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1. 发明公开

KR1020150125935A 기판 처리 장치, 마스크의 세트 방법, 막 형성 장치 및 막 형성 방법 审中-实审
标题翻译：基板处理装置，用于定位掩模的方法，用于形成膜的装置和形成膜的方法
公开(公告)号：KR1020150125935A
公开(公告)日：2015-11-10
申请号：KR1020157022665
申请日：2014-02-18
申请人： 토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
发明人： 혼다겐신 , 이와데다카시
IPC分类号： H01L51/00 , B05B15/04 , B05B5/025
CPC分类号： B05B12/20 , B05B5/025 , H01L51/0096
摘要： 기판과마스크사이에간극이발생하는것에기인하여마스크의개구패턴의전사성이나빠지는것을억제하는것이가능한기판처리장치를제공한다. 이일렉트로스프레이장치(100)(기판처리장치)는, 기판(5)의근방에배치되고, 소정의개구패턴을갖는마스크(3)를구비하고, 마스크(3)는, 마스크(3)의단부(3a) 근방이지지된상태에서, 마스크(3)의하방으로의휨 변형량(d2)이기판(5)의하방으로의휨 변형량(d1) 이하의크기, 즉, d2

2. 发明授权

KR100633554B1 방적사의 인장을 검출하는 장치 및 방적사 센서 失效
标题翻译：用于检测纱线张力和纱线传感器的装置
公开(公告)号：KR100633554B1
公开(公告)日：2006-10-16
申请号：KR1020000028691
申请日：2000-05-26
申请人： 토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
发明人： 이와데다카시 , 이마에마사즈미 , 신타니유키코
IPC分类号： D01H13/26
CPC分类号： G01L5/105 , B65H54/2812 , B65H54/2887 , B65H59/40 , B65H2553/41 , B65H2701/31
摘要： 본 발명의 방적사 인장 검출장치는, 권취기의 정점 가이드와 횡단장치 사이에 있는 방적사 위치센서와, 횡단장치 근방에 배치된 방적사 가이드 위치센서를 포함한다. 횡파의 겉보기 전파속도는 횡단장치에 의해 횡파가 전달될 때의 시간으로부터 방적사 위치센서에 의해 횡파가 검출될 때의 시간 까지의 시간 주기에 기초하여 측정되고, 횡파의 실제 전파속도는 겉보기 전파속도를 기초하여 계산되어 방적사의 인장을 계산한다. 방적사 위치센서는 2H/3

3. 发明授权

KR100335562B1 방적공정에서의실장력감시방법 失效
标题翻译：如何监控纺纱过程中的安装力
公开(公告)号：KR100335562B1
公开(公告)日：2002-10-25
申请号：KR1019980018971
申请日：1998-05-26
申请人： 토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
发明人： 이마에마사즈미 , 이와데다카시 , 신타니유키코
IPC分类号： D01H13/10
摘要： 방적공정은, 방사장치에 의해 방출된 실이 와인딩 장치에 의해 감기는 동안 실의 장력을 검출함으로써 감시된다. 실장력 센서로 검출된 실장력은 트래버스 속도 또는 와인딩 속도 등의 와인딩 상태의 변화율에 기초하여 보정하고, 보정된 장력을 기초로 방적공정이 정상상태인지 아닌지가 판단한다. 또, 이상판단기준을 와인딩 상태의 변화율에 기초하여 보정하고, 보정된 이상판단기준을 기초로 방적공정이 정상상태인지 아닌지를 판단한다.

