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1. 发明公开

KR1020150081903A 내구성이 향상된 반도체 제조공정의 유해가스 처리용 촉매 有权
标题翻译：具有改善半导体制造过程中生成的危险气体的耐久性的催化剂
公开(公告)号：KR1020150081903A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：KR1020140001871
申请日：2014-01-07
申请人： 주식회사 이우이엔티 , 삼성엔지니어링 주식회사 , 주식회사 퓨어스피어
发明人： 신상무 , 이현호 , 최성수 , 최영아 , 박대열 , 전영신 , 박현수 , 정창환 , 최균 , 이진구
IPC分类号： B01J23/46 , B01J23/40 , F01N3/20
CPC分类号： B01J23/002 , B01J21/00 , B01J23/40 , B01J37/0215 , B01J2523/00
摘要： 본발명은반도체제조공정에서발생하는유해가스의처리촉매에관한것으로, 더욱상세하게는, 반도체배기가스중에포함된촉매피독물질에대한내구성이향상된촉매에관한것이다. 무기물담체와페롭스카이트형복합산화물이혼합된혼합무기물담체와, 상기혼합무기물담체에담지된귀금속성분을포함하고, W, Mn, Cu, Zn 중에서선택된전이금속의산화물 1종이상이상기혼합무기물담체의표면에코팅된촉매에의해서, 반도체제조공정중의유해폐가스를처리함에있어축열연소공정후단에서발생하는미제거악취유해가스를높은효율로처리할수 있으며, 상기미제거악취유해가스에포함된실란계, 할로겐계, 황화합물계등의촉매피독물질에도높은내구성을지닌촉매를제공함으로써촉매의교체주기를연장하여폐가스처리의경제성을제고한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于处理在半导体制造工艺中产生的危险气体的催化剂，更具体地说，涉及一种对包含在半导体废气中的催化剂中毒材料具有改善的耐久性的催化剂。催化剂包括混合无机载体，其中无机载体与钙钛矿型复合氧化物和携带在混合无机载体中的贵金属组分混合，涂覆有一种或多种选自W，Mn，Cu的过渡金属的氧化物，以及 Zn在混合无机载体的表面上，并且可以在再生燃烧过程的后端产生的未被除去的有害气体以高效率处理半导体制造过程中的有害废气。提供对催化剂中毒材料具有高耐久性的催化剂，如未被除去的不良气味的有害气体中包含的硅烷类，卤素系，硫化合物类材料，延长催化剂的更换周期，提高经济效益在处理废气时。

2. 发明授权

KR101537995B1 내구성이 향상된 반도체 제조공정의 유해가스 처리용 촉매 有权
标题翻译：具有改善耐久性的催化剂，用于处理半导体制造过程中产生的有害气体
公开(公告)号：KR101537995B1
公开(公告)日：2015-08-20
申请号：KR1020140001871
申请日：2014-01-07
申请人： 주식회사 이우이엔티 , 삼성엔지니어링 주식회사 , 주식회사 퓨어스피어
发明人： 신상무 , 이현호 , 최성수 , 최영아 , 박대열 , 전영신 , 박현수 , 정창환 , 최균 , 이진구
IPC分类号： B01J23/46 , B01J23/40 , F01N3/20
摘要： 본발명은반도체제조공정에서발생하는유해가스의처리촉매에관한것으로, 더욱상세하게는, 반도체배기가스중에포함된촉매피독물질에대한내구성이향상된촉매에관한것이다. 무기물담체와페롭스카이트형복합산화물이혼합된혼합무기물담체와, 상기혼합무기물담체에담지된귀금속성분을포함하고, W, Mn, Cu, Zn 중에서선택된전이금속의산화물 1종이상이상기혼합무기물담체의표면에코팅된촉매에의해서, 반도체제조공정중의유해폐가스를처리함에있어축열연소공정후단에서발생하는미제거악취유해가스를높은효율로처리할수 있으며, 상기미제거악취유해가스에포함된실란계, 할로겐계, 황화합물계등의촉매피독물질에도높은내구성을지닌촉매를제공함으로써촉매의교체주기를연장하여폐가스처리의경제성을제고한다.

