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1. 发明授权

KR100950641B1 검사 시스템 및 장치 有权
标题翻译：检查系统和装置
公开(公告)号：KR100950641B1
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：KR1020077020655
申请日：2006-03-06
申请人： 큐셉트 테크놀로지스 인크.
发明人： 스틸엠.,브랜던 , 호손,제프리앨런
IPC分类号： G01N27/00 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/312 , G01N27/002 , G01N2033/0095
摘要： 샘플의 표면 상의 결함이나 오염물질을 식별하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 상기 시스템은 표면을 가로지르는 일함수의 변화를, vCPD와 nvCPD 모두를 통해 검출함으로써 동작한다. 전체 샘플에 걸친 일함수 추이를 이미징하기 위한 비-진동 접촉 전위차(nvCPD) 센서를 사용한다. 데이터는 차등적이며, 이는 샘플 표면에 걸쳐 일함수(또는 기하학적 형태, 또는 표면 전압)의 변화를 나타낸다. vCPD 프로브가 사용되어 샘플의 표면 상의 특정 포인트에 대한 절대 CPD 데이터를 결정한다. 진동 CPD와 비-진동 CPD 측정 모드의 조합에 의해, 전체 샘플의 신속한 이미징이 가능해지고, 하나 이상의 포인트에서의 절대 일함수를 검출하는 것이 가능해진다.

2. 发明公开

KR1020070112156A 검사 시스템 및 장치 有权
标题翻译：检查系统和装置
公开(公告)号：KR1020070112156A
公开(公告)日：2007-11-22
申请号：KR1020077020655
申请日：2006-03-06
申请人： 큐셉트 테크놀로지스 인크.
发明人： 스틸엠.,브랜던 , 호손,제프리앨런
IPC分类号： G01N27/00 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/312 , G01N27/002 , G01N2033/0095
摘要： A method and system for identifying a defect or contamination on a surface of a sample. The system operates by detecting changes in work function across a surface via both vCPD and nvCPD. It utilizes a non-vibrating contact potential difference (nvCPD) sensor for imaging work function variations over an entire sample. The data is differential in that it represents changes in the work function (or geometry or surface voltage) across the surface of a sample. A vCPD probe is used to determine absolute CPD data for specific points on the surface of the sample. The combination of vibrating and non-vibrating CPD measurement modes allows the rapid imaging of whole-sample uniformity, and the ability to detect the absolute work function at one or more points.
摘要翻译：用于识别样品表面上的缺陷或污染物的方法和系统。该系统通过检测通过vCPD和nvCPD的表面上的功函数的变化来进行操作。它使用非振动接触电位差（nvCPD）传感器来对整个样品的功函数变化进行成像。数据是差异的，因为它表示样品表面上的功函数（或几何或表面电压）的变化。 vCPD探针用于确定样品表面上特定点的绝对CPD数据。振动和非振动CPD测量模式的组合允许全样本均匀性的快速成像，以及在一个或多个点处检测绝对功能的能力。

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