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1. 发明公开

KR1020140125466A 기판처리장치 有权
标题翻译：基板处理装置
公开(公告)号：KR1020140125466A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：KR1020130042275
申请日：2013-04-17
申请人： 주식회사 제우스
发明人： 이승훈 , 박지호 , 모성원 , 정석준 , 최문섭 , 김태훈 , 이전근 , 이현재 , 장항 , 임율규 , 김혜진 , 송진영
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L51/56
CPC分类号： H01L21/6773 , B65G49/061 , B65G49/062 , G02F1/1303 , H01L21/67766 , H01L21/67793
摘要： 기판처리장치에 관한 발명이 개시된다. 개시된 기판처리장치는 기판이 이격 적층되는 카세트부가 구비되는 카세트유닛과, 기판 또는 카세트부를 운반하는 이송유닛과, 기판 또는 카세트부를 반전시키는 반전유닛 및 반전유닛을 통해 반전된 기판을 처리하는 처리유닛을 포함하고, 이송유닛은, 카세트유닛과 반전유닛 사이에서 기판 또는 카세트부를 운반하는 제1이송유닛 및 반전유닛과 처리유닛 사이에서 기판을 운반하는 제2이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：公开了一种基板处理装置。所公开的基板处理装置包括：盒单元，其包括单独堆叠基板的盒部; 传送单元，其传送基板或盒部; 反转单元，其反转基板或盒部; 以及处理单元，其处理由所述反转单元反转的所述基板。传送单元包括：第一传送单元，其在盒单元和翻转单元之间传送基板或盒部分; 以及第二转印单元，其在所述反转单元和所述处理单元之间传送所述基板。

2. 发明授权

KR101441978B1 태양전지 전해액 주입 장치 및 태양전지 전해액 주입 방법 有权
标题翻译：太阳电池电解液注入装置及电解液注入方法
公开(公告)号：KR101441978B1
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：KR1020130036542
申请日：2013-04-03
申请人： 주식회사 제우스
发明人： 이승훈 , 이현재 , 이전근 , 박지호 , 임율규 , 최문섭 , 김태훈 , 김혜진
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： Y02E10/50 , H01L31/042 , H01L31/18
摘要： The present invention relates to an electrolyte injection apparatus of a solar battery and an electrolyte injection method for solar battery. The apparatus comprises a vacuum housing sealing a substrate of a solar battery with multiple cells having holes; an electrolyte supply unit connected with the vacuum housing; a vacuum pump connected with the vacuum housing; a sealing member arranged inside the vacuum housing to be moved, and sealing the holes on the substrate of the solar battery to separate an inner space of the vacuum housing and an inner spaces of the cells; and a moving unit moving the sealing member to open and close the holes.
摘要翻译：本发明涉及太阳能电池的电解液注入装置和太阳能电池的电解液注入方法。该装置包括密封具有多个具有孔的电池的太阳能电池的基板的真空壳体; 与所述真空壳体连接的电解质供给单元; 与真空壳体连接的真空泵; 设置在所述真空壳体内部以移动的密封构件，并密封所述太阳能电池的基板上的孔，以分离所述真空壳体的内部空间和所述单元的内部空间; 以及移动单元移动密封构件以打开和关闭孔。

3. 发明授权

KR101421547B1 수직형 기판 처리 장치와 방법 有权
标题翻译：垂直型设备及其处理方法
公开(公告)号：KR101421547B1
公开(公告)日：2014-07-28
申请号：KR1020130024089
申请日：2013-03-06
申请人： 주식회사 제우스
发明人： 이승훈 , 박지호 , 모성원 , 정석준 , 최문섭 , 김태훈 , 이전근 , 이현재 , 장항 , 임율규 , 김혜진 , 송진영
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： H01L21/67028 , H01L21/68742
摘要： Disclosed are a vertical type device and a method for treating a substrate. The vertical type device for treating a substrate includes a process chamber part which has a process space for vertically receiving a substrate with regard to a bottom surface and moving the substrate in a height direction, a nozzle chamber part which has a receiving space which is connected to the process space by the medium of a connection part, a connection opening/closing part which opens/closes the connection part, an elevating part which is formed in the process space and elevates and supports the substrate, and a cluster generation part which is formed in the receiving space and changes a process gas into a gas cluster type and supplies it.
摘要翻译：公开了垂直型装置和处理基板的方法。用于处理基板的垂直型装置包括处理室部分，该处理室部分具有用于垂直地接收基板的工作空间，用于相对于底部表面并在高度方向上移动基板;喷嘴室部分，其具有连接的接收空间通过连接部件的介质到达处理空间，打开/关闭连接部分的连接打开/关闭部分，形成在处理空间中并升高和支撑基板的升降部分，以及簇生成部件形成在接收空间中并将处理气体改变为气体簇型并提供。