3. 发明授权

KR100906997B1 다공성 메디아를 이용한 가스정화용 유동층 스크러버 有权
标题翻译：流化床洗涤器使用多孔介质进行气体净化
公开(公告)号：KR100906997B1
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：KR1020070140234
申请日：2007-12-28
申请人： 엔텍이앤씨 주식회사 , 삼성엔지니어링 주식회사
发明人： 정대일 , 최근호 , 최태열 , 백남준 , 황경호 , 최희식 , 임성진 , 신상무 , 이현호 , 남궁경 , 이조영
IPC分类号： B01D53/02
摘要： 본 발명은 고분자 재료를 사용하여 만든 다공성 메디아 형태의 유동상을 스크러버내 일정장소에서 가스와 세정액의 흐름을 이용하여 유동시킴으로써 압력손실을 줄이고 혼합효과 상승에 의한 세정효과를 제고하는 한편 충전물을 사용하는 모든 장치에서 발생하는 막힘현상을 줄여주는 3상 유동층 스크러버에 관한 것이다. 유동층 스크러버는 같은 용량의 충전층이나 판형의 스크러버에 비해 넓은 접촉 표면적을 가지고 있기 때문에 좀 더 작은 규모의 설비로도 효과적으로 목적을 달성할 수 있다. 충전물의 유동에 따른 기체와 액체간 혼합효과 상승, 충전물 표면에 침적되어 결국 막힘현상을 초래하는 입자들의 자정작용 등의 효과도 얻을 수 있다. 충전물로 적용되는 다공성 메디아는 제조 시 기공크기와 비중의 조절이 가능하여 스크러버에서 요구되는 최적의 유동화 조건을 유지할 수 있으며 가스 및 가스에 수반된 입자까지 동시에 제거할 수 있다.
다공성 메디아, 유동층 스크러버, 가스분배기, 세정관

4. 发明公开

KR1020160043454A 백연 저감 수단을 구비하는 수평식 냉각탑 有权
标题翻译：卧式冷却塔具有喷淋装置
公开(公告)号：KR1020160043454A
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：KR1020140137856
申请日：2014-10-13
申请人： 삼성엔지니어링 주식회사
发明人： 신상무 , 이현호 , 최성수 , 최영아 , 전영신 , 박현수
IPC分类号： F28C1/02 , F28C1/16
CPC分类号： F28C1/02 , B03C3/00 , F28C1/16 , F28F25/00
摘要： 백연저감수단을구비하는수평식냉각탑이개시된다. 개시된수평식냉각탑은하우징, 상기하우징의내부에배치되어고온의냉각수를외기와접촉시켜저온의냉각수로전환시키는것으로, 서로간에물질이동이제한또는차단된습식부와건식부를포함하는냉각부, 상기냉각부의전단부및 상부중 적어도한 곳에배치되어상기냉각부에냉각수를분사하는냉각수분배부, 상기습식부로부터배출된제1 공기와상기건식부로부터배출된제2 공기가접촉하여백연이발생하는백연발생부, 상기하우징의내부또는외부로서상기냉각부의후단에배치되어상기백연발생부에서발생한백연을포집하는백연포집부, 및상기하우징의내부또는외부에배치된배기수단을포함하고, 상기외기는중력방향과교차하는방향으로상기냉각부를통과한다.
摘要翻译：公开了一种具有羽流消除装置的卧式冷却塔。所公开的水平冷却塔包括：壳体; 冷却单元放置在壳体中以使高温冷却水与外部空气接触并变成低温冷却水，其包括湿式单元和干燥单元，材料的运动受到限制，堵塞; 冷却水分配单元放置在冷却单元的前端单元和顶部单元中的一个或两个上，以将冷却水喷射到冷却单元; 羽流发生单元，其中从湿式单元排放的第一空气产生羽流，与从干燥单元排出的第二空气接触; 羽流收集单元，其放置在所述壳体的内部或外部的所述冷却单元的后端，以收集在所述羽流产生单元中产生的羽流; 以及放置在壳体内部或外部的排气装置。外部空气沿着重力方向穿过冷却单元。

