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1. 发明授权

KR100261387B1 이물검사방법 및 장치 失效
标题翻译：检查外部物质的方法和设备
公开(公告)号：KR100261387B1
公开(公告)日：2000-07-01
申请号：KR1019960026605
申请日：1996-07-01
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 시모노켄 , 나가사키타츠오 , 타카모토켄지 , 이토마사미 , 니시이칸지
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/94
摘要： 본 발명은, 검사대상표면에 존재하는 이물을 검출하기 위한 이물검사방법 및 장치에 관한 것으로서, 이물로부터의 검출광의 광강도를 향상시켜, 이물과 노이즈와의 판별비를 크게해서 고정밀도의 이물검출을 행할 수 있는 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한것이며, 그 구성에 있어서, 검사대상(1)의 검사면(1a)에 대해서 S편광이 되는 빔(13)을 상기 검사대상(1)의 검사면(1a)에 대해서 거의 평행한 축이 광축이 되도록 조사하고, 검사면(1a)과 이루는 각이 예각이고, 또한 상기 빔의 광축과의 차각 Φ가 30°이내가 되는 광축에서, 상기 빔에 의해서 발생하는 반사광 및 산란광중의 검사면(1a)에 대해서 P편광이 되는 성분(18)을 이물로서 검출하는 것을 특징으로 한 것이다.

2. 发明公开

KR1019970003760A 이물검사방법 및 장치 失效
标题翻译：异物检查方法和设备
公开(公告)号：KR1019970003760A
公开(公告)日：1997-01-28
申请号：KR1019960026605
申请日：1996-07-01
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 시모노켄 , 나가사키타츠오 , 타카모토켄지 , 이토마사미 , 니시이칸지
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은, 검사대상표면에 존재하는 이물을 검출하기 위한 이물검사방법 및 장치에 관한 것으로서, 이물로부터의 검출광의 광강도를 향상시켜, 이물과 노이즈와의 판별비를 크게해서 고정밀도의 이물검출을 행할 수 있는 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 검사대상(1)의 검사면(1a)에 대해서 S편광이 되는 빔(13)을 상기 검사대상(1)의 검사면(1a)에 대해서 거의 평행한 축이 광축이 되도록 조사하고, 검사면(1a)과 이루는 각이 예각이고, 또한 상기 빔의 광축과의 차각ø이 30°이내가 되는 광축에서, 상기 빔에 의해서 발생하는 반사광 및 산란광중의 검사면(1a)에 대해서 P편광이 되는 성분(18)을 이물로서 검출하는 것을 특징으로 한다.

3. 发明公开

KR1019960014919A 광학적검사방법 및 광학적검사장치 失效
标题翻译：光学检查方法和光学检查设备
公开(公告)号：KR1019960014919A
公开(公告)日：1996-05-22
申请号：KR1019950038114
申请日：1995-10-30
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 타카모토켄지 , 니시이칸지 , 이토마사미 , 후쿠이아츠시
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 본 발명은 피검사물의 내부에 있어서의 광학적불균일성을 광학적으로 검출하는 검출방법 및 검사장치에 관한 것으로서, 세라믹기관등의 광학산성이 있는 피검사물의 크랙결함 등을 고정밀도, 고속, 저코스트로 검사가능하게 하는 검사방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 파장대 a, b의 조명영역(28),(30)으로부터 피검사물의 내부에 확산하는 광의 일부는 크랙에 의해서 반사, 투과되어서 촬상영역(13)에 도달한다. 파장대 a와 파장대 b의 조명광은 원상영역(13)에 도달하는 광학산경로가 다르기 때문에, 각 확산광은 크랙결합(24)의 형상에 의해서 반사, 투과의 영향이 다르다. 파장대 a 및 마창대 b의 확산방사광(34)(35)를 분광검출해서, 신호변화가 큰 쪽을 신호처리해서 결합검사하는 것을 특징으로 한 것이다.

