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1. 发明公开

KR1019950001277A 변이의 측정방법 및 측정장치 失效
标题翻译：测量方法和测量装置的变化
公开(公告)号：KR1019950001277A
公开(公告)日：1995-01-03
申请号：KR1019940013057
申请日：1994-06-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 이토마사미 , 카토마코토 , 니시이칸지 , 후쿠이아쯔시 , 후지카와케이이치
IPC分类号： G01B11/16
摘要： 본 발명은 신호변조도특성을 향상하고, 정밀도높은 위치검출을 가능하게 한다.
본 발명은 이동물체의 변이의 측정방법과 측정장치에 관한 것이며, 예를들면, 회전체의 회전량, 회전각도 또는 이동체의 위치 등의 변이를 측정하기 위한 측정방법 및 측정장치에 관한 것으로서, 변조특성이 좋고, 정밀도가 높은 위치검출을 가능하게하고, 또, 회전판의 편심에 의한 누적오차가 없고, 허용편심향이 크고, 조립이 용이하고, 또, 광원의 사출광강도의 변동, 이동체와 수광부간의 거리를 충분히 넓힐 수 있고, 노이즈에 의한 위치검출정밀도의 열화가 적은 위치·각도측정방법과 이를 실현하는 측정장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 파장λ에서 빔직경D의 평행광을, 광의 광축에 대해서 대략 수직이며 또한 거리g를 사이에 두고 서로 평행으로 형성되어 있고 주요회절성분이 ±1차인 피치p의 회절격자를 가진 고정회 절판(13) 및 이동회절판(14)에 입사하고, 광축과 평행인 회절광을 입사동공직경이 D-2gλ/p 이내로 제한된 집광렌즈(15)에 의해 집광하여, 그 광량을 수광부(16)에서 검출하는 것을 특징으로 한 것이다.

2. 发明授权

KR100141445B1 변이의 측정방법 및 측정장치 失效
标题翻译：用于测量位移的方法和设备
公开(公告)号：KR100141445B1
公开(公告)日：1998-07-01
申请号：KR1019940013057
申请日：1994-06-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 이토마사미 , 카토마코토 , 니시이칸지 , 후쿠이아쯔시 , 후지카와케이이치
IPC分类号： G01B11/16
CPC分类号： G01D5/38
摘要： 본 발명은 신호변조도 특성을 향상하고, 정밀도 높은 위치검출을 가능하게 한다. 본 발명은 이동물체의 변이의 측정방법과 측정장치에 관한 것이며, 예를들면, 회전체의 회전량, 회전각도 또는 이동체의 위치등의 변이를 측정하기 위한 측정방법 및 측정장치에 관한 것으로서, 변조특성이 좋고, 정밀도가 높은 위치검출을 가능하게하고, 또, 회전판의 편심에 의한 누적오차가 없고, 허용편심량이크고, 조립이 용이하고, 또, 광원의 사출광강도의 변동, 이동체와 수광부간의 거리를 충분히 넓힐 수 있고, 노이즈에 의한 위치검출정밀도의 열화가 적은 위치, 각도측정방법과 이를 실현하는 측정장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 파장 λ에서 빔직경 D의 평행광을, 광의 광측에 대해서 대략수직이며 또한 거리 g를 사이에 두고 서로 평행으로 형성되어 있고 주요회절성분이 ±1차인 피치 p의 회절격자를 가진 고정� �절판(13) 및 이동회절판(14)에 입사하고, 광측과 평행인 회절광을 입사동공직경이 D-2g×1p이내로 제한된 집광렌즈(15)에 의해 집광하여, 그 광량을 수광부(16)에서 검출하는 것을 특징으로 한 것이다.

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