5. 发明公开

KR1020140034601A 폐가스 처리장치 有权
标题翻译：用于处理废气的装置
公开(公告)号：KR1020140034601A
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：KR1020120101146
申请日：2012-09-12
申请人： 삼성엔지니어링 주식회사
发明人： 이현호 , 임성진 , 최성수 , 최영아
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/6704 , F16L55/07 , H01L21/02041
摘要： The present invention relates to an apparatus for treating a waste gas. According to the embodiment of the present invention, the apparatus for treating a waste gas includes a first discharging pipe, a micro liquid drop generator which is arranged in the first discharging pipe, and a wet type cleaner which is combined with the first discharging pipe. More particularly, the present invention relate to an apparatus for treating a waste gas which includes a waste gas cleaning solution which includes water and/or surfactant.
摘要翻译：本发明涉及废气处理装置。根据本发明的实施例，废气处理装置包括第一排出管，布置在第一排出管中的微液滴发生器和与第一排出管组合的湿式清洁器。更具体地说，本发明涉及一种处理废气的装置，其包括含有水和/或表面活性剂的废气清洗溶液。

6. 发明公开

KR1020090072197A 다공성 메디아를 이용한 가스정화용 유동층 스크러버 有权
标题翻译：使用多孔介质进行气体净化的流化床式清洗机
公开(公告)号：KR1020090072197A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：KR1020070140234
申请日：2007-12-28
申请人： 엔텍이앤씨 주식회사 , 삼성엔지니어링 주식회사
发明人： 정대일 , 최근호 , 최태열 , 백남준 , 황경호 , 최희식 , 임성진 , 신상무 , 이현호 , 남궁경 , 이조영
IPC分类号： B01D53/02
摘要： A fluidized bed scrubber for gas purification is provided to offer excellent removal efficiency of gas and a wide operation range compared with a conventional fluidized bed, and to minimize size of the whole system efficiently. A fluidized bed scrubber for gas purification includes a gas introduction portion(1), a washing pipe(2), a droplet removing portion(3), a fluidized bed(4), a gas distributor(41), a first mesh net(42), and a second mesh net(44). The toxic gas purified through the gas introduction portion is flowed into the inside of a container. The fluidized bed is comprised of a plurality of porous media(43). The washing pipe supplies cleaning water to the fluidized bed. The droplet removing portion removes a minute water drop included in exhaust gas passing through the fluidized bed. The gas distributor is installed at a lower part of the fluidized bed, and supports the fluidized bed.
摘要翻译：提供了用于气体净化的流化床洗涤器，以提供与常规流化床相比优异的气体除去效率和宽的操作范围，并且有效地使整个系统的尺寸最小化。用于气体净化的流化床洗涤器包括气体引入部分（1），洗涤管（2），液滴去除部分（3），流化床（4），气体分配器（41），第一网状网 42）和第二网状网（44）。通过气体导入部分净化的有毒气体流入容器的内部。流化床由多个多孔介质（43）组成。清洗管道向流化床提供清洁水。液滴去除部分除去通过流化床的废气中包含的微小水滴。气体分配器安装在流化床的下部，并支撑流化床。

