fast scan line) 을따라상기표면을스캔하도록, 상기감지부및 상기측정대상중 하나이상이이동되며, 상기감지부를이용하여상기복수의고속스캔라인중 어느하나의고속스캔라인상의표면에관한데이터를얻기위해상기감지부가상기어느하나의고속스캔라인을따라상기표면을스캔하는제1 단계; 및상기제1 단계이후, 상기어느하나의고속스캔라인과가장인접한고속스캔라인을따르도록상기감지부및 상기측정대상중 하나이상을이동시키면서상기감지부를이용하여상기가장인접한고속스캔라인상의표면에관한데이터를얻는제2 단계; 를포함한다. 상기제2 단계에서의스캔속도는적어도상기제1 단계에서얻어진표면에관한데이터를이용하여결정된다.
摘要翻译：本发明涉及至少其中，使用快速扫描线中的数据只是测量nopilsu速度通过施加的扫描速率和可变测量前的测量装置。测量根据本发明的一个实施例方法中，感测单元作为用于获取与所述对象的表面数据的测量方法，同时沿着所述物体的表面的扫描要被测量，感测被测量部的多个所述物体的表面的高速扫描被测定线扫描沿（快速扫描线）的表面上，所述感测单元和移动所述测量物体的异常之一，有关的数据在其表面上使用行一个快速扫描线的部分，所述多个检测到的高速扫描的以获得所述感测单元，包括：扫描所述表面的第一步骤沿所述快速扫描线中的一个; 和在第二后续步骤中的表面，快速扫描线的一个和邻近的高速跟随扫描线的传感器，并通过移动该测量中的至少一个通过使用最近的高速扫描线的部分对象的检测获得该数据的第二步骤; 它包括。其中eseoui第二扫描速度，通过使用从至少在第一阶段获得的表面上的数据确定的步骤。

4. 发明公开

KR1020150002964A 이미지 획득 방법 및 이를 이용한 이미지 획득 장치 有权
标题翻译：使用图像采集方法和图像采集装置
公开(公告)号：KR1020150002964A
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：KR1020130074792
申请日：2013-06-27
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 이주석 , 정상한 , 노한얼
IPC分类号： G01N21/88 , G06T5/50 , G01Q30/00
CPC分类号： G02B21/367 , G01N21/9501 , G06T5/50 , G06T7/0004 , G06T2207/10056 , G06T2207/10061 , G06T2207/20216 , G06T2207/20221 , G06T2207/20224 , G06T2207/30148 , G01N21/956
摘要： 본 발명은 웨이퍼와 같은 평탄한 측정 대상의 표면의 결함을 보다 상세하게 이미지할 수 있는 이미지 획득 방법 및 이를 이용한 이미지 획득 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 획득 방법은, 일정 크기의 픽셀 (pixel) 단위로 측정 대상의 표면의 이미지 (image) 를 얻는 이미지 획득 수단과, 상기 측정 대상을 이동시킬 수 있는 이동 수단을 포함하는 측정 장치를 이용하여 이미지를 얻는 방법에 있어서, 상기 이미지 획득 수단에 의해 상기 측정 대상의 표면 중 제1 영역의 이미지를 얻는 단계; 상기 이동 수단에 의해 상기 측정 대상을 이동시켜 상기 제1 영역과 다른 제2 영역의 이미지를 얻는 단계; 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 이미지 중 어느 하나의 이미지에서 다른 하나의 이미지를 감산하여 디퍼렌셜 이미지 (differential image) 를 얻는 단계; 및 상기 디퍼렌셜 이미지를 복수 회 중첩시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种图像获取方法，其可以对诸如晶片的待测量的平坦物体的表面上的缺陷进行详细的图像拍摄，并且涉及使用其的图像采集装置。根据本发明的实施例，图像获取方法涉及使用包括图像获取装置的测量装置的图像获取方法，所述图像获取装置获得由特定尺寸的像素单元测量的对象的表面的图像，以及移动装置，其能够移动被测量物体，其包括以下步骤：通过图像获取装置获取要测量对象的表面上的第一区域的图像; 通过移动所述移动装置来移动要测量的对象来获取与所述第一区域不同的第二区域的图像; 通过从第一区域和第二区域的图像中减去一个图像中的另一个图像来获取差分图像; 并将差分图像重叠几次。