4. 发明授权

KR100084210B1 계산기홀로그램의 작성방법 失效
公开(公告)号：KR100084210B1
公开(公告)日：1995-04-21
申请号：KR1019910004615
申请日：1991-03-23
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 니시이칸지 , 카와무라히로유끼 , 이토마사미 , 후꾸이아쯔시
IPC分类号： G03H1/12

5. 发明授权

KR100157236B1 액정의 광학특성 측정방법 및 측정장치 및 액정장치의 제조방법 失效
标题翻译：用于测量液晶光学特性的方法和装置
公开(公告)号：KR100157236B1
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019940004348
申请日：1994-03-07
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 후쿠이아쯔시 , 나시이칸지 , 타카모토켄지 , 이토마사미
IPC分类号： G02F1/1337
摘要： 본 발명은 액정셀의 광학특성 측정방법 및 측정장치에 관한 것이며, 특히 액정의 지연을 고정밀도로 측정하는 측정방법 및 측정장치에 관한 것으로서, 액정의 비틀림각과 액정의 러빙방향을 미리 알지 못하여도, 액정의 △nd를 구할 수 있는 측정방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 먼저, 액정셀의 러빙방향과 입사직선 편광방향사이의 각도를 임의로 설정하고, 다음에, 액정셀에 입사하는 입사직선편광방향과 평행한 출사광 편광성분의 투과율이 최대로 되도록 액정셀을 회전하고, 액정셀 입사광의 파장을 변경하였을 때의 입사편광방향과 평행한 액정셀 출사광의 편광성분의 투과율이 극치를 취하는 파장을 측정하고, 투과율이 극소치를 취하는 파장으로부터 에, 또는 투과율이 극대치를 취하는 파장으로부터

6. 发明公开

KR1019970002258A 복굴절층의 두께측정방법 및 장치 失效
标题翻译：测量双折射厚度的方法和设备
公开(公告)号：KR1019970002258A
公开(公告)日：1997-01-24
申请号：KR1019960023848
申请日：1996-06-26
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 이토마사미 , 니시이간지 , 다카모도겐지 , 후쿠이아쓰시
IPC分类号： G01B11/06
摘要： 액정층(3)이 2개의 편광기(2, 6) 간에 평행니콜 또는 횡단된 니콜로 세트되고, 위상판(4)이 2개의 편광기간에 세트되어 제1편광기의 투과방향이 광학축과 일치하도록 된다. 제2편광기를 투과하는 광학세기가 회전각에서 극한값을 가질 때상기 회전각이 결정되고, 복굴절층의 두께는 위상판(4)의 회전각에 따라 계산된다. 다른방법으로, λ/2판이 사용된다. 우선, 액정층이 투과광의 광학세기가 극한값을 갖는 위치에서 세트되고, 2개의 편광기간에 제공된 λ/2판이 세트되어 제1편광기의 투과 방향이 광학축과 일치되도록 된다. 그후, 위상판의 회전각이 제2편광기를 투과하는 광학세기가 극한값을 가지므로 결정된다. 그후, 두께는 λ/2판의 회전각에 따라 계산된다. 그러므로, 두께는 90°의 비틀림각을 갖지 않거나 공지안된 러빙방향을 갖는 액정에 대해서도 짧은 시간으로 측정된다.

7. 发明公开

KR1019960039255A 이물검사장치 失效
公开(公告)号：KR1019960039255A
公开(公告)日：1996-11-21
申请号：KR1019960012579
申请日：1996-04-24
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 이토마사미 , 타카모토켄지 , 니시이칸지 , 나가사키타츠오 , 시모노켄
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 물체표면상에 존재하는 이물을 검출하기 위한 이물검사장치에 관한 것으로서, 광학적검출정밀도로서의 S/N비가 좋고, 미소한 이물까지 검출가능한 이물검사장치를 제공하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 피검사기판(1)에 대해서 거의 평행한 축을 광축이 되도록 S편광레이저광을 조사하는 조명부(2, 3, 4, 5)와, 조명부에 의해 조명된 영역을 검출하고 피검사기판(1)과 이루는 각이 45℃ 이내이고 또한 조명부의 광축과의 이루는 각이 20°∼60°의 범위로 광축이 설정되고, 피검사기판(1)표면에 부착한 이물로부터의 전방산란성분증의 S편광성분을 검출하고 광전변환하는 검출부(6, 7, 8, 9)와, 검출부에 의해 출력된 신호를 토대로 이물을 검출하는 신호처리부(19, 20, 21)를 구비한 것을 특징으로 한다.

