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1. 发明授权

KR101353994B1 필름과 글라스의 어셈블리 장치 有权
标题翻译：装配膜和玻璃的装置
公开(公告)号：KR101353994B1
公开(公告)日：2014-01-21
申请号：KR1020110084213
申请日：2011-08-23
申请人： 주식회사 에스에프에이 , 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김영민 , 전용배 , 이동호 , 이상문 , 박민호 , 정태원
IPC分类号： H01L51/56 , G02F1/13
摘要： 필름과 글라스의 어셈블리 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 필름과 글라스의 어셈블리 장치는, 평판표시소자(Flat Panel Display)의 제조를 위한 글라스(glass)를 지지하는 글라스 스테이지(glass stage); 글라스 스테이지에 이웃하게 배치되고, 글라스의 일면에 면접촉되어 글라스와 어셈블리(assembly)되는 필름(film)을 지지하되 필름의 중앙 영역을 지지하는 필름 지지용 중앙 스테이지와, 필름 지지용 중앙 스테이지의 외곽에 배치되어 필름의 사이드 영역을 지지하는 필름 지지용 사이드 스테이지를 구비하는 필름 스테이지(film stage); 글라스 스테이지와 필름 지지용 사이드 스테이지를 지지하는 바텀 바디(bottom body); 및 바텀 바디의 상부 영역에 배치되며, 필름 지지용 중앙 스테이지를 지지하는 탑 바디(top body)를 포함한다.

2. 发明公开

KR1020130021756A 필름과 글라스의 어셈블리 장치 有权
标题翻译：装配膜和玻璃的装置
公开(公告)号：KR1020130021756A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：KR1020110084213
申请日：2011-08-23
申请人： 주식회사 에스에프에이 , 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김영민 , 전용배 , 이동호 , 이상문 , 박민호 , 정태원
IPC分类号： H01L51/56 , G02F1/13
CPC分类号： G02F1/1313 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , H01L21/67126 , H01L51/56
摘要： PURPOSE: An assembly device of a film and glass is provided to improve the efficiency of a deposition process by simply combining the film with the glass. CONSTITUTION: A glass stage(110) supports glass for manufacturing a flat display device. A film stage(120) supports a film combined with the glass and includes a central stage(130) for supporting the film and a side stage(140) for supporting the film. The side stage for supporting the film is arranged in the outside of the central stage for supporting the film and supports the side region of the film. A bottom body(150) supports the glass stage and the side stage for supporting the film. A top body(160) supports the central stage for supporting the film. [Reference numerals] (AA) Film
摘要翻译：目的：提供膜和玻璃的组装装置，通过简单地将膜与玻璃组合来提高沉积工艺的效率。构成：玻璃台（110）支撑用于制造平面显示装置的玻璃。薄膜台（120）支撑与玻璃组合的薄膜，并且包括用于支撑薄膜的中央台（130）和用于支撑薄膜的侧台（140）。用于支撑膜的侧台布置在中央台的外侧，用于支撑膜并支撑膜的侧面区域。底体（150）支撑玻璃台和用于支撑膜的侧台。顶部主体（160）支撑用于支撑胶片的中央舞台。（附图标记）（AA）膜

3. 发明授权

KR101318171B1 ＯＬＥＤ 기판의 합착장치 有权
标题翻译：用于连接OLED基板的装置
公开(公告)号：KR101318171B1
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：KR1020110006529
申请日：2011-01-21
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 박민호 , 유우종 , 조찬희 , 김정훈 , 김영민 , 전용배
IPC分类号： H01L51/56
摘要： OLED 기판의 합착장치가 개시된다. 본 발명의 OLED 기판의 합착장치는, 제1 기판에 합착될 제2 기판을 흡착하는 흡착 플레이트; 흡착 플레이트의 상부에서 흡착 플레이트와 연결되며, 흡착 플레이트 방향으로 가압되는 합착 플레이트; 흡착 플레이트와 합착 플레이트를 연결하며, 합착 플레이트에 가해지는 가압력을 흡착 플레이트로 전달하는 복수의 스크류모듈; 및 합착 플레이트에 대한 흡착 플레이트의 상대 회전을 허용하면서 흡착 플레이트와 합착 플레이트의 연결을 지지하는 복수의 링크모듈을 포함한다. 본 발명에 의하면, 상호 합착될 제1 기판과 제2 기판 간의 상대적인 평형도를 정밀하게 조정하여 균일한 가압력을 제공할 수 있어 제1 기판과 제2 기판에 대한 합착 공정의 수율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 품질 향상을 기대할 수 있다.