7. 发明授权

KR101661304B1 백연 저감 수단을 구비하는 수평식 냉각탑 有权
标题翻译：卧式冷却塔具有羽流减压装置
公开(公告)号：KR101661304B1
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：KR1020140137856
申请日：2014-10-13
申请人： 삼성엔지니어링 주식회사
发明人： 신상무 , 이현호 , 최성수 , 최영아 , 전영신 , 박현수
IPC分类号： F28C1/02 , F28C1/16
摘要： 백연저감수단을구비하는수평식냉각탑이개시된다. 개시된수평식냉각탑은하우징, 상기하우징의내부에배치되어고온의냉각수를외기와접촉시켜저온의냉각수로전환시키는것으로, 서로간에물질이동이제한또는차단된습식부와건식부를포함하는냉각부, 상기냉각부의전단부및 상부중 적어도한 곳에배치되어상기냉각부에냉각수를분사하는냉각수분배부, 상기습식부로부터배출된제1 공기와상기건식부로부터배출된제2 공기가접촉하여백연이발생하는백연발생부, 상기하우징의내부또는외부로서상기냉각부의후단에배치되어상기백연발생부에서발생한백연을포집하는백연포집부, 및상기하우징의내부또는외부에배치된배기수단을포함하고, 상기외기는중력방향과교차하는방향으로상기냉각부를통과한다.

8. 发明授权

KR101406229B1 폐가스 처리장치 有权
标题翻译：废气处理设备
公开(公告)号：KR101406229B1
公开(公告)日：2014-06-12
申请号：KR1020120101146
申请日：2012-09-12
申请人： 삼성엔지니어링 주식회사
发明人： 이현호 , 임성진 , 최성수 , 최영아
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 폐가스 처리장치가 개시된다. 개시된 폐가스 처리장치는 가스 입구를 포함하는 제1 배기관, 상기 제1 배기관내에 배치된 마이크로액적 발생기, 및 상기 제1 배기관과 연통된 습식 세정기를 구비한다.

9. 发明公开

KR1020170123546A 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치 审中-实审
标题翻译：清洁集尘器用于联合废气处理
公开(公告)号：KR1020170123546A
公开(公告)日：2017-11-08
申请号：KR1020160053550
申请日：2016-04-29
申请人： 삼성엔지니어링 주식회사
发明人： 전영신 , 신상무 , 이조영 , 이현호 , 이득용 , 최호영 , 박영태 , 이광신 , 배성제 , 윤성희 , 구준모
IPC分类号： B01D46/00 , B01D47/06 , B01D47/12 , B01D53/78 , B01F5/00 , B01D46/42 , B01D46/12
摘要： 복합폐가스처리용세정집진장치가개시된다. 개시된복합폐가스처리용세정집진장치는서로연통된폐가스유입통로, 세정실및 폐가스유출통로를차례로포함하는본체, 상기폐가스유입통로내에배치된와류형성기, 상기세정실내에배치되어상기세정실의내부공간을적어도부분적으로차폐하는하이브리드필터, 상기세정실내에배치되어세정액을분사하는분사노즐및 상기세정실내의상기세정액분사노즐의후단에배치된미로형집진기를구비한다.
摘要翻译：公开了用于组合废气处理的清洁和集尘设备。用于处理集尘器所公开的复合材料的废气清洁被布置在旋流器，设置在所述主体的清洁室，包含废气入口通道，清洁室，并与对方，然后在连通的废气出口通道的废气入口通道清洁碎内部空间它包括至少一个混合滤波器，设置在所述喷嘴的后端处的迷宫式除尘器和洗涤室，其被布置在所述洗涤室喷射的清洗液，以部分地屏蔽的清洗液喷嘴。

10. 发明授权

KR101661601B1 폐가스로부터의 VOC 제거 및 악취 개선 장치 有权
标题翻译： VOC用于去除VOC并减少废气的不良气味的设备
公开(公告)号：KR101661601B1
公开(公告)日：2016-09-30
申请号：KR1020130141749
申请日：2013-11-20
申请人： 삼성엔지니어링 주식회사
发明人： 신상무 , 이현호 , 최성수 , 최영아 , 박대열 , 전영신 , 박현수
IPC分类号： B01D53/86 , B01D53/74
CPC分类号： Y02A50/235
摘要： 폐가스로부터의 VOC(volatile organic compond) 제거및 악취개선장치가개시된다. 개시된폐가스로부터의 VOC 제거및 악취개선장치는직결연결된복수의촉매산화유닛을구비한다.

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