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1. 发明授权

KR101716524B1 기판 컨테이너 보관 시스템 有权
标题翻译：基板容器存储系统
公开(公告)号：KR101716524B1
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020117030281
申请日：2010-05-14
申请人： 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드
发明人： 보노라안토니씨 , 고울드리챠드에이치 , 크롤락마이클
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B65G1/04 , B66C17/06
CPC分类号： H01L21/6773 , H01L21/67769 , Y10S414/14
摘要： 보관시스템및 보관시스템을작동시키기위한방법이개시된다. 상기보관시스템은가공될기판을로딩하고언로딩하는데사용되는장비의높이보다더 높은위치에배치되는보관시스템어셈블리를포함한다. 상기보관시스템은기판의하나이상의컨테이너를국부적으로보관한다. 상기보관시스템어셈블리는복수개의보관선반을포함하고, 상기복수개의보관선반의각각은컨테이너를지지하기위한선반요부를갖는선반플레이트를갖는다. 상기복수개의보관선반의각각은수평적이동이가능하도록체인에결합되며하나이상의위치로안내가가능하도록레일에더 결합된다. 모터는체인을이동시키기위한구동스프로킷에결합되어, 상기복수개의보관선반의각각은하나이상의위치로상기레일을따라함께이동한다. 상기레일은선형인적어도일부의섹션및 비선형인일부의섹션을갖고, 상기섹션은루프에배열된다.
摘要翻译：公开了一种用于操作存储系统的存储系统和方法。存储系统包括存储系统组件，该存储系统组件位于高于用于装载和卸载待处理衬底的工具的高度的高度。存储系统本地存储一个或多个基板容器。存储系统组件包括多个存放架，并且多个存放架中的每一个具有用于支撑容器的具有搁板特征的搁板。多个存放架中的每一个都联接到链条以实现水平移动，并且每个存储架都进一步联接到轨道以使得能够引导到一个或多个位置。电动机联接到用于移动链条的驱动链轮，使得多个存放架中的每一个沿着轨道一起移动到一个或多个位置。轨道具有至少一些是线性的部分，并且一些部分是非线性的，并且这些部分被布置成循环。

2. 发明公开

KR1020170081285A 기판 컨테이너 보관 시스템과 연결하기 위한 일체형 시스템 审中-实审
标题翻译：集成系统用于连接衬底容器存储系统
公开(公告)号：KR1020170081285A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：KR1020177017992
申请日：2010-05-14
申请人： 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드
发明人： 보노라안토니씨 , 고울드리챠드에이치 , 크롤락마이클
IPC分类号： H01L21/677 , B65G1/04 , B66C17/06 , B66C11/06
CPC分类号： H01L21/6773 , B65G2201/0297 , B66C11/06 , B66C17/06 , H01L21/67769 , B65G1/0407 , H01L21/67736
摘要： 보관시스템및 보관시스템을작동시키기위한방법이개시된다. 상기보관시스템은가공될기판을로딩하고언로딩하는데사용되는장비의높이보다더 높은위치에배치되는보관시스템어셈블리를포함한다. 상기보관시스템은기판의하나이상의컨테이너를국부적으로보관한다. 상기보관시스템어셈블리는복수개의보관선반을포함하고, 상기복수개의보관선반의각각은컨테이너를지지하기위한선반요부를갖는선반플레이트를갖는다. 상기복수개의보관선반의각각은수평적이동이가능하도록체인에결합되며하나이상의위치로안내가가능하도록레일에더 결합된다. 모터는체인을이동시키기위한구동스프로킷에결합되어, 상기복수개의보관선반의각각은하나이상의위치로상기레일을따라함께이동한다. 상기레일은선형인적어도일부의섹션및 비선형인일부의섹션을갖고, 상기섹션은루프에배열된다. 상기보관시스템의예시적인구성은정지선반, 호이스트용연장수평트랙, 상기보관시스템어셈블리의레벨에서의컨베이어, 및수동로딩스테이션중 하나이상을포함할수 있다. 그러므로, 상기연장수평트랙을갖는호이스트는수동로딩스테이션과연결할수 있다.
摘要翻译：公开了一种用于操作存储系统和存储系统的方法。存储系统包括存储系统组件，该存储系统组件设置在比用于加载和卸载待处理衬底的设备的高度更高的位置处。存储系统本地存储基板的一个或多个容器。存储系统组件包括多个存储架，多个存储架中的每一个具有搁板，该搁板具有用于支撑容器的搁架凹部。多个储存架中的每一个联接至链条以便可水平移动并且进一步联接至导轨从而被引导至一个或多个位置。马达连接到用于移动链条的驱动链轮，使得多个储存架中的每一个沿轨道一起移动到一个或多个位置。导轨至少有一些部分是线性的，有些部分是非线性的，而且这些部分是环形排列的。存档可以包括的示例性悬浮guseongeun货架，水平延伸的轨道提升机，该系统组件的保管传送带eseoui水平，以及一个或多个该系统的手动装载站。因此，具有延长的水平轨道的提升机可以连接到手动装载站。