4. 发明授权

KR101277070B1 기판 이송장치 有权
标题翻译：用于传送基板的装置
公开(公告)号：KR101277070B1
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：KR1020110046462
申请日：2011-05-17
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 강창호 , 김태환 , 이재승 , 김영민 , 전용배
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G54/02 , F16C32/04
摘要： 기판 이송장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치는, 제1 챔버 내에서 피이송물을 미리 결정된 높이로 부상시키는 부상 모듈; 및 부상 모듈에 의해 부상된 피이송물을 밀거나 당겨 제1 챔버와 이웃된 제2 챔버로 피이송물을 이송시키는 이송 로봇을 포함한다.

5. 发明公开

KR1020130063146A 인쇄장치 无效
标题翻译：打印机
公开(公告)号：KR1020130063146A
公开(公告)日：2013-06-14
申请号：KR1020110129502
申请日：2011-12-06
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 김상경 , 최성원 , 채호철 , 강병식 , 정구필
IPC分类号： B41F33/00 , B41F17/08
CPC分类号： B41F33/00 , B41F13/11 , B41F17/08 , B41F31/00
摘要： PURPOSE: A printing device is provided to improve printing quality by efficiently correcting the skew feeding phenomenon of a film fed from a winding roll to a work line. CONSTITUTION: A printing device comprises an unwinder, a work stage, and a skew feeding correction unit(90). The unwinder comprises a winding roll on which a film to be printed is wound. The work stage supports the lower part of the film and is arranged in a work line. The skew feeding correction unit is arranged in one side of the work stage opposite to the unwinder. The skew feeding correction unit corrects the escape of the film from a predetermined feeding path or the skew feeding of the film while feeding the film to the work line. [Reference numerals] (AA) Film; (BB) Y axis; (CC) X axis
摘要翻译：目的：提供一种打印装置，通过有效地校正从卷绕辊到工作线的胶片的偏斜进给现象来提高打印质量。构成：打印装置包括退绕机，工作台和倾斜进给校正单元（90）。退绕机包括卷绕卷筒的卷绕辊。工作台支持电影的下部，并布置在工作线上。歪斜进给校正单元布置在工作台的与退绕机相对的一侧。歪斜进给校正单元在将膜馈送到工作线的同时校正膜从预定进给路径的逸出或胶片的倾斜进给。（附图标记）（AA）膜; （BB）Y轴; （CC）X轴

6. 发明公开

KR1020130048463A 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치 失效
标题翻译：化学蒸气沉积装置用于平板显示
公开(公告)号：KR1020130048463A
公开(公告)日：2013-05-10
申请号：KR1020110113320
申请日：2011-11-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 장상래 , 박상태 , 이재철 , 심수철
IPC分类号： C23C16/44 , H01L51/56
摘要： PURPOSE: A chemical vapor deposition apparatus for a flat panel display is provided to use a sealing lift unit to control deflection of a gas distribution plate which is generated during a manufacturing process even in a vacuum state, thereby reducing initial setting hours. CONSTITUTION: A chemical vapor deposition apparatus for a flat panel display includes a gas distribution plate(31), a backing plate(32), and a sealing lift unit(50). The gas distribution plate is arranged inside a chamber(10), and has multiple passing holes which provide the surface of a glass substrate with a deposition substance. The backing plate is formed with a buffer space(B) which is separated from the gas distribution plate, and is arranged in parallel with the gas distribution plate on the upper area of the gas distribution. The sealing lift unit connects the gas distribution plate and the backing plate on the central area of the gas distribution plate, and prevents the center of the gas distribution from being deflected. The sealing lift unit is combined with the backing plate so that the vacuum state of the buffer space can be separated from the atmosphere state of the upper part of the backing plate.
摘要翻译：目的：提供一种用于平板显示器的化学气相沉积装置，以使用密封提升单元来控制即使在真空状态下在制造过程中产生的气体分布板的偏转，从而减少初始凝固时间。构成：用于平板显示器的化学气相沉积装置包括气体分配板（31），背板（32）和密封提升单元（50）。气体分配板布置在室（10）的内部，并且具有多个通孔，其为玻璃基板的表面提供沉积物质。背板形成有与气体分配板分离的缓冲空间（B），并且与气体分配板的上部区域上的气体分配板平行布置。密封提升单元将气体分配板和背衬板连接在气体分配板的中心区域，并且防止气体分布的中心偏转。密封提升单元与背板组合，使得缓冲空间的真空状态可以与背板的上部的大气状态分离。

