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1. 发明公开

KR1020120023430A 웨이퍼 에지 검출방법 无效
标题翻译：检测波形边的方法
公开(公告)号：KR1020120023430A
公开(公告)日：2012-03-13
申请号：KR1020100086579
申请日：2010-09-03
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 권용락 , 최영준
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/78
CPC分类号： H01L22/12
摘要： PURPOSE: A wafer edge detection method is provided to accurately detect edges of a wafer using an image binary-coding method, thereby easily performing a manufacturing process on the central part of the wafer. CONSTITUTION: An image with respect to a region(A) which includes an edge of a wafer is binary-coded. The edge(a) of the wafer is detected from the binary-coded image. The image which includes the edge of the wafer is a mono image. Three or more edges of the wafer are detected through the binary-coding process of the mono image. The wafer is attached on a tape.
摘要翻译：目的：提供使用图像二进制编码方法精确检测晶片边缘的晶片边缘检测方法，从而容易地在晶片的中心部分进行制造工艺。构成：相对于包括晶片边缘的区域（A）的图像是二进制编码的。从二进制编码图像检测晶片的边缘（a）。包括晶片边缘的图像是单声道图像。通过单声道图像的二进制编码处理来检测晶片的三个或更多个边缘。将晶片连接在磁带上。

3. 发明公开

KR1020170108345A 촬영 방법 및 촬영 방법을 이용한 대상물 정렬 방법 审中-实审
标题翻译：使用拍摄方法和拍摄方法的对象排序方法
公开(公告)号：KR1020170108345A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020160032078
申请日：2016-03-17
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 강찬희 , 허진 , 신동수 , 김성호 , 권용락
IPC分类号： G03B3/02 , G01B11/02 , G01N3/04 , G01N21/17 , G02B3/10
CPC分类号： G01B11/02 , G01N3/04 , G01N21/17 , G02B3/10 , G03B3/02
摘要： 촬영장치및 촬영방법이개시된다. 개시된촬영방법에의하면복수의샘플링포인트에서측정된척의두께값들이저장된참조테이블을이용하여촬영과정에서오토포커싱이이루어진다.
摘要翻译：公开了一种拍摄装置和拍摄方法。根据所公开的拍摄方法，使用其中存储在多个采样点处测量的卡盘的厚度值的参考表在拍摄过程中执行自动聚焦。

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