5. 发明授权

KR101520835B1 이미지 획득 방법 및 이를 이용한 이미지 획득 장치 有权
标题翻译：使用图像采集方法和图像采集装置
公开(公告)号：KR101520835B1
公开(公告)日：2015-05-18
申请号：KR1020130074792
申请日：2013-06-27
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 이주석 , 정상한 , 노한얼
IPC分类号： G01N21/88 , G06T5/50 , G01Q30/00
CPC分类号： G02B21/367 , G01N21/9501 , G06T5/50 , G06T7/0004 , G06T2207/10056 , G06T2207/10061 , G06T2207/20216 , G06T2207/20221 , G06T2207/20224 , G06T2207/30148
摘要： 본발명은웨이퍼와같은평탄한측정대상의표면의결함을보다상세하게이미지할수 있는이미지획득방법및 이를이용한이미지획득장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른이미지획득방법은, 일정크기의픽셀 (pixel) 단위로측정대상의표면의이미지 (image) 를얻는이미지획득수단과, 상기측정대상을이동시킬수 있는이동수단을포함하는측정장치를이용하여이미지를얻는방법에있어서, 상기이미지획득수단에의해상기측정대상의표면중 제1 영역의이미지를얻는단계; 상기이동수단에의해상기측정대상을이동시켜상기제1 영역과다른제2 영역의이미지를얻는단계; 상기제1 영역및 상기제2 영역의이미지중 어느하나의이미지에서다른하나의이미지를감산하여디퍼렌셜이미지 (differential image) 를얻는단계; 및상기디퍼렌셜이미지를복수회 중첩시키는단계; 를포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明涉及一种图像获取方法和使用该图像获取方法的图像获取装置，更具体地，涉及一种图像获取方法，其中更具体地测量诸如晶片的目标的平坦表面的图像缺陷，以及使用该图像获取装置的图像获取装置。提供了一种使用测量装置获取图像的图像获取方法。这种装置包括图像获取装置，其以预定大小的像素为单位获取要测量的目标的表面的图像，以及能够移动要测量的目标的移动装置。图像获取方法包括：通过图像获取装置从待测对象的表面获取第一区域的图像; 通过移动装置移动待测对象，获取与第一区域不同的第二区域的图像; 通过从第一区域的图像或第二区域的图像中减去另一图像来获取差分图像; 并重复差分图像多次。

6. 发明授权

KR101468061B1 스캐너의 제어방법과 이를 이용한 스캐너 장치 有权
标题翻译：使用扫描仪和扫描仪装置的控制方法
公开(公告)号：KR101468061B1
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：KR1020120131404
申请日：2012-11-20
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 오현석 , 정상한 , 안병운
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244
摘要： 본발명은스캐너의제어방법과이를이용한스캐너장치에관한것으로서, 보다상세하게는서로다른두 개이상의지점에서스캔부의 X 방향, Y 방향의좌표를각각측정하는디텍터와서로다른두 개이상의지점에서 X 방향, Y 방향으로스캔부를각각구동하는스캐너의제어방법및 이를이용한스캐너장치에관한것이다. 본발명에따른스캐너의제어방법은, 바디와, 상기바디에대해상대변위되는스캔부와, 상기스캔부를상기바디에대하여서로다른지점에서제1방향으로구동하는한 쌍의제1구동부와, 상기스캔부를상기바디에대하여서로다른지점에서제2방향으로구동하는한 쌍의제2구동부와, 제1방향에대한상기스캔부의구동변위를서로다른지점에서측정하는 2이상의제1디텍터와, 제2방향에대한상기스캔부의구동변위를서로다른지점에서측정하는 2이상의제2디텍터를구비하는스캐너의제어방법으로서, 상기제1디텍터와상기제2디텍터는, 상기바디를기준으로하여상기스캔부의구동변위를측정하며, 상기제1구동부와상기제2구동부에가해지는구동신호는, 상기제1디텍터와상기제2디텍터에서측정된구동변위를피드백제어하여생성되되, 상기스캔부자체의변형량을고려한제어를제외하고상기피드백제어를행하는것을특징으로한다. 본발명의스캐너의제어방법과이를이용한스캐너장치에따르면, 스캔부를구동하는구동부의구동전압의포화를방지하여, 스캔부의이상움직임을방지할수 있고, 불필요한측정시간을단축할수 있다.

