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1. 发明公开

KR1020010079879A 자기 터널 접합소자의 제조방법 无效
标题翻译：磁性隧道结装置的制造方法
公开(公告)号：KR1020010079879A
公开(公告)日：2001-08-22
申请号：KR1020017003596
申请日：2000-07-17
申请人： 코닌클리케 필립스 엔.브이.
发明人： 아델러호프데르크제이. , 코에호오른레인더 , 반존요아네스비.에이.디.
IPC分类号： H01L43/00
摘要： 2개의 자기층(3, 7)과 그 사이에 연장되는 장벽층(5)을 구비한 적층체(1)가 형성된 자기 터널 접합소자의 제조방법이 개시된다. 자기층들 중 한개가 에칭을 사용하여 형성되고, 에칭과정 동안, 잔류층(7r)이 잔류할 때까지 물질을 제거함으로써 이 층의 일부분이 더 얇아지게 된다. 이와 같은 잔류층은 화학 변환에 의해 패시베이션된다. 이 방법에 있어서, 구조화할 예정이 아닌 자기층이 나머지 자기층의 형성 동안에 악영향을 받게 되는 것이 방지된다.

2. 发明公开

KR1020010040513A 적층체의 형성방법 无效
标题翻译：形成层压板的方法
公开(公告)号：KR1020010040513A
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1020007008376
申请日：1999-11-19
申请人： 코닌클리케 필립스 엔.브이.
发明人： 반존요아네스비.에이.디. , 토이니센게라르두스에스.에이.엠.
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： G11B5/3919 , G11B5/3106 , G11B5/3116 , G11B5/313 , G11B5/3163 , G11B5/3166 , G11B11/10534 , Y10T29/49041 , Y10T29/49043 , Y10T29/49044 , Y10T29/49046
摘要： 함몰부(107)를갖는제 1 층(105)과, 제 1 층위에적층되어함몰부를채우는제 2 층(117)을사용하는적층체의형성방법이제공된다. 제 2 층을형성한후, 연마처리가수행되어평탄하고평활한표면(119)을생성한다. 제 2 층을형성하기전에중간층(109)이형성되는데, 이중간층은, 연마처리에대해저기효과를미치기위해제 2 층의물질보다더 큰저항을갖는물질의적층에의해형성된다. 상기한처리는, 중간층에도달한후에중단될수 있다.

3. 发明公开

KR1020010075246A 자기 터널 접합소자의 제조방법 无效
公开(公告)号：KR1020010075246A
公开(公告)日：2001-08-09
申请号：KR1020017003597
申请日：2000-07-17
申请人： 코닌클리케 필립스 엔.브이.
发明人： 반존요아네스비.에이.디.
IPC分类号： G11B5/39
摘要： 2개의 전극층(3, 7)과 그 사이에 연장되는 장벽층(5)을 구비한 적층체(1)가 형성된 자기 터널 접합소자의 제조방법이 개시된다. 자기층들 중 한개가 에칭을 사용하여 형성되고, 에칭과정 동안, 잔류층(7r)이 잔류할 때까지 물질을 제거함으로써 이 층의 일부분이 제조된다. 그후, 이와 같은 잔류층은, 적어도 일부의 하전된 입자가 잔류층의 자성 물질의 스퍼터링 임계값과 장벽층의 비자성 물질의 스퍼터링 임계값 사이에 있는 운동 에너지를 갖는 물리적 에칭을 사용하여 제거된다. 관련된 방법에 있어서는, 구조화할 예정이 아닌 전극층이 나머지 전극층의 형성 동안에 악영향을 받게 되는 것이 방지된다.

4. 发明公开

KR1020020033154A 자기소자의 제조방법 无效
标题翻译：制造磁性元件的方法
公开(公告)号：KR1020020033154A
公开(公告)日：2002-05-04
申请号：KR1020027000256
申请日：2001-04-23
申请人： 코닌클리케 필립스 엔.브이.
发明人： 반존요아네스비.에이.디.
IPC分类号： G11B5/84
CPC分类号： H01F41/02 , G11B5/1272 , G11B5/1871 , G11B5/3116 , G11B5/313 , G11B5/3163 , H01F41/14
摘要： 저장매체상의정보밀도를증가시키기위해, 기록된자기패턴의트랙폭이점점더 작아진다. 이것은적절한자속안내부재를갖는기록헤드를필요로한다. 본명세서에개시된방법은이와같은자속안내부재를제공한다. 이방법은, 충분한두께를갖는비자기층(3)을적층하는단계와, 비자기층을이방성에칭하여자속안내부재의필요한위치에적절한치수를갖는가파른벽을형성하는단계와, 자기물질을적층하여, 자기층이필요한트랙폭에대응하는두께를갖도록벽 위에자기층(9)을형성하는단계와, 벽위에자기층을유지하면서, 원치않는자기물질의적층물을제거하는단계와, 절연물질(19a)을적층하여자기층을덮는단계를포함한다.
摘要翻译：为了增加存储介质上的信息密度，写入的磁性图案的磁道宽度越来越小。这需要具有适当磁通导向器的写头。该专利文献中公开的方法提供了这种通量引导件。该方法包括以下步骤：沉积足够厚度的非磁性层（3）; 各向异性地蚀刻非磁性层，以在助焊剂的所需位置形成适当尺寸的陡壁; 沉积磁性材料以在壁上形成磁性层（9），使得磁性层具有对应于所需轨道宽度的厚度; 去除不需要的磁性材料沉积物，但将磁层保持在壁上; 沉积绝缘材料（19a）以覆盖磁性层。

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