4. 发明授权

KR101472976B1 기판처리장치 有权
标题翻译：基板处理设备
公开(公告)号：KR101472976B1
公开(公告)日：2014-12-18
申请号：KR1020130042275
申请日：2013-04-17
申请人： 주식회사 제우스
发明人： 이승훈 , 박지호 , 모성원 , 정석준 , 최문섭 , 김태훈 , 이전근 , 이현재 , 장항 , 임율규 , 김혜진 , 송진영
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L51/56
摘要： 기판처리장치에관한발명이개시된다. 개시된기판처리장치는기판이이격적층되는카세트부가구비되는카세트유닛과, 기판또는카세트부를운반하는이송유닛과, 기판또는카세트부를반전시키는반전유닛및 반전유닛을통해반전된기판을처리하는처리유닛을포함하고, 이송유닛은, 카세트유닛과반전유닛사이에서기판또는카세트부를운반하는제1이송유닛및 반전유닛과처리유닛사이에서기판을운반하는제2이송유닛을포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：公开了涉及基板处理设备的发明。用于处理通过所公开的基板处理值反转单元和反转基底衬底的反转单元的处理单元被隔开设置有盒部，基板，或盒体单元层压盒单元承载转印单元和衬底或盒部用于反转该和输送单元的特征在于，它包括一个盒体单元和反转单元之间的第二传送单元，用于传送所述第一传送单元和反转单元和处理单元之间的基板用于输送盒的基板或部件。

5. 发明授权

KR101421548B1 기판처리장치 有权
标题翻译：基板处理装置
公开(公告)号：KR101421548B1
公开(公告)日：2014-07-29
申请号：KR1020130042276
申请日：2013-04-17
申请人： 주식회사 제우스
发明人： 이승훈 , 박지호 , 모성원 , 정석준 , 최문섭 , 김태훈 , 이전근 , 이현재 , 장항 , 임율규 , 김혜진 , 송진영
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/02 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/6773 , B65G49/061 , B65G49/062 , G02F1/1303 , H01L21/67766 , H01L21/67793
摘要： A substrate processing device is disclosed. The disclosed substrate processing device comprises a cassette unit having a cassette part which a substrate is separated from and stacked on; and a transfer unit to transfer the substrate or the cassette unit; and a processing unit to process the substrate. The processing unit includes a processing chamber unit having a processing space in which the substrate is accommodated; a nozzle chamber unit in which an accommodation space communicated with the processing space is included; a communication unit in which a communication space for communicating the processing space with the accommodation space; and a communication opening/closing unit for opening/closing the communication space; a processing transfer unit formed in the processing space to slide or rotate the substrate; and a cluster generation unit formed in the accommodation space to convert a process gas into a gas cluster type to be supplied.
摘要翻译：公开了一种基板处理装置。所公开的基板处理装置包括具有基板与基板分离并堆叠的盒部分的盒单元; 以及转印单元，用于转印所述基板或所述盒单元; 以及处理基板。处理单元包括处理室单元，其具有容纳基板的处理空间; 喷嘴室单元，其中包括与处理空间连通的容纳空间; 通信单元，其中用于将处理空间与容纳空间通信的通信空间; 以及用于打开/关闭通信空间的通信打开/关闭单元; 处理转移单元，形成在所述处理空间中以使所述基板滑动或旋转; 以及形成在容纳空间中以将处理气体转换成要供应的气体簇型的簇生成单元。

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