7. 发明授权

KR101390063B1 레벨링 장치 및 이를 포함하는 원자현미경 有权
标题翻译：水平仪器和原子力显微镜包括它们
公开(公告)号：KR101390063B1
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：KR1020130036524
申请日：2013-04-03
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 김석현 , 노한얼 , 조아진
IPC分类号： G01Q80/00 , G01L1/06
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , G01Q70/02 , G01Q70/06 , G01Q80/00 , G03F7/2049
摘要： The present invention relates to a leveling apparatus an atomic force microscope including the same leveling by directly measuring force applied to a leveling workpiece and adjusting a level with a surface of a substrate. A leveling apparatus according to an embodiment of the present invention is an apparatus leveling so that one side portion of the workpiece is contacted in parallel with a surface of the substrate, the apparatus including: a force sensors disposed to measure forces applied to at least three points of the other side portion of the workpiece; an angle adjusting unit disposed to adjust a relative angle between the workpiece and the surface of the substrate; a control unit driving the angle adjusting unit on the basis of data obtained from the force sensors, wherein the control unit allows one side portion of the workpiece to contact the surface of the substrate with a preset angle, measures force data applied to the force sensors, respectively, calculates a relative degree in which the surface of the substrate and the workpiece are inclined to each other from force data, and adjusting an angle of the workpiece or the substrate on the basis of this and leveling the workpiece with respect to the surface of the substrate.
摘要翻译：本发明涉及一种通过直接测量施加到平整工件上的力并调节与衬底的表面的水平的包括相同调平的原子力显微镜。根据本发明的实施例的调平装置是一种设备调平，使得工件的一个侧部与基板的表面平行地接触，该装置包括：力传感器，其设置成测量施加到至少三个工件另一侧部分的点; 角度调整单元，设置成调整所述工件与所述基板表面之间的相对角度; 控制单元，其基于从力传感器获得的数据来驱动角度调整单元，其中，所述控制单元允许所述工件的一侧部分以预设角度接触所述基板的表面，测量施加到所述力传感器的力数据分别计算基板和工件的表面相对于力数据彼此倾斜的相对程度，并且基于此调整工件或基板的角度，并相对于表面平整工件的基底。

8. 发明授权

KR101791057B1 탐침의 분류 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于分类探针的方法和设备
公开(公告)号：KR101791057B1
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：KR1020160064501
申请日：2016-05-26
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 윤성훈 , 박상일
IPC分类号： G01R35/00 , G01R1/067 , G01R23/02
摘要： 본발명은데이터를분석하여원자현미경에사용되는탐침의첨예도를판단하고, 이에따라탐침을분류하는방법및 장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에탐침의분류방법은, 탐침과시료표면의거리가가까워짐에따라측정되는상기캔틸레버의진폭값및 위상값을획득하는단계; 상기탐침과상기시료표면의거리가가까워짐에따라상기위상값이감소하다가증가하기시작할때의위상값인기준위상값을검출하는단계; 상기기준위상값이검출될때 동시에검출되는진폭값인기준진폭값을검출하는단계; 상기공진진폭값과상기기준진폭값의차이값인변동진폭값을산출하는단계; 및상기변동진폭값과기설정된임계진폭값을비교하여상기탐침을분류하는단계; 를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及用于分析数据以确定在原子力显微镜中使用的探针的锐度并且因此分类探针的方法和设备。