3. 发明公开

KR1020120050931A 기판 컨테이너 보관 시스템과 연결하기 위한 일체형 시스템 有权
标题翻译：用于与基板容器存储系统接口的集成系统
公开(公告)号：KR1020120050931A
公开(公告)日：2012-05-21
申请号：KR1020117030282
申请日：2010-05-14
申请人： 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드
发明人： 보노라안토니씨 , 고울드리챠드에이치 , 크롤락마이클
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B65G1/04 , B66C17/06
CPC分类号： H01L21/6773 , B65G2201/0297 , B66C11/06 , B66C17/06 , H01L21/67769 , B65G1/0407 , H01L21/67736
摘要： 보관 시스템 및 보관 시스템을 작동시키기 위한 방법이 개시된다. 상기 보관 시스템은 가공될 기판을 로딩하고 언로딩하는데 사용되는 장비의 높이보다 더 높은 위치에 배치되는 보관 시스템 어셈블리를 포함한다. 상기 보관 시스템은 기판의 하나 이상의 컨테이너를 국부적으로 보관한다. 상기 보관 시스템 어셈블리는 복수 개의 보관 선반을 포함하고, 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 컨테이너를 지지하기 위한 선반 요부를 갖는 선반 플레이트를 갖는다. 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 수평적 이동이 가능하도록 체인에 결합되며 하나 이상의 위치로 안내가 가능하도록 레일에 더 결합된다. 모터는 체인을 이동시키기 위한 구동 스프로킷에 결합되어, 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 하나 이상의 위치로 상기 레일을 따라 함께 이동한다. 상기 레일은 선형인 적어도 일부의 섹션 및 비선형인 일부의 섹션을 갖고, 상기 섹션은 루프로 배열된다. 상기 보관 시스템의 예시적인 구성은 정지 선반, 호이스트용 연장 수평 트랙, 상기 보관 시스템 어셈블리의 레벨에서의 컨베이어, 및 수동 로딩 스테이션 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 그러므로, 상기 연장 수평 트랙을 갖는 호이스트는 수동 로딩 스테이션과 연결할 수 있다.

4. 发明授权

KR101755047B1 기판 컨테이너 보관 시스템과 연결하기 위한 일체형 시스템 有权
公开(公告)号：KR101755047B1
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：KR1020117030282
申请日：2010-05-14
申请人： 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드
发明人： 보노라안토니씨 , 고울드리챠드에이치 , 크롤락마이클
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B65G1/04 , B66C17/06
CPC分类号： H01L21/6773 , B65G2201/0297 , B66C11/06 , B66C17/06 , H01L21/67769
摘要： 보관시스템및 보관시스템을작동시키기위한방법이개시된다. 상기보관시스템은가공될기판을로딩하고언로딩하는데사용되는장비의높이보다더 높은위치에배치되는보관시스템어셈블리를포함한다. 상기보관시스템은기판의하나이상의컨테이너를국부적으로보관한다. 상기보관시스템어셈블리는복수개의보관선반을포함하고, 상기복수개의보관선반의각각은컨테이너를지지하기위한선반요부를갖는선반플레이트를갖는다. 상기복수개의보관선반의각각은수평적이동이가능하도록체인에결합되며하나이상의위치로안내가가능하도록레일에더 결합된다. 모터는체인을이동시키기위한구동스프로킷에결합되어, 상기복수개의보관선반의각각은하나이상의위치로상기레일을따라함께이동한다. 상기레일은선형인적어도일부의섹션및 비선형인일부의섹션을갖고, 상기섹션은루프에배열된다. 상기보관시스템의예시적인구성은정지선반, 호이스트용연장수평트랙, 상기보관시스템어셈블리의레벨에서의컨베이어, 및수동로딩스테이션중 하나이상을포함할수 있다. 그러므로, 상기연장수평트랙을갖는호이스트는수동로딩스테이션과연결할수 있다.

5. 发明公开

KR1020120055493A 기판 컨테이너 보관 시스템 有权
标题翻译：基板容器存储系统
公开(公告)号：KR1020120055493A
公开(公告)日：2012-05-31
申请号：KR1020117030281
申请日：2010-05-14
申请人： 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드
发明人： 보노라안토니씨 , 고울드리챠드에이치 , 크롤락마이클
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B65G1/04 , B66C17/06
CPC分类号： H01L21/6773 , H01L21/67769 , Y10S414/14 , B65G1/0407 , B65G2201/0297 , B66C17/06 , H01L21/67736
摘要： 보관 시스템 및 보관 시스템을 작동시키기 위한 방법이 개시된다. 상기 보관 시스템은 가공될 기판을 로딩하고 언로딩하는데 사용되는 장비의 높이보다 더 높은 위치에 배치되는 보관 시스템 어셈블리를 포함한다. 상기 보관 시스템은 기판의 하나 이상의 컨테이너를 국부적으로 보관한다. 상기 보관 시스템 어셈블리는 복수 개의 보관 선반을 포함하고, 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 컨테이너를 지지하기 위한 선반 요부를 갖는 선반 플레이트를 갖는다. 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 수평적 이동이 가능하도록 체인에 결합되며 하나 이상의 위치로 안내가 가능하도록 레일에 더 결합된다. 모터는 체인을 이동시키기 위한 구동 스프로킷에 결합되어, 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 하나 이상의 위치로 상기 레일을 따라 함께 이동한다. 상기 레일은 선형인 적어도 일부의 섹션 및 비선형인 일부의 섹션을 갖고, 상기 섹션은 루프로 배열된다.
摘要翻译：公开了一种用于操作存储系统的存储系统和方法。存储系统包括存储系统组件，该存储系统组件位于高于用于装载和卸载待处理衬底的工具的高度的高度。存储系统本地存储一个或多个基板容器。存储系统组件包括多个存放架，并且多个存放架中的每一个具有用于支撑容器的具有搁板特征的搁板。多个存放架中的每一个都联接到链条以实现水平移动，并且每个存储架都进一步联接到轨道以使得能够引导到一个或多个位置。电动机联接到用于移动链条的驱动链轮，使得多个存放架中的每一个沿着轨道一起移动到一个或多个位置。轨道具有至少一些是线性的部分，并且一些部分是非线性的，并且这些部分被布置成循环。

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