4. 发明公开

KR1019980087366A 방적공정에서의실장력감시방법 失效
公开(公告)号：KR1019980087366A
公开(公告)日：1998-12-05
申请号：KR1019980018971
申请日：1998-05-26
申请人： 토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
发明人： 이마에마사즈미 , 이와데다카시 , 신타니유키코
IPC分类号： D01H13/10
摘要： 방적공정은, 방사장치에 의해 방사된 실이 와인딩 장치에 의해 감기는 동안 실의 장력을 검출함으로써 감시된다. 실장력 센서로 검출된 실장력은 트래버스 속도 또는 와인딩 속도등의 와인딩 상태의 변화율에 기초하여 보정되고, 보정된 장력을 기초로 방적공정이 정상상태인지 아닌지가 판단된다. 또, 이상판단기준은 와인딩 상태의 변화율에 기초하여 보정되고, 보정된 이상판단기준을 기초로 방적공정이 정상상태인지 아닌지가 판단된다.

5. 发明公开

KR1020160006790A 반도체 칩의 픽업 장치 审中-实审
标题翻译：半导体芯片拾取器件
公开(公告)号：KR1020160006790A
公开(公告)日：2016-01-19
申请号：KR1020157035433
申请日：2014-05-14
申请人： 토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
发明人： 아라이요시유키 , 이와데다카시 , 아오키심페이 , 히라타하지메 , 이케다무네카즈
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01L23/00
CPC分类号： H01L21/67132 , H01L21/6836 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/83 , H01L2221/68327 , H01L2224/27436 , H01L2224/2919 , H01L2224/83191
摘要： 점착시트에부착된반도체칩에스트레스에의한손상을부여하지않고, 또한확실하게점착시트로부터제거할수 있는반도체칩의픽업장치를제공한다. 구체적으로는, 점착시트에부착된반도체칩을콜릿에의해보유지지하여제거하는반도체칩의픽업장치이며, 점착시트를, 반도체칩이부착되어있지않은측으로부터지지하는스테이지를구비하고, 상기스테이지는, 픽업되는반도체칩을포함하는형상의개구부와, 상기개구부주변에서점착시트를흡착보유지지하는흡착면을갖고, 상기개구부내를대기압영역과감압영역으로분할하는격벽을구비하고, 상기격벽을이동시키는격벽이동수단을구비한것을특징으로하는반도체칩의픽업장치.

6. 发明公开

KR1020010039623A 방적사의 인장을 검출하는 장치 및 방적사 센서 失效
标题翻译：张力检测装置
公开(公告)号：KR1020010039623A
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1020000028691
申请日：2000-05-26
申请人： 토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
发明人： 이와데다카시 , 이마에마사즈미 , 신타니유키코
IPC分类号： D01H13/26
CPC分类号： G01L5/105 , B65H54/2812 , B65H54/2887 , B65H59/40 , B65H2553/41 , B65H2701/31
摘要： PURPOSE: A tension detecting device is provided to surely measure the average tension of a thread which is not affected by the tension rise of the thread caused by the inverting motion of the thread with accuracy without giving any influence to the quality of the thread. CONSTITUTION: A tension detecting device is provided with a thread position detecting means(4) which is positioned between a swinging fulcrum guide(1) and a traverse device(2) and detects the transverse wave caused by the device(2), a thread guiding position detecting means(3) positioned near the device(2), and a measuring means(5) which measures the apparent propagating speed of the transverse wave. The detecting device is also provided with an arithmetic means(6) which calculates the real propagating speed of the transverse wave. In the tension detecting device, the thread position detecting means(4) is set up at a position meeting a relation, 2H/3
摘要翻译：目的：提供一种张力检测装置，用于可靠地测量螺纹的平均张力，其不受螺纹的反转运动引起的螺纹的张力上升的影响，而不会对螺纹的质量产生任何影响。构成：张力检测装置设置有位于摆动支点导向件（1）和横动装置（2）之间的螺纹位置检测装置（4），并检测由装置（2）引起的横波，螺纹位于设备（2）附近的引导位置检测装置（3）和测量横波的表观传播速度的测量装置（5）。检测装置还具有计算横波的实际传播速度的算术装置（6）。在张力检测装置中，螺纹位置检测装置（4）设置在满足2H / 3

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