9. 发明公开

KR1020160142483A 조정 가능한 스캔 속도를 가지는 측정 장치 및 측정 방법 有权
标题翻译：具有自适应扫描速率的测量装置和方法
公开(公告)号：KR1020160142483A
公开(公告)日：2016-12-13
申请号：KR1020150078223
申请日：2015-06-02
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 이주석 , 조용성 , 정상한 , 박상일
IPC分类号： G01Q10/06
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q10/04 , G01Q10/06 , G01Q10/065
摘要： 본발명은적어도직전에측정된고속스캔라인의데이터를이용하여스캔속도를가변적으로적용함으로써측정속도를높일수 있는측정장치및 측정방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른측정방법은, 감지부가측정대상의표면을따라스캔하면서상기측정대상의표면에관한데이터를획득하는측정방법으로서, 상기감지부가상기측정대상의표면의복수의고속스캔라인 (fast scan line) 을따라상기표면을스캔하도록, 상기감지부및 상기측정대상중 하나이상이이동되며, 상기감지부를이용하여상기복수의고속스캔라인중 어느하나의고속스캔라인상의표면에관한데이터를얻기위해상기감지부가상기어느하나의고속스캔라인을따라상기표면을스캔하는제1 단계; 및상기제1 단계이후, 상기어느하나의고속스캔라인과가장인접한고속스캔라인을따르도록상기감지부및 상기측정대상중 하나이상을이동시키면서상기감지부를이용하여상기가장인접한고속스캔라인상의표면에관한데이터를얻는제2 단계; 를포함한다. 상기제2 단계에서의스캔속도는적어도상기제1 단계에서얻어진표면에관한데이터를이용하여결정된다.
摘要翻译：一种测量方法，其中感测单元在扫描测量对象的表面的同时获取测量对象的表面数据，并且感测单元和测量对象中的至少一个被移动以便感测单元沿着多个扫描表面扫描包括：第一步骤，其中感测单元沿着多条快速扫描线的任何一条快速扫描线扫描表面，以获取沿着任何一条快速扫描线的表面数据 ; 以及第二步骤，其中，当感测单元和测量对象中的至少一个沿着最邻近的快速扫描线移动时，感测单元获取沿着与任何一条快速扫描线最相邻的快速扫描线的表面数据，之后第一步。

10. 发明公开

KR1020140065031A 스캐너의 제어방법과 이를 이용한 스캐너 장치 有权
标题翻译：使用该扫描仪和扫描仪的控制方法
公开(公告)号：KR1020140065031A
公开(公告)日：2014-05-29
申请号：KR1020120131404
申请日：2012-11-20
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 오현석 , 정상한 , 안병운
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244
摘要： The present invention relates to a method for controlling a scanner and a scanner device using the same and, more specifically, to a method for controlling a scanner having detectors to measure respective coordinates of X-direction and Y-direction of a scan part at different two or more points and the scan part which is respectively driven in the X-direction and the Y-direction at the different two or more points. The method for controlling a scanner according to the present invention is provided to control a scanner having a body; a scan part which is relatively displaced to the body; a pair of first driving parts to drive the scan part in a first direction at different points from each other regarding the body; a pair of second driving parts to drive the scan part in a second direction at different points from each other regarding the body; two or more first detectors to measure driving displacement of the scan part for the first direction at the different points from each other; and two or more second detectors to measure driving displacement of the scan part for the second direction at the different points from each other. The method of the present invention includes the steps of: measuring driving displacement of the scan part based on the body by the first detectors and the second detectors; and feedback controlling and generating the driving displacement measured by the first detectors and the second detectors by driving signals transmitted to the first driving parts and the second driving parts, wherein the feedback control is performed excluding the control to consider deformation of the scan part itself. The method and the device of the present invention can prevent saturation of driving voltages of the driving parts to drive the scan part, thereby preventing an abnormal movement of the scan part and reducing the unnecessary measuring time.
摘要翻译：本发明涉及一种用于控制扫描仪和使用其的扫描器装置的方法，更具体地说，涉及一种用于控制具有检测器的扫描仪的方法，所述检测器用于测量不同的扫描部分的X方向和Y方向的各个坐标两个以上的点和扫描部分分别在X方向和Y方向上在不同的两个或更多个点上被驱动。提供根据本发明的用于控制扫描仪的方法，用于控制具有主体的扫描仪; 与身体相对移位的扫描部分; 一对第一驱动部件，用于相对于身体在彼此不同的点处沿第一方向驱动扫描部; 一对第二驱动部件，用于相对于所述主体在彼此不同的点处沿第二方向驱动所述扫描部; 两个或更多个第一检测器，用于测量在彼此不同点处的第一方向的扫描部分的驱动位移; 以及两个或更多个第二检测器，用于测量在彼此不同点处的第二方向的扫描部件的驱动位移。本发明的方法包括以下步骤：通过第一检测器和第二检测器测量基于身体的扫描部分的驱动位移; 以及通过驱动传输到第一驱动部件和第二驱动部件的信号来控制并产生由第一检测器和第二检测器测量的驱动位移的反馈，其中执行除了控制以进行扫描部件本身的变形的控制之外的反馈控制。本发明的方法和装置可以防止驱动部件的驱动电压的饱和驱动扫描部件，从而防止扫描部件的异常运动，并减少不必要的测量时间。

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