8. 发明授权

KR100179043B1 위상형공간광변조기 失效
标题翻译：相位型空间光调制器和使用其的光信息处理器
公开(公告)号：KR100179043B1
公开(公告)日：1999-05-01
申请号：KR1019930020581
申请日：1993-10-06
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 후쿠이아쯔시 , 나시이칸지 , 이토마사미
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： G02F1/1393 , G02B27/46 , G02F1/133528 , G02F1/13471 , G02F1/1396 , G02F2001/133531 , G02F2001/133738 , G02F2203/12 , G02F2203/50 , G02F2413/15 , G03H2225/32
摘要： A phase type spatial light modulator (K1) comprising: a first polarizer (102); a coherent light source (1, 2) for irradiating the first polarizer (102); a liquid crystal cell (103) for receiving output light from the first polarizer (102), at an input side of which a direction (122) of alignment of liquid crystal molecules is parallel to a transmission axis (123) of the first polarizer (102); and a second polarizer (104) for receiving output light from the liquid crystal cell (103), which has a transmission axis (121) parallel to a direction (120) of alignment of liquid crystal molecules at an output side of the liquid crystal cell (103).

9. 发明公开

KR1019970071075A 액정디스플레이용 백라이트 失效
标题翻译：液晶显示器背光
公开(公告)号：KR1019970071075A
公开(公告)日：1997-11-07
申请号：KR1019970012614
申请日：1997-04-04
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 후쿠이아츠시 , 니시이간지 , 다카모토겐지 , 이토마사미 , 다카다가즈마사
IPC分类号： G02F1/1335
摘要： 형광등(1)과, 형광등(1)으로부터 출사된 광을 액정디스플레이 소자를 향하여 출사하는 도광체(2)와, 형광등(1)으로부터 출사된 광을 도광체(2)의 입사부를 향하여 반사하는 반사판(3)을 구비하고, 도광체(2)의 입사부(4)를 제1의 면(4a)과 제2의 면(4b)이 5~30도의 각도로 교차하는 쐐기형상으로 형성한다. 형광등(1)을 도광체(2)의 입사부(4)의 제2의 면(4b)과 대향하는 위치에 배설한다. 또, 반사판(3)은 도광체(20의 입사부(4)의 제1의 면(4a)을 따르는 제1의 직선부분(3a)과, 제1의 직선부분(3a)의 일단으로부터 포물선상으로 연장되는 포물선부분(3b)과, 도광체(2)의 입사부(4)의 제2의 면(4b)을 따르는 제2의 직선부분(3c)을 가진다. 반사판(3)에 의해 반사된 후, 형광등(1)에 재입사하는 광의 비율이 저감하고, 형광등(1)으로부터 출사된 광의 도광체(2)로의 입사효율이 향상되며 액정디스플레이용 백라이트의 휘도가 향상한다.

10. 发明公开

KR1019950001277A 변이의 측정방법 및 측정장치 失效
标题翻译：测量方法和测量装置的变化
公开(公告)号：KR1019950001277A
公开(公告)日：1995-01-03
申请号：KR1019940013057
申请日：1994-06-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 이토마사미 , 카토마코토 , 니시이칸지 , 후쿠이아쯔시 , 후지카와케이이치
IPC分类号： G01B11/16
摘要： 본 발명은 신호변조도특성을 향상하고, 정밀도높은 위치검출을 가능하게 한다.
본 발명은 이동물체의 변이의 측정방법과 측정장치에 관한 것이며, 예를들면, 회전체의 회전량, 회전각도 또는 이동체의 위치 등의 변이를 측정하기 위한 측정방법 및 측정장치에 관한 것으로서, 변조특성이 좋고, 정밀도가 높은 위치검출을 가능하게하고, 또, 회전판의 편심에 의한 누적오차가 없고, 허용편심향이 크고, 조립이 용이하고, 또, 광원의 사출광강도의 변동, 이동체와 수광부간의 거리를 충분히 넓힐 수 있고, 노이즈에 의한 위치검출정밀도의 열화가 적은 위치·각도측정방법과 이를 실현하는 측정장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 파장λ에서 빔직경D의 평행광을, 광의 광축에 대해서 대략 수직이며 또한 거리g를 사이에 두고 서로 평행으로 형성되어 있고 주요회절성분이 ±1차인 피치p의 회절격자를 가진 고정회 절판(13) 및 이동회절판(14)에 입사하고, 광축과 평행인 회절광을 입사동공직경이 D-2gλ/p 이내로 제한된 집광렌즈(15)에 의해 집광하여, 그 광량을 수광부(16)에서 검출하는 것을 특징으로 한 것이다.

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