7. 发明授权

KR101245368B1 평판표시소자용 기판 증착장치 有权
标题翻译：薄板沉积装置平板显示器
公开(公告)号：KR101245368B1
公开(公告)日：2013-03-19
申请号：KR1020120000080
申请日：2012-01-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 김영도 , 강창호
IPC分类号： H01L51/56
CPC分类号： C23C14/243 , B65G17/38 , C23C14/12 , H01L51/001
摘要： PURPOSE: A substrate deposition apparatus for a flat panel display is provided to reduce the generation of particles. CONSTITUTION: A deposition process is performed on a substrate in a process chamber(110). A source assembly(120) is combined with the process chamber. The source assembly includes deposition source. A cableveyor(150) supports a cable connected to the source assembly. The cableveyor is connected to the process chamber and the source assembly.
摘要翻译：目的：提供一种用于平板显示器的基板沉积装置，以减少颗粒的产生。构成：在处理室（110）中的衬底上进行沉积工艺。源组件（120）与处理室组合。源组件包括沉积源。电缆输送器（150）支撑连接到源组件的电缆。电缆输送机连接到处理室和源组件。

8. 发明公开

KR1020130026052A 박막 증착장치 有权
标题翻译：薄层沉积装置
公开(公告)号：KR1020130026052A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：KR1020110089406
申请日：2011-09-05
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 정홍기
IPC分类号： C23C14/26 , C23C14/24 , H01L21/203
摘要： PURPOSE: A thin film deposition device is provided to save time and workforce according to replacement of shield and to improve work productivity. CONSTITUTION: A thin film deposition device comprises a chamber(100) which a substrate is arranged inside, a source(300) which supplies a deposition material to the substrate, a roll shield(400) which surrounds source in order to prevent the deposition material from depositing in the inner wall of the chamber, and a roll shield replacement unit which replaces the roll shield. The roll shield is installed between the source and the substrate and comprises a first roll shield(410), and a second roll shield(430). The roll shield replacement unit comprises a first roll shield replacement unit and a second roll shield replacement unit. The first roll shield replacement unit is separated from the substrate in the inner side of the chamber and comprises a plurality of first shafts(511) and a first driving part.
摘要翻译：目的：提供薄膜沉积装置，以根据屏蔽的更换来节省时间和人力，并提高工作效率。构成：薄膜沉积装置包括：衬底被布置在内部的腔室（100），向衬底提供沉积材料的源（300）;围绕源的辊罩（400），以防止沉积材料从而沉积在室的内壁中，以及替代滚动屏蔽的滚动屏蔽更换单元。辊护罩安装在源和基底之间，并包括第一辊护罩（410）和第二辊护罩（430）。滚动屏蔽更换单元包括第一滚动屏蔽更换单元和第二滚动屏蔽替换单元。第一滚屏屏蔽更换单元在腔室的内侧与基板分离，并且包括多个第一轴（511）和第一驱动部。

9. 发明授权

KR101203894B1 기판 그립 장치 有权
标题翻译：用于基材的GRIP装置
公开(公告)号：KR101203894B1
公开(公告)日：2012-11-23
申请号：KR1020100057298
申请日：2010-06-16
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 이상문 , 김영도 , 전종진 , 김영민 , 전용배
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13
摘要： 기판 그립 장치가 개시된다. 본 발명의 기판 그립 장치는, 그립장치본체; 하나 이상의 암(arm)을 가지며 상기 그립장치본체에 마련되어 회전 운동하는 로테이션 암(rotation arm); 및 상기 로테이션 암의 회전 운동에 연동하여 기판을 그립핑(gripping) 및 그립핑 해제하는 그립핑 유닛(gripping unit)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 종래와 달리 기판을 세워서 그립핑할 수 있기 때문에 기판이 중력 방향으로 처지는 현상(face down)을 방지할 수 있어 해당 프로세스(process)에서의 정밀도 확보에 상대적으로 유리하며, 기판을 지지하는 트레이와의 마찰에 의해 파티클(particle)이 발생되는 것을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 장치에 대한 풋 프린트(foot print)를 감소시킬 수 있다.

10. 发明授权

KR101193889B1 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템 有权
标题翻译：用于OLED制造的透明膜供应系统
公开(公告)号：KR101193889B1
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：KR1020100046546
申请日：2010-05-18
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 박민호 , 김현주 , 조찬희 , 김영민 , 전용배
IPC分类号： H01L51/56
摘要： 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템이 개시된다. 본 발명의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템은 척킹 트레이에 도너 필름을 클랭핑하기 위한 클램핑 유닛과, 클램핑 유닛에 인접하게 배치되어 도너 필름의 양호 및 불량 여부를 검사하기 위한 검사 유닛과, 검사 유닛에 의한 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이를 이송시키고 불량으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이를 하강시키는 업다운 리프터; 및 검사 유닛에 의한 검사 후 불량으로 판정된 도너 필름을 척킹 트레이로부터 언클램핑하기 위한 언클램핑 유닛을 포함한다. 본 발명에 의하면 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 도너 필름이 증착 챔버 등에 원활히 공급될 수 있도록 하여 유기전계발광표시장치를 양산할 수 